一种真空腔体连接管道制造技术

本实用新型专利技术涉及连接管道技术领域，尤其是一种真空腔体连接管道，包括连接管道和法兰，所述连接管道的左右两侧均固接有法兰，所述连接管道的外壁安装有多个第一竖板，且第一竖板的开口处内壁与连接管道和法兰的外壁间隙配合，所述第一竖板的内侧安装有连接装置，所述连接装置的内侧安装有调节装置。可以将连接管道安装到第一竖板的开口处，并使连接管道处于两个挡板之间，再使连接管道通过法兰与外部设备进行连接，之后使挡板对连接管道进行挤压，这样本申请采用机械结构替换了原来的人工手动调节方式对连接管道的流量进行调节，不需要多次、反复的进行操作，劳动程度更小，而且调节效率也比较高。效率也比较高。效率也比较高。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体连接管道


[0001]本技术涉及连接管道
，具体为一种真空腔体连接管道。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，真空技术应用的领域越来越广，半导体、电子、医疗、食品等行业都离不开真空技术，其中尤以高真空蒸发设备的应用最为广泛，高真空蒸发设备在使用过程中比较常见的问题是真空漏率随着使用时间延长而逐渐升高，这其中有一些是人为非常规操作导致的，但更多的是设备老化、零部件缺乏保养所引起的故障，如何在真空设备中找出真空组件存在的漏孔，并采取相应措施，使每台真空设备的漏率达到技术要求，是摆在真空检漏技术人员面前的迫切任务，目前的方法是：在现有分子泵抽速和功率范围内，计算管道的流量值，将原有的连接管路进行更换，反复试验，得出最佳匹配值，这样需要多次尝试，效率太低，也有一些更加简单的真空腔体连接管道处理方法。
[0003]例如授权公告号CN 210034513 U的一种真空腔体连接管道，包括由弹性橡胶制成的管道体以及位于管道体两端的管道连接法兰。本技术通过对真空腔体连接管道进行技术改造，由于本管道可调且调整简单操作便捷，由于连接管道的流量直接影响分子泵的抽速，这样能够更好地根据被测的真空腔体的容积大小进行匹配数据，调节管道的大小以达到最适宜的流量速度，但是上述中在需要调整管道直径时是稍微掰开弹性夹夹设在条带的一端然后拉动穿过前述间隙的条带直至管道体缩小至所需的尺寸、达到所要的流量时再松开，但对真空腔体连接管道的流量进行调节以达到匹配数据是一个精准、细微的工作，如果采用人手对弹性夹掰开来进行调节，无法达到精准的调节标准，需要多次、反复的进行掰开弹性夹这一步骤，从而不仅劳动程度较大，而且调节效率也比较低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述中的真空腔体连接管道在使用时，采用人手对弹性夹掰开来对真空腔体连接管道的流量进行调节，从而不仅劳动程度较大，而且调节效率也比较低，而提出的一种真空腔体连接管道。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]设计一种真空腔体连接管道，包括连接管道和法兰，所述连接管道的左右两侧均固接有法兰，所述连接管道的外壁安装有多个第一竖板，且第一竖板的开口处内壁与连接管道和法兰的外壁间隙配合，所述第一竖板的内侧安装有连接装置，所述连接装置的内侧安装有调节装置。
[0007]优选的，所述连接装置包括凹形板，上下所述凹形板的外壁与第一竖板相固接，所述凹形板的凹槽处通过转轴转动连接有双向螺杆，所述双向螺杆的右端外壁固接有第一皮带轮，且第一皮带轮的外侧通过皮带转动连接有第二皮带轮，所述皮带的外壁与凹形板的通孔处内壁间隙配合。
[0008]优选的，所述第二皮带轮的右侧固接有电机，这样通过电机的输出轴可以带动第
二皮带轮进行转动。
[0009]优选的，所述电机的中间外壁固接有第二竖板，且第二竖板的外壁与凹形板相固接，这样通过第二竖板可以将电机的位置固定。
[0010]优选的，所述调节装置包括套筒，上下多个所述套筒的内部与双向螺杆的外壁螺纹相连，所述套筒的外侧固接有矩形块，且矩形块的外壁与凹形板的滑槽处内壁间隙配合，相邻所述矩形块的前端面通过转轴转动连接有交叉杆，上下所述交叉杆的内侧通过转轴转动连接有滑块。
[0011]优选的，上下所述滑块的内侧滑动卡接有挡板，所述挡板的内壁固接有海绵垫，且海绵垫的外壁与连接管道的外壁相贴合，这样通过海绵垫可以对连接管道进行保护。
[0012]本技术提出的一种真空腔体连接管道，有益效果在于：可以将连接管道安装到第一竖板的开口处，并使连接管道处于两个挡板之间，再使连接管道通过法兰与外部设备进行连接，之后接通电机的外接电源和控制器，启动电机，使两个电机带动第二皮带轮进行同步转动，第二皮带轮通过皮带可以带动第一皮带轮进行转动，这样第一皮带轮便可以带动双向螺杆进行转动，使双向螺杆配合凹形板和矩形块带动套筒进行移动，从而相邻的两个套筒便可以使交叉杆进行交叉运动，这样交叉杆通过滑块便可以带动挡板进行移动，使挡板对连接管道进行挤压，这样本申请采用机械结构替换了原来的人工手动调节方式对连接管道的流量进行调节，不需要多次、反复的进行操作，劳动程度更小，而且调节效率也比较高，从而便较好的实现了真空泵或分子泵与真空镀膜设备连接后再调整管道直径以调整流量，提高了抽真空的效率，实现最佳的管道连接方案。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图；
[0014]图2为图1中的平面剖视图；
[0015]图3为图2中电机、皮带和第一皮带轮处的结构示意图；
[0016]图4为图2中套筒、矩形块和双向螺杆处的结构示意图；
[0017]图5为图2中滑块、海绵垫和挡板处的结构示意图。
[0018]图中：1、连接管道，2、法兰，3、连接装置，301、凹形板，302、双向螺杆，303、第一皮带轮，304、皮带，305、第二皮带轮，4、调节装置，401、套筒，402、矩形块，403、交叉杆，404、滑块，5、第一竖板，6、电机，7、第二竖板，8、挡板，9、海绵垫，10、横板。
具体实施方式：
[0019]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0020]实施例1：
[0021]参照附图1
‑
5，本实施例中，一种真空腔体连接管道，包括连接管道1和法兰2，连接管道1为橡胶材质，具有弹性，连接管道1的左右两侧均固接有法兰2，通过法兰2可以与外部设备进行连接，连接管道1的外壁安装有2个第一竖板5，第一竖板5的中间加工有开口，且第一竖板5的开口处内壁与连接管道1和法兰2的外壁间隙配合，第一竖板5的内侧安装有连接装置3，连接装置3的内侧安装有调节装置4。
[0022]参照附图1
‑
3，连接装置3包括凹形板 301、双向螺杆 302、第一皮带轮303、皮带
304和第二皮带轮305，上下凹形板301的外壁与第一竖板5相固接，凹形板301的内壁和右侧内部分别加工有滑槽和通孔，凹形板301的凹槽处通过转轴转动连接有双向螺杆302，双向螺杆302的右端外壁固接有第一皮带轮303，通过第一皮带轮303可以带动双向螺杆302进行转动，且第一皮带轮303的外侧通过皮带304转动连接有第二皮带轮305，第二皮带轮305通过皮带304可以带动第一皮带轮303进行转动，皮带304的外壁与凹形板301的通孔处内壁间隙配合，第二皮带轮305的右侧固接有电机6，电机6的型号可根据使用者需求选择，通过电机6的输出轴可以带动第二皮带轮305进行转动，电机6的中间外壁固接有第二竖板7，且第二竖板7的外壁与凹形板301相固接；
[0023]可以将连接管道1安装到第一竖板5的开口处，并使连接管道1处于两个挡板8之间，再使连接管道1通过法兰2与外部设备进行连接，之后通过相应的结构使挡板8对连接管道1进行挤压，这样本申请采用机械结构替换了原来的人工手动调节方式对连接管道1的流量进行调节，不需要多次本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体连接管道，包括连接管道(1)和法兰(2)，所述连接管道(1)的左右两侧均固接有法兰(2)，其特征在于：所述连接管道(1)的外壁安装有多个第一竖板(5)，且第一竖板(5)的开口处内壁与连接管道(1)和法兰(2)的外壁间隙配合，所述第一竖板(5)的内侧安装有连接装置(3)，所述连接装置(3)的内侧安装有调节装置(4)。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体连接管道，其特征在于：所述连接装置(3)包括凹形板(301)，上下所述凹形板(301)的外壁与第一竖板(5)相固接，所述凹形板(301)的凹槽处通过转轴转动连接有双向螺杆(302)，所述双向螺杆(302)的右端外壁固接有第一皮带轮(303)，且第一皮带轮(303)的外侧通过皮带(304)转动连接有第二皮带轮(305)，所述皮带(304)的外壁与凹形板(301)的通孔处内壁间隙配合。3.根据权利要求2所述的一种真空腔体连接管道，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁吉思，朱波，
申请(专利权)人：巴托真空科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：