本实用新型专利技术涉及真空腔体间内置封合技术领域，尤其是一种真空腔体间内置封合装置，包括腔体和液压缸，所述液压缸上设有封合结构，所述封合结构包括第一外壳，所述第一外壳上表面与两个液压缸的一端固定连接，所述第一外壳内壁通过支架与第一电机固定连接，多个所述竖杆贯穿第一外壳与第一外壳上加工的滑道滑动连接，所述第一外壳的三面均加工有滑道，通过调节结构和腔体的配合，第二电机启动带动圆盘转动，圆盘转动通过圆盘上突起的圆柱带动曲柄框左右，带动两个横杆在第二外壳内左右移动，同时带动直杆在第二外壳上加工的滑道上左右滑动，对工件调整封合角度，封合板不会对工件的封合产生偏差，使工件达到封合效果。使工件达到封合效果。使工件达到封合效果。
【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体间内置封合装置
[0001]本技术涉及真空腔体间内置封合
，具体为一种真空腔体间内置封合装置。
技术介绍
[0002]真空腔体间内置封合装置都使用外置式封合装置，需要制作一小型真空腔体作为封合装置的主结构，封合装置在此空间内做水平及垂直的移动以封合不同腔体的真空状态，通常设备会配置数十个封合装置，使用此设置不仅增加设备制作成本，也同时会加长设备的总体长度，使其在运用时会因设备总体长度过长而被使用者的厂房面积限制。
[0003]例如授权公告号“CN203108508U”名为一种真空腔体间内置封合装置，通过外部气压缸带动齿轮组，使齿轮组在一定范围内旋转，又齿轮组连接一连杆，连杆上设置有制动块，用以锁固真空封合板，使封合板能随齿轮组旋转做90度的旋转已进行闭合、开启动作，达到真空腔体间的封合，本技术结构简单，安装容易，且完全不需电动力进行封合板的驱动，对于后续使用的可靠度相当高，又同时设置于真空腔体内，不需额外制作一小腔体放置封合装置，大幅减少真空溅镀产线总长度，大幅减少设备投入成本。但是真空腔体间内置封合装置在进行封合时，只能对固定的角度进行封合工作，如果需要进行封合的工件的放置角度与封合板的角度有偏差时，封合板会对工件的封合产生偏差，使工件达不到封合效果，同时真空腔体间内置封合装置只能对工件进行两个方向的封合工作，调节效果比较低，设备加工的局限性高。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的封合板会对工件的封合产生偏差，使工件达不到封合效果和调节效果比较低，降低了工作效率的问题，而提出的一种真空腔体间内置封合装置。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]设计一种真空腔体间内置封合装置，包括腔体和液压缸，所述液压缸上设有封合结构，所述封合结构包括第一外壳，所述第一外壳上表面与两个液压缸的一端固定连接，所述第一外壳内壁通过支架与第一电机固定连接，所述第一电机输出轴通过变速箱与不完全齿轮固定连接，所述不完全齿轮与齿轮啮合连接，所述齿轮与圆杆固定连接，所述圆杆通过轴承与第一外壳内壁转动连接，所述圆杆下表面与多个竖杆固定连接，多个所述竖杆贯穿第一外壳与第一外壳上加工的滑道滑动连接，所述第一外壳的三面均加工有滑道。
[0007]优选的，多个所述竖杆下端分别与封合板上表面固定连接，所述腔体表面与气管相连通。
[0008]优选的，所述腔体内设有调节结构，所述调节结构包括第二外壳，所述第二外壳上表面与腔体内壁固定连接，所述第二外壳内壁通过支架与第二电机固定连接，所述第二电机输出轴通过变速箱与圆盘固定连接，所述圆盘上突起的多个圆柱与曲柄框内加工的齿牙
啮合连接，所述曲柄框两边分别与两个横杆固定连接，两个所述横杆分别贯穿第二外壳与第二外壳相套接，所述曲柄框下表面与直杆固定连接，所述直杆贯穿第二外壳与第二外壳上加工的滑道滑动连接。
[0009]优选的，所述直杆下端与平板上表面固定连接，所述平板下表面与两个液压缸固定连接。
[0010]优选的，所述腔体表面与拉门活动连接，所述拉门表面镶嵌入有观察框，所述腔体下表面安装有多个桌腿。
[0011]本技术提出的一种真空腔体间内置封合装置，有益效果在于：通过调节结构和腔体的配合，第二电机启动带动圆盘转动，圆盘转动通过圆盘上突起的圆柱带动曲柄框左右，带动两个横杆在第二外壳内左右移动，同时带动直杆在第二外壳上加工的滑道上左右滑动，对工件调整封合角度，封合板不会对工件的封合产生偏差，使工件达到封合效果；
[0012]通过封合结构和封合板的配合，第一电机启动带动不完全齿轮转动，不完全齿轮转动一圈可以带动齿轮转动四分之一，从而带动圆杆旋转90
°
，带动多个竖杆在第一外壳上旋转90
°
，带动封合板旋转90
°
，可以对三个方面进行封合工作，调节效果比较高，提高了设备加工的局限性。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图；
[0014]图2为图1的正剖视图立体图；
[0015]图3为图1的正剖视图；
[0016]图4为图1中封合结构的正剖视图；
[0017]图5为图1中调节结构的正剖视图。
[0018]图中：1、腔体，2、气管，3、封合板，4、封合结构，401、第一外壳，402、不完全齿轮，403、齿轮，404、圆杆，405、竖杆，406、第一电机，5、液压缸，6、调节结构，601、第二外壳，602、曲柄框，603、第二电机，604、圆盘，605、横杆，606、直杆，7、平板，8、桌腿，9、拉门，10、观察框。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0020]参照附图1
‑
5：
[0021]本实施例中，一种真空腔体间内置封合装置，包括腔体1和液压缸5，液压缸5上设有封合结构4，封合结构4包括第一外壳401，第一外壳401上表面与两个液压缸5的一端固定连接，固定住第一外壳401的位置，第一外壳401内壁通过支架与第一电机406固定连接，固定住第一电机406的位置，第一电机406根据实际需求，满足工作需要即可，第一电机406输出轴通过变速箱与不完全齿轮402固定连接，第一电机406启动能带动不完全齿轮402转动，不完全齿轮402与齿轮403啮合连接，不完全齿轮402转动能带动齿轮403转动，齿轮403与圆杆404固定连接，圆杆404通过轴承与第一外壳401内壁转动连接，齿轮403转动能带动圆杆404在第一外壳401内转动，圆杆404下表面与多个竖杆405固定连接，多个竖杆405贯穿第一外壳401与第一外壳401上加工的滑道滑动连接，第一外壳401的三面均加工有滑道，圆杆
404转动能带动多个竖杆405在第一外壳401上加工得的三面滑道上滑动，多个竖杆405下端分别与封合板3上表面固定连接，固定住封合板3的位置，封合板3根据实际需求，满足工作需要即可，腔体1表面与气管2相连通。
[0022]参照附图1
‑
3和图5：
[0023]腔体1内设有调节结构6，调节结构6包括第二外壳601，第二外壳601上表面与腔体1内壁固定连接，固定住第二外壳601的位置，第二外壳601内壁通过支架与第二电机603固定连接，固定住第二电机603的位置，第二电机603根据实际需求，满足工作需要即可，第二电机603输出轴通过变速箱与圆盘604固定连接，第二电机603启动能带动圆盘604转动，圆盘604上突起的多个圆柱与曲柄框602内加工的齿牙啮合连接，圆盘604转动能带动曲柄框602左右移动，曲柄框602两边分别与两个横杆605固定连接，两个横杆605分别贯穿第二外壳601与第二外壳601相套接，曲柄框602左右移动能带动两个横杆605在第二外壳601内左右移动，曲柄框602下表面与直杆606固定连接，直杆606贯穿第二外壳601与第二外壳601上加工的滑道滑本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空腔体间内置封合装置，包括腔体(1)和液压缸(5)，其特征在于：所述液压缸(5)上设有封合结构(4)，所述封合结构(4)包括第一外壳(401)，所述第一外壳(401)上表面与两个液压缸(5)的一端固定连接，所述第一外壳(401)内壁通过支架与第一电机(406)固定连接，所述第一电机(406)输出轴通过变速箱与不完全齿轮(402)固定连接，所述不完全齿轮(402)与齿轮(403)啮合连接，所述齿轮(403)与圆杆(404)固定连接，所述圆杆(404)通过轴承与第一外壳(401)内壁转动连接，所述圆杆(404)下表面与多个竖杆(405)固定连接，多个所述竖杆(405)贯穿第一外壳(401)与第一外壳(401)上加工的滑道滑动连接，所述第一外壳(401)的三面均加工有滑道。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体间内置封合装置，其特征在于：多个所述竖杆(405)下端分别与封合板(3)上表面固定连接，所述腔体(1)表面与气管(2)相连通。3.根据权利要求1所述的一种真空腔体间内置封合装置，其特征在于：所述腔体(1)内设有调节结...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁吉思，朱波，
申请(专利权)人：巴托真空科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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