镀膜用真空室及镀膜系统技术方案

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种镀膜用真空室及镀膜系统，镀膜用真空室包括：真空室以及至少两个传送机构；其中，真空室为内部中空的结构，且真空室的第一侧壁开设有入口，所真空室的相对的第二侧壁开设有出口；其中至少一个传送机构设置在真空室的第三侧壁上，且其中至少另一个传送机构设置在真空室的相对的第四侧壁上，传送机构用于传送承载有工件的托盘。可见，本镀膜用真空室通过在真空室设置入口和出口，以及在入口和出口之间设置有传送机构，因而能够将工件从入口输传送至真空室内，或者从出口输出真空室，操作简单、方便，自动化程度高，进而提升了工作效率。

Vacuum chamber and coating system for coating

The present application relates to the technical field of vacuum coating, in particular to a vacuum chamber for coating and a coating system. The vacuum chamber for coating includes a vacuum chamber and at least two transmission mechanisms, in which the vacuum chamber is an internal hollow structure, and the first side wall of the vacuum chamber is provided with an entrance, and the relative second side wall of the vacuum chamber is provided with an exit. On the third side wall of the vacuum chamber, and at least another conveying mechanism is arranged on the relative fourth side wall of the vacuum chamber, the conveying mechanism is used to convey the tray carrying the workpiece. It can be seen that the vacuum chamber used for coating can transport workpiece from the inlet to the vacuum chamber or from the outlet to the vacuum chamber by setting an inlet and an outlet in the vacuum chamber and a transmission mechanism between the inlet and the outlet. The operation is simple, convenient and highly automated, thus improving the work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
镀膜用真空室及镀膜系统
本申请涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种镀膜用真空室及镀膜系统。
技术介绍
目前，现有的真空镀膜室结构简单，只具有单侧门，由工人将工件直接放入真空室内，再人工手动调整工件的位置，镀膜结束后在人工取出，操作麻烦，且效率低。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种镀膜用真空室及镀膜系统，以解决现有技术中存在的真空镀膜室只具有单侧开门，依靠人工放件、调整以及取件，自动化程度低，工作效率低的技术问题。本申请提供了一种镀膜用真空室，包括：真空室以及至少两个传送机构；其中，所述真空室为内部中空的结构，且所述真空室的第一侧壁开设有入口，所真空室的相对的第二侧壁开设有出口；其中至少一个所述传送机构设置在所述真空室的第三侧壁上，且其中至少一个所述传送机构设置在所述真空室的相对的第四侧壁上，所述传送机构用于将承载有工件的托盘从所述入口输送至所述真空室内，或用于将置于所述真空室内承载有工件的托盘从所述出口输出所述真空室。在上述任一技术方案中，进一步地，所述传送机构包括第一驱动装置以及多个传动组件；多个传动组件均设置在所述真空室的侧壁上，且沿着所述真空室的入口朝向所述真空室的出口间隔排布；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜用真空室，其特征在于，包括：真空室以及至少两个传送机构；其中，所述真空室为内部中空的结构，且所述真空室的第一侧壁开设有入口，所真空室的相对的第二侧壁开设有出口；其中至少一个所述传送机构设置在所述真空室的第三侧壁上，且其中至少另一个所述传送机构设置在所述真空室的相对的第四侧壁上，所述传送机构用于将承载有工件的托盘从所述入口输送至所述真空室内，或用于将置于所述真空室内承载有工件的托盘从所述出口输出所述真空室。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜用真空室，其特征在于，包括：真空室以及至少两个传送机构；其中，所述真空室为内部中空的结构，且所述真空室的第一侧壁开设有入口，所真空室的相对的第二侧壁开设有出口；其中至少一个所述传送机构设置在所述真空室的第三侧壁上，且其中至少另一个所述传送机构设置在所述真空室的相对的第四侧壁上，所述传送机构用于将承载有工件的托盘从所述入口输送至所述真空室内，或用于将置于所述真空室内承载有工件的托盘从所述出口输出所述真空室。2.根据权利要求1所述的镀膜用真空室，其特征在于，所述传送机构包括第一驱动装置以及多个传动组件；多个传动组件均设置在所述真空室的侧壁上，且沿着所述真空室的入口朝向所述真空室的出口间隔排布；所述传动组件包括第一磁流体密封装置、第一传动轴以及传动轮；其中，所述第一磁流体密封装置嵌设在所述真空室的侧壁上，所述第一传动轴穿过所述第一磁流体密封装置上，且所述第一传动轴的一端位于所述真空室外，所述第一传动轴的另一端位于所述真空室内，所述传动轮套设在所述第一传动轴的另一端上；多个所述传送组件的第一传动轴位于所述真空室外的一端通过同步带相连接，且所述第一驱动装置通过所述同步带驱动多个所述传送组件的第一传动轴转动。3.根据权利要求2所述的镀膜用真空室，其特征在于，还包括至少两个导向组件，多个所述导向组件均高于所述传送机构；其中至少一个所述导向组件设置在所述第三侧壁的内壁上，其中至少另一个所述导向组件设置在所述第四侧壁的内壁上，所述导向组件用于承载并传动承载有工件的托盘。4.根据权利要求3所述的镀膜用真空室，其特征在于，所述导向组件包括固定块、导向座以及导向轮；其中，所述固定块设置在所述真空室的内侧壁上；所述导向座设置在所述固定块上，且所述导向座设置有沿着竖直方向延伸的输出轴，所述导向轮套设在所述输出轴上。5.根据权利要求4所述的镀膜用真空室，其特征在于，所述导向座包括第一安装板...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，汪友林，郭爱云，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21