镀膜方法和设备技术

本发明专利技术公开了一种镀膜设备和镀膜方法，通过设置能够连通或阻断的进出料腔和主工艺腔以及能够在进出料腔和主工艺腔之间转移的货笼，进行镀膜操作时，只需要在进出料腔和主工艺腔阻断的情况下单独对进出料腔开门放气即可实现单个货笼的放入或者取出，从而可以在其中一个主工艺腔进行镀膜的过程中，向另一个主工艺腔放入装载有待镀膜件的第一货笼或者是将装载有已镀膜件的第二货笼取出，以提高镀膜的连续性；此外，由于每次取放货笼仅仅对进出料腔进行抽真空或放气，正在镀膜的主工艺腔与进出料腔始终阻断，因此可以避免外界大气进入正在进行镀膜的主工艺腔内，从而防止镀膜件氧化以及对主工艺腔抽真空造成的不便，保证镀膜质量稳定性。质量稳定性。质量稳定性。

【技术实现步骤摘要】
镀膜方法和设备


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种镀膜方法和设备。

技术介绍

[0002]表面处理技术对于被处理对象的表面进行各种改性改造，增强了被处理对象表面的耐磨性、耐腐蚀性、光滑度等属性，使被处理对象在使用过程中大大减少了损耗和浪费，起到了节能环保作用，从而让表面处理技术的应用日趋广泛，渗透到生活的方方面面。真空镀膜技术依靠其环保节能、安全可控的特性，市场覆盖率迅速扩大。
[0003]但目前应用的真空镀膜机都采用单个真空腔体，在腔体中设置溅射源、加热设备等镀膜组件，每次装料卸料都将腔门打开进行操作。操作过程必须经过：抽真空
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溅射镀膜
‑
恢复大气三个步骤，整个周期大部分时间用在抽气、前处理、冷却、上下工件这些过程，设备的利用率很低。这种操作过程每个循环真空炉体都将暴露大气，靶材与大气接触将会导致靶材的氧化，腔体会吸附大量的水蒸气及其它杂气，对第二次抽真空带来不便同时会降低镀膜质量和稳定性，对大批量和高要求生产带来不利。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种镀膜方法和设备，提高镀膜的连续性，同时可以避免外界大气进入正在进行镀膜的主工艺腔内，从而防止镀膜件氧化以及对主工艺腔抽真空造成的不便，保证镀膜质量稳定性。
[0005]第一方面，本专利技术提供一种镀膜方法，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括进出料腔和至少两个主工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔之间能够连通或阻断；所述主工艺腔内设置有安装架，所述安装架能够供N个货笼放置，其中，N为大于或等于2的正整数，未进行镀膜的所述主工艺腔为第一主工艺腔，已完成镀膜的所述主工艺腔为第二主工艺腔；用于安装在所述第一主工艺腔内所述安装架上的货笼为第一货笼，用于安装在所述第二主工艺腔内所述安装架上的货笼为第二货笼；
[0006]在所述进出料腔和所述主工艺腔阻断的情况下，所述方法包括如下步骤：
[0007]S100，所述进出料腔放气开门，放入第一货笼；
[0008]S110，所述进出料腔关门抽真空；
[0009]S120，连通所述进出料腔和所述第一主工艺腔；
[0010]S130，将所述进出料腔内的一个第一货笼转移至所述第一主工艺腔内的所述安装架上，并阻断所述进出料腔和所述第一主工艺腔；
[0011]S140，重复S100
‑
S130，直至所述第一主工艺腔内的所述安装架上放满N个第一货笼后进行镀膜；
[0012]S200，连通所述进出料腔和所述第二主工艺腔；
[0013]S210，将所述第二主工艺腔内所述安装架上的一个第二货笼转移至所述进出料腔；
[0014]S220，阻断所述进出料腔和所述第二主工艺腔；
[0015]S230，所述进出料腔放气开门，取出第二货笼；
[0016]S240，所述进出料腔关门抽真空；
[0017]S250，重复S200
‑
S240，直至将所述第二主工艺腔内所述安装架上的全部第二货笼取出。
[0018]在可选的实施方式中，所述镀膜设备还包括位于所述进出料腔和所述主工艺腔之间的副工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔均与所述副工艺腔能够阻断或连通；
[0019]在执行步骤S100之前，使所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔阻断，且所述第一主工艺腔和所述副工艺腔连通；
[0020]步骤S120中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔；
[0021]步骤S130中，先将所述进出料腔内的第一货笼转移至所述副工艺腔；然后将第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上，并阻断所述进出料腔和所述副工艺腔；
[0022]步骤S200中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔；
[0023]步骤S210中，先将所述第二主工艺腔内所述安装架上的第二货笼转移至所述副工艺腔；然后将第二货笼转移至所述进出料腔，并将所述第二主工艺腔内所述安装架上的下一个第二货笼转移至所述副工艺腔；
[0024]步骤S220中，阻断所述进出料腔和所述副工艺腔。
[0025]在可选的实施方式中，所述副工艺腔能够进行镀膜；
[0026]其中，
[0027]步骤S130中，在将所述进出料腔内的第一货笼转移至所述副工艺腔后，先将所述进出料腔和所述第一主工艺腔均与所述副工艺腔阻断以进行镀膜，镀膜完成后再连通所述第一主工艺腔和所述副工艺腔，并将所述副工艺腔内的第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上；
[0028]和/或，
[0029]步骤S210中，在将所述第二主工艺腔内的第二货笼转移至所述副工艺腔后，先将所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔阻断以进行镀膜，镀膜完成后再使所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔连通，以将所述副工艺腔内的第二货笼转移至所述进出料腔，并将所述第二主工艺腔内所述安装架上的下一个第二货笼转移至所述副工艺腔。
[0030]在可选的实施方式中，所述镀膜设备还包括三向移载腔以及设置于所述三向移载腔内的三向移载装置，所述三向移载腔位于所述副工艺腔和所述主工艺腔之间；
[0031]在执行步骤S100之前，使所述第一主工艺腔和所述副工艺腔均与所述三向移载腔连通，所述第二主工艺腔与所述三向移载腔阻断；
[0032]步骤S130中，控制所述三向移载装置将所述副工艺腔内的第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上；
[0033]步骤S200中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔，同时连通所述第二主工艺腔和所述三向移载腔；
[0034]步骤S210中，控制所述三向移载装置将所述第二主工艺腔内所述安装架上的第二货笼转移至所述副工艺腔。
[0035]在可选的实施方式中，所述镀膜设备还包括直线移载腔以及设置于所述直线移载腔内的直线移载装置，所述直线移载腔位于所述进出料腔和所述副工艺腔之间；
[0036]在执行步骤S100之前，使所述进出料腔和所述直线移载腔阻断，所述直线移载腔和所述副工艺腔连通；
[0037]步骤S120中，连通所述进出料腔和所述直线移载腔；
[0038]步骤S130中，控制所述直线移载装置将所述进出料腔内的第一货笼转移至所述副工艺腔；
[0039]步骤S200中，连通所述进出料腔和所述直线移载腔；
[0040]步骤S210中，控制所述直线移载装置将所述副工艺腔内的第二货笼转移至所述进出料腔；
[0041]步骤S220中，阻断所述进出料腔和所述直线移载腔。
[0042]在可选的实施方式中，步骤S140中，在所述第一主工艺腔内的所述安装架上放满N个第一货笼后，先阻断所述副工艺腔和所述第一主工艺腔，再对所述第一主工艺腔内所述安装架上的全部第一货笼进行镀膜。
[0043]在可选的实施方式中，在步骤S230之后，用如下步骤来替换步骤S240以及步骤S250：
[0044]S300，向所述进出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜方法，应用于镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括进出料腔和至少两个主工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔之间能够连通或阻断；所述主工艺腔内设置有安装架，所述安装架能够供N个货笼安装，其中，N为大于或等于2的正整数，未进行镀膜的所述主工艺腔为第一主工艺腔，已完成镀膜的所述主工艺腔为第二主工艺腔；用于安装在所述第一主工艺腔内所述安装架上的货笼为第一货笼，用于安装在所述第二主工艺腔内所述安装架上的货笼为第二货笼；在所述进出料腔和所述主工艺腔阻断的情况下，所述方法包括如下步骤：S100，所述进出料腔放气开门，放入第一货笼；S110，所述进出料腔关门抽真空；S120，连通所述进出料腔和所述第一主工艺腔；S130，将所述进出料腔内的一个第一货笼转移至所述第一主工艺腔内的所述安装架上，并阻断所述进出料腔和所述第一主工艺腔；S140，重复S100
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S130，直至所述第一主工艺腔内的所述安装架上放满N个第一货笼后进行镀膜；S200，连通所述进出料腔和所述第二主工艺腔；S210，将所述第二主工艺腔内所述安装架上的一个第二货笼转移至所述进出料腔；S220，阻断所述进出料腔和所述第二主工艺腔；S230，所述进出料腔放气开门，取出第二货笼；S240，所述进出料腔关门抽真空；S250，重复S200
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S240，直至将所述第二主工艺腔内所述安装架上的全部第二货笼取出。2.根据权利要求1所述的镀膜方法，其特征在于，所述镀膜设备还包括位于所述进出料腔和所述主工艺腔之间的副工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔均与所述副工艺腔能够阻断或连通；在执行步骤S100之前，使所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔阻断，且所述第一主工艺腔和所述副工艺腔连通；步骤S120中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔；步骤S130中，先将所述进出料腔内的第一货笼转移至所述副工艺腔；然后将第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上，并阻断所述进出料腔和所述副工艺腔；步骤S200中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔；步骤S210中，先将所述第二主工艺腔内所述安装架上的第二货笼转移至所述副工艺腔；然后将第二货笼转移至所述进出料腔，并将所述第二主工艺腔内所述安装架上的下一个第二货笼转移至所述副工艺腔；步骤S220中，阻断所述进出料腔和所述副工艺腔。3.根据权利要求2所述的镀膜方法，其特征在于，所述副工艺腔能够进行镀膜；其中，步骤S130中，在将所述进出料腔内的第一货笼转移至所述副工艺腔后，先将所述进出料腔和所述第一主工艺腔均与所述副工艺腔阻断以进行镀膜，镀膜完成后再连通所述第一
主工艺腔和所述副工艺腔，并将所述副工艺腔内的第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上；和/或，步骤S210中，在将所述第二主工艺腔内的第二货笼转移至所述副工艺腔后，先将所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔阻断以进行镀膜，镀膜完成后再使所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔连通，以将所述副工艺腔内的第二货笼转移至所述进出料腔，并将所述第二主工艺腔内所述安装架上的下一个第二货笼转移至所述副工艺腔。4.根据权利要求2或3所述的镀膜方法，其特征在于，所述镀膜设备还包括三向移载腔以及设置于所述三向移载腔内的三向移载装置，所述三向移载腔位于所述副工艺腔和所述主工艺腔之间；在执行步骤S100之前，使所述第一主工艺腔和所述副工艺腔均与所述三向移载腔连通，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，虞文韬，薛涛，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：