连续镀膜生产线制造技术

本实用新型专利技术提供的一种连续镀膜生产线，涉及镀膜技术领域，连续镀膜生产线包括上料装置、工作装置、下料装置以及密封装置；所述工作装置包括预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且上料装置与预处理机构之间、预处理机构与镀膜机构之间、镀膜机构与冷却机构之间以及冷却机构与下料装置之间均设有能够实现互相分隔或连通的密封装置。通过本申请提供的连续镀膜生产线，能够将每一道工序分解成一个或多个作业腔室，从而能够极大的缩短每个腔室的作业时间，加快作业节拍，避免各工序互相影响的同时，提高作业效率。业效率。业效率。

【技术实现步骤摘要】
连续镀膜生产线


[0001]本技术涉及镀膜设备
，尤其是涉及一种连续镀膜生产线。

技术介绍

[0002]镀膜工艺主要包括预处理、工件清洗、镀膜以及冷却等工序，而为了使工件在较为稳定的环境下进行镀膜作业，通常是将抽真空机构、加热机构、镀膜机构以及清洗机构等结构集成在一台设备中，使一台设备能够完成镀膜工艺的所有工作。
[0003]但由于全部结构均集成在一台设备内，因此，导致了各工序进行时会对其他结构产生干扰和影响，如在镀膜阶段，通过烧蚀靶材实现工件的镀膜，但同时，靶材析出的离子同样会附着到离子源或刻蚀弧源等清洗机构以及其他结构上，由于离子不可能完全阻隔，因此，仅通过设置相应的阻隔结构仍无法避免互相影响的问题。
[0004]现阶段，针对此问题常会在清洗机构进行一定时间的作业后，进行洗靶工作，即采用烧蚀离子源或刻蚀弧源的方式，使镀覆上的靶材离子再次析出，从而将清洗机构还原，以保证清洗效果。
[0005]但此种方式虽然能够保证清洗效果，但不仅增加了整体镀膜工艺的工序，而且会极大的浪费清洗结构，使成本增加。
[0006]因此，急需提供一种连续镀膜生产线，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种连续镀膜生产线，以在一定程度上解决镀膜工艺中各工序互相影响干涉，造成材料浪费、工序复杂以及效率较低的问题。
[0008]本技术提供的一种连续镀膜生产线，包括上料装置、工作装置、下料装置、转架机构以及密封装置；所述工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且所述上料装置设置于所述预处理机构相连通，所述预处理机构与所述清洗机构相连通，所述镀膜机构与所述冷却机构相连通，所述下料装置与所述冷却机构相对接，以使所述转架机构能够由上料装置依次经过所述预处理机构、所述清洗机构、所述镀膜机构以及所述冷却机构，完成镀膜工序；所述上料装置与所述预处理机构之间、所述预处理机构与所述镀膜机构之间、所述镀膜机构与所述冷却机构之间以及所述冷却机构与所述下料装置之间均设有能够实现分隔或连通的所述密封装置。
[0009]其中，所述上料装置和所述下料装置均包括传送机构和承载架；所述传送机构设置于所述承载架上，所述上料装置的传送机构和所述下料装置的传送机构的轴线共线，传送方向相同，且传送方向为所述预处理机构、所述镀膜机构以及冷却机构的排布方向。
[0010]具体地，所述预处理机构包括第一缸体、第一传送组件以及预处理组件；所述第一缸体包括第一承托缸和第一配合缸，所述第一承托缸和所述第一配合缸可拆卸连接，且所述第一承托缸形成有第一运输腔，所述第一配合缸形成有预处理腔，所述第一运输腔和所
述预处理腔相连通；所述第一传送组件设置于所述第一运输腔内，所述预处理组件设置于所述第一配合缸内，且所述预处理组件与所述第一配合缸可拆卸连接；所述第一承托缸的两端分别形成有第一进口和第一出口，且所述第一传送组件的两端分别对应所述第一进口和所述第一出口。
[0011]进一步地，所述预处理组件包括第一抽真空构件以及加热构件，所述第一抽真空构件与所述第一配合缸或所述第一承托缸相连通，所述加热构件嵌设于所述第一配合缸的缸壁上；所述第一抽真空构件和所述加热构件的数量为至少一个，且上述第一抽真空构件和所述加热构件集成于一个所述第一配合缸或分别设置在所述第一配合缸和所述第一承托缸上或所述第一缸体仅设有所述第一抽真空构件。
[0012]其中，所述清洗机构包括第二缸体、第二传送组件以及清洗组件；所述第二缸体包括第二承托缸和第二配合缸，所述第二承托缸和所述第二配合缸可拆卸连接，且所述第二承托缸形成有第二运输腔，所述第二配合缸形成有清洗腔，所述第二运输腔和所述清洗腔相连通；所述第二传送组件设置于所述第二运输腔内，所述清洗组件设置于所述第二配合缸内，且所述清洗组件与所述第二配合缸可拆卸连接；所述第二承托缸的两端分别形成有第二进口和第二出口，所述第二传送组件的两端分别对应所述第二进口和所述第二出口，所述第二进口与所述第一出口相对接，且所述第二进口与所述第一出口间设有所述密封装置。
[0013]具体地，所述清洗组件包括离子源和/或刻蚀弧源。
[0014]其中，所述镀膜机构包括第三缸体、第三传送组件以及靶材组件；所述第三缸体包括第三承托缸和第三配合缸，所述第三承托缸和所述第三配合缸可拆卸连接，且所述第三承托缸形成有第三运输腔，所述第三配合缸形成有镀膜腔，所述第三运输腔和所述镀膜腔相连通；所述第三传送组件设置于所述第三运输腔内，所述靶材组件设置于所述第三配合缸内，且所述靶材组件与所述第三配合缸可拆卸连接；所述第三承托缸的两端分别形成有第三进口和第三出口，所述第三传送组件的两端分别对应所述第三进口和所述第三出口，所述第三进口与所述第二出口相对接，且所述第三进口与所述第二出口间设有所述密封装置。
[0015]具体地，所述靶材组件的数量为多个，且多个所述靶材组件与所述第三缸体一一对应设置；所述靶材组件包括多个靶材构件，多个所述靶材构件沿所述第三配合缸的周向间隔设置。
[0016]其中，本技术提供的连续镀膜生产线，还包括转架机构，所述转架机构包括驱动组件、挂件杆以及承托组件；所述挂件杆设置于所述承托组件上，所述驱动组件与所述挂件杆相连接，以驱动所述挂件杆相对所述承托组件转动，所述挂件杆上形成有挂件部，所述挂件部用于挂设工件。
[0017]具体地，本技术提供的连续镀膜生产线，还包括举升机构，所述举升机构设置于所述工作装置内，且所述举升机构能够举升或下降所述转架机构。
[0018]相对于现有技术，本技术提供的连续镀膜生产线具有以下优势：
[0019]本技术提供的连续镀膜生产线，包括上料装置、工作装置、下料装置、转架机构以及密封装置；工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且上料装置设置于预处理机构相连通，预处理机构与清洗机构相连通，镀膜机构与冷却
机构相连通，下料装置与冷却机构相对接，以使转架机构能够由上料装置依次经过预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，完成镀膜工序；上料装置与预处理机构之间、预处理机构与镀膜机构之间、镀膜机构与冷却机构之间以及冷却机构与下料装置之间均设有能够实现分隔或连通的密封装置。
[0020]由此分析可知，通过转架机构能够承载待镀膜工件，通过上料装置和下料装置能够对转架进行输送和输出。而由于本申请中的上料装置与预处理机构相对接，预处理机构与清洗机构相连通，清洗机构与镀膜机构相连通，镀膜机构与冷却机构相连通，冷却机构与下料装置相对接，因此，能够实现转架机构由上料装置依次经过预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，并最终由下料装置输出的动作，从而使转架机构上承载的工件能够经过完整的镀膜工艺流程，实现镀膜。
[0021]并且，由于本申请中上料装置与预处理机构之间、预处理机构和清洗机构之间、清洗机构和镀膜机构之间、镀膜机构和冷却机构之间以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续镀膜生产线，其特征在于，包括上料装置、工作装置、下料装置、转架机构以及密封装置；所述工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且所述上料装置设置于所述预处理机构相连通，所述预处理机构与所述清洗机构相连通，所述镀膜机构与所述冷却机构相连通，所述下料装置与所述冷却机构相对接，以使所述转架机构能够由上料装置依次经过所述预处理机构、所述清洗机构、所述镀膜机构以及所述冷却机构，完成镀膜工序；所述上料装置与所述预处理机构之间、所述预处理机构与所述镀膜机构之间、所述镀膜机构与所述冷却机构之间以及所述冷却机构与所述下料装置之间均设有能够实现分隔或连通的所述密封装置。2.根据权利要求1所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述上料装置和所述下料装置均包括传送机构和承载架；所述传送机构设置于所述承载架上，所述上料装置的传送机构和所述下料装置的传送机构的轴线共线，传送方向相同，且传送方向为所述预处理机构、所述镀膜机构以及冷却机构的排布方向。3.根据权利要求1所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述预处理机构包括第一缸体、第一传送组件以及预处理组件；所述第一缸体包括第一承托缸和第一配合缸，所述第一承托缸和所述第一配合缸可拆卸连接，且所述第一承托缸形成有第一运输腔，所述第一配合缸形成有预处理腔，所述第一运输腔和所述预处理腔相连通；所述第一传送组件设置于所述第一运输腔内，所述预处理组件设置于所述第一配合缸内，且所述预处理组件与所述第一配合缸可拆卸连接；所述第一承托缸的两端分别形成有第一进口和第一出口，且所述第一传送组件的两端分别对应所述第一进口和所述第一出口。4.根据权利要求3所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述预处理组件包括第一抽真空构件以及加热构件，所述第一抽真空构件与所述第一配合缸或第一承托缸相连通，所述加热构件嵌设于所述第一配合缸的缸壁上；所述第一抽真空构件和所述加热构件的数量为至少一个，且上述第一抽真空构件和所述加热构件集成于一个所述第一配合缸或分别设置在所述第一配合缸和所述第一承托缸上或所述第一缸体仅设有所述第一抽真空构件。5.根据权利要求3所述的连续镀膜生产线，其特征在于，所述清洗机...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：