一种镀膜机用烘烤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀膜机用烘烤装置，包括内置于镀膜机真空室内壁的本体，所述本体包括一背板、对称设置在背板两侧的侧板，所述本体背板两侧分别与侧板可转动连接；所述背板与侧板表面均开有若干安装孔，背板与侧板表面中部开有一开槽，所述开槽内设置有若干沿本体高度均匀排列的横轴，横轴表面开有镶嵌槽；镶嵌槽呈螺旋状盘绕于横轴表面，镶嵌槽内镶嵌有加热丝；温度测量控制装置包括温度测量控制器一、温度测量控制器二与温度测量控制器三，温度测量控制器一、温度测量控制器二与温度测量控制器三分别与背板、两侧板上的加热丝电性连接。本实用新型专利技术提供一种镀膜机用烘烤装置，其结构简单，分区控制温度，加热效率高，提高镀膜的质量。

A Baking Device for Coating Machine

The utility model discloses a baking device for a coating machine, which comprises a body embedded in the vacuum chamber wall of the coating machine. The body comprises a back plate and a side plate symmetrically arranged on both sides of the back plate, which can be rotatably connected with the side plate respectively. The back plate and the side plate surface are provided with several mounting holes, and there is a slot in the middle of the back plate and the side plate surface. There are several transverse axes arranged evenly along the height of the body, and there are mosaic grooves on the surface of the transverse axle; the mosaic grooves are spirally coiled around the surface of the transverse axle, and the heating wires are embedded in the mosaic grooves; the temperature measurement control devices include temperature measurement controller 1, temperature measurement controller 2 and temperature measurement controller 3, temperature measurement controller 1, temperature measurement controller 2 and temperature measurement controller 2. The three parts are electrically connected with the heating wires on the back plate and the two side plates respectively. The utility model provides a baking device for a coating machine, which has the advantages of simple structure, zonal control of temperature, high heating efficiency and improved coating quality.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用烘烤装置
本技术涉及真空镀膜机
，特别是涉及一种镀膜机用烘烤装置。
技术介绍
真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，形成导电膜的技术，工件表面的温度均匀性是保证镀膜质量的重要条件。随着镀膜技术的高速发展，客户对高质量薄膜的要求越来越高，高效率的工作循环对设备结构也提出了较高的要求，侧烘烤辅助加热装置为加快排气速度、提高膜层质量都有着极大的促进作用一方面制造成本较高。在现有技术中，镀膜机烘烤装置的加热丝与真空室内环境的接触有效面积低，导致热量损失过多，耗能增加，且加热温度不均匀使得工件盘上的工件温度不均匀，无法显著提高镀膜质量。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。为了解决现有技术的不足，本技术提供一种镀膜机用烘烤装置，包括：内置于镀膜机真空室内壁的本体，所述本体包括一背板、对称设置在背板两侧的侧板，所述本体背板两侧分别与侧板可转动连接；所述背板与侧板表面均开有若干安装孔，背板与侧板表面中部开有一开槽，所述开槽内设置有若干沿本体高度均匀排列的横轴，横轴表面开有镶嵌槽；所述镶嵌槽呈螺旋状盘绕于横轴表面，镶嵌槽内镶嵌有加热丝；所述加热丝与温度测量控制装置电性连接；温度测量控制装置包括温度测量控制器一、温度测量控制器二与温度测量控制器三，温度测量控制器一、温度测量控制器二与温度测量控制器三分别与背板、两侧板上的加热丝电性连接。优选的是，所述背板与侧板表面的安装孔数量分别为3个。优选的是，所述侧板一端与背板可转动连接方式为枢接：所述背板两侧侧壁表面设置有相对设置的枢转连接件，所述相对设置的枢转连接件上设有一枢转杆，所述侧板侧壁上设置有可与枢转杆进行配合的枢转孔。优选的是，所述枢转孔内壁设置有防滑凸纹。优选的是，所述镶嵌槽的上部为矩形槽，下部为圆心角大于180°的圆弧形槽，加热丝镶嵌于所述的圆弧形槽内。优选的是，所述镶嵌槽的开口范围为60°~90°。本技术至少包括以下有益效果：镀膜机用烘烤装置使真空室壁保持较高温度，防止水汽吸附，加热丝内嵌在镶嵌槽内，加热膨胀后的加热丝与镶嵌槽接触更紧密，防止加热丝加热膨胀后下垂，螺旋状盘绕的镶嵌槽使得加热丝螺旋环绕于横轴上，增加了加热丝与真空室内环境的接触面积，有利于增强加热烘烤效率，温度测量控制器一、温度测量控制器二与温度测量控制器三分别控制背板、侧板上的加热丝，根据实际测量温度设定温度值，使得工件温度均匀，避免工件温差过大，可以加快抽气速度，有利于提高膜层质量。附图说明图1是本技术的镀膜机用烘烤装置结构示意图。图2是本技术的横轴与加热丝的结构示意图。图3是本技术的横轴与加热丝的结构示意图。图4是本技术的背板枢转杆的结构示意图。图5是本技术的侧板枢转孔的结构示意图。附图标记：1-本体，2-背板，21-枢转连接件，22-枢转杆，3-侧板，31-枢转孔，4-安装孔，5-开槽，6-横轴，7-镶嵌槽，71-矩形槽，72-圆弧形槽，8-加热丝，9-温度测量控制装置，91-温度测量控制器一，92-温度测量控制器二，93-温度测量控制器三,10-镶嵌槽开口范围。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。图1~5示出了本技术的一种镀膜机用烘烤装置，包括：内置于镀膜机真空室内壁的本体1，所述本体1包括一背板2、对称设置在背板2两侧的侧板3，所述本体1背板2两侧分别与侧板3可转动连接；所述背板2与侧板3表面均开有若干安装孔4，背板2与侧板3表面中部开有一开槽5，所述开槽5内设置有若干沿本体1高度均匀排列的横轴6，横轴6表面开有镶嵌槽7；所述镶嵌槽7呈螺旋状盘绕于横轴6表面，镶嵌槽7内镶嵌有加热丝8；所述加热丝8与温度测量控制装置9电性连接；温度测量控制装置9包括温度测量控制器一91、温度测量控制器二92与温度测量控制器三93，温度测量控制器一91、温度测量控制器二92与温度测量控制器三93分别与背板2、两侧板3上的加热丝8电性连接。在这种技术方案中，镀膜机用烘烤装置使真空室壁保持较高温度，防止水汽吸附，背板2与侧板3通过安装孔4安装固定于镀膜机真空室内壁，加热丝8内嵌在镶嵌槽7内，加热膨胀后的加热丝8与镶嵌槽7接触更紧密，防止加热丝8加热膨胀后下垂，螺旋状盘绕的镶嵌槽7使得加热丝8螺旋环绕于横轴6上，增加了加热丝8与真空室内环境的接触面积，有利于增强加热烘烤效率，温度测量控制器一91、温度测量控制器二92与温度测量控制器三93分别控制背板2、两侧板3上的加热丝8，根据实际测量温度设定温度值，使得工件温度均匀，避免工件温差过大，可以加快抽气速度，有利于提高膜层质量。在另一种实例中，所述背板2与侧板3表面的安装孔4数量分别为3个。采用这种方案，背板2与侧板3表面的3个安装孔4分别组成三角形结构，有利于稳定本体1。在另一种实例中，所述侧板3一端与背板2可转动连接方式为枢接：所述背板2两侧侧壁表面设置有相对设置的枢转连接件21，所述相对设置的枢转连接件21上设有一枢转杆22，所述侧板3侧壁上设置有可与枢转杆22进行配合的枢转孔31。采用这种方案，使背板2与侧板3实现可转动操作，有利于使未装配的烘烤装置折叠，便于存放。在另一种实例中，所述枢转孔31内壁设置有防滑凸纹。采用这种方案，避免侧板3与背板2发生非人为意愿转动活动。在另一种实例中，所述镶嵌槽7的上部为矩形槽71，下部为圆心角大于180°的圆弧形槽72，加热丝8镶嵌于所述的圆弧形槽72内。采用这种方案，使得镶嵌槽7对加热丝8的固定更为牢靠。在另一种实例中，所述镶嵌槽7的开口范围为60°~90°。采用这种方案，使得圆弧形槽72便于加热丝8卡入镶嵌槽7的同时防止加热丝8非人为从镶嵌槽7滑出，保证固定效果。尽管本技术的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本技术的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本技术并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜机用烘烤装置，其特征在于，包括：内置于镀膜机真空室内壁的本体（1），所述本体（1）包括一背板（2）、对称设置在背板（2）两侧的侧板（3），所述本体（1）背板（2）两侧分别与侧板（3）可转动连接；所述背板（2）与侧板（3）表面均开有若干安装孔（4），背板（2）与侧板（3）表面中部开有一开槽（5），所述开槽（5）内设置有若干沿本体（1）高度均匀排列的横轴（6），横轴（6）表面开有镶嵌槽（7）；所述镶嵌槽（7）呈螺旋状盘绕于横轴（6）表面，镶嵌槽（7）内镶嵌有加热丝（8）；所述加热丝（8）与温度测量控制装置（9）电性连接；温度测量控制装置（9）包括温度测量控制器一（91）、温度测量控制器二（92）与温度测量控制器三（93），温度测量控制器一（91）、温度测量控制器二（92）与温度测量控制器三（93）分别与背板（2）、两侧板（3）上的加热丝（8）电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用烘烤装置，其特征在于，包括：内置于镀膜机真空室内壁的本体（1），所述本体（1）包括一背板（2）、对称设置在背板（2）两侧的侧板（3），所述本体（1）背板（2）两侧分别与侧板（3）可转动连接；所述背板（2）与侧板（3）表面均开有若干安装孔（4），背板（2）与侧板（3）表面中部开有一开槽（5），所述开槽（5）内设置有若干沿本体（1）高度均匀排列的横轴（6），横轴（6）表面开有镶嵌槽（7）；所述镶嵌槽（7）呈螺旋状盘绕于横轴（6）表面，镶嵌槽（7）内镶嵌有加热丝（8）；所述加热丝（8）与温度测量控制装置（9）电性连接；温度测量控制装置（9）包括温度测量控制器一（91）、温度测量控制器二（92）与温度测量控制器三（93），温度测量控制器一（91）、温度测量控制器二（92）与温度测量控制器三（93）分别与背板（2）、两侧板（3）上的加热丝（8）电性连接。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，何飞，
申请(专利权)人：成都四盛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51