弧源及镀膜机制造技术

本申请涉及镀膜技术领域，尤其是涉及一种弧源及镀膜机，弧源包括：防护罩、固定件、磁体组件和驱动装置，其中防护罩设置有靶材；固定件设置在防护罩内；磁体组件设置于固定件；驱动装置包括固定部以及设置于固定部的驱动部，驱动部能够相对固定部运动以靠近或远离靶材，驱动部与固定件连接，驱动装置驱动固定件带动磁体组件靠近或远离靶材。本申请提供的弧源，通过驱动装置驱动固定件以调节固定件上的磁体组件与靶材之间的距离或者位置关系，能够调节磁体组件形成的磁场与靶材之间的距离，并且调节过程通过驱动装置自动完成，相对人工手动调节的方式，一方面降低了操作难度，另一方面提高了调节精度，从而有助于提高镀膜机的镀膜质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
弧源及镀膜机


[0001]本申请涉及镀膜
，尤其是涉及一种弧源及镀膜机。

技术介绍

[0002]在多弧离子镀膜机中，弧源作为镀膜机的重要组成部分，靶材和磁体为弧源的主要部件，磁体用于在弧源的内部形成磁场，而磁体的组合和排布情况，具体体现在磁场强度的大小、磁体之间或磁体与靶材之间的距离、位置关系等，它们之间的排列组合会影响弧斑的运动速度、范围和轨迹，同时会影响等离子体的分布及密度，离化率高的弧源也对应地提升镀膜机的镀膜质量。现有的弧源磁体与靶材之间的位置相对固定，无法进行位置、距离调节，使得等离子体密度小，离化率低，弧源工作性能弱，这会严重影响镀膜效率和膜层质量，也有少部分弧源具有调节磁场与靶材的相对位置的功能，但通常为手动调节的方式，调节难度大而且调节精度难以控制。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种弧源及镀膜机，以在一定程度上解决现有技术中存在的弧源在调节靶材与磁体之间相对位置的过程操作难度大的技术问题。
[0004]本申请提供了一种弧源，包括：防护罩，设置有靶材；
[0005]固定件，设置于所述防护罩内；
[0006]磁体组件，设置于所述固定件；
[0007]驱动装置，包括固定部以及设置于所述固定部的驱动部，所述驱动部能够相对所述固定部运动以靠近或远离所述靶材，所述驱动部与所述固定件连接，所述驱动装置驱动所述固定件带动所述磁体组件靠近或远离所述靶材；
[0008]所述驱动装置包括：
[0009]第一驱动件，包括第一固定部，所述第一固定部设置有第一驱动部，所述第一驱动部能够相对所述第一固定部伸缩；
[0010]第二驱动件，包括第二固定部，所述第二固定部设置有第二驱动部，所述第二驱动部能够靠近或远离所述第二固定部；
[0011]所述第一驱动件为气缸，所述第一驱动部为所述气缸的驱动端，所述第一固定部为所述气缸的固定座，所述驱动端相对所述固定座具有第一预定位置和第二预定位置；
[0012]所述固定件包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板设置于所述第一驱动部，所述第二固定板设置于所述第二驱动部；
[0013]所述第二驱动件为电机，所述第二驱动部为所述电机的旋转轴，所述旋转轴连接有传动丝杠，所述传动丝杠沿所述防护罩的轴线方向延伸；
[0014]所述传动丝杠传动连接有轴套，所述第二固定板形成有孔部，所述轴套设置于所述孔部并与所述第二固定板连接。
[0015]在上述任一技术方案中，进一步地，所述磁体组件包括：
[0016]第一磁构件，设置于所述第一固定板，所述第一磁构件形成第一磁场；
[0017]第二磁构件，设置于所述第二固定板，所述第二磁构件形成第二磁场；
[0018]电磁线圈，所述第二固定板设置有线圈架，所述电磁线圈设置于所述线圈架，所述电磁线圈通电后形成第三磁场；
[0019]所述第一磁场、所述第二磁场和所述第三磁场形成综合磁场。
[0020]在上述任一技术方案中，进一步地，所述防护罩具有两端开口的筒结构，所述筒结构的一端设置有端盖，所述第一固定部和所述第二固定部设置于所述端盖，所述靶材设置于所述筒结构的远离所述端盖的一端；
[0021]所述弧源还包括导向杆和导向套，所述导向杆设置于端盖，所述导向套设置于所述导向杆，所述导向套与所述第二固定板连接。
[0022]在上述任一技术方案中，进一步地，所述弧源还包括水冷板；
[0023]所述水冷板设置于所述筒结构的远离所述端盖的一端开口，所述靶材具有平板结构，所述靶材与所述水冷板的外板面贴合。
[0024]在上述任一技术方案中，进一步地，所述弧源还包括固定法兰、屏蔽罩和绝缘件，所述屏蔽罩设置于所述防护罩设置有所述水冷板的一端，所述屏蔽罩相对所述防护罩突出，用于与镀膜机连接；
[0025]所述固定法兰具有环形结构，所述固定法兰的内环壁面设置有第一卡接部，所述靶材的侧壁面设置有与所述第一卡接部相适配的第二卡接部；
[0026]所述绝缘件具有环形结构，所述绝缘件设置于所述屏蔽罩与所述固定法兰和所述防护罩之间。
[0027]本申请还提供了一种镀膜机，包括上述任一技术方案所述的弧源，因而，具有该弧源的全部有益技术效果，在此，不再赘述。
[0028]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0029]本申请提供的弧源包括：防护罩，设置有靶材；固定件，设置于防护罩内；磁体组件，设置于固定件；驱动装置，包括固定部以及设置于固定部的驱动部，驱动部能够相对固定部运动以靠近或远离靶材，驱动部与固定件连接，驱动装置驱动固定件带动磁体组件靠近或远离靶材。
[0030]本申请提供的弧源，通过驱动装置驱动固定件以调节固定件上的磁体组件与靶材之间的距离或者位置关系，能够调节磁体组件形成的磁场与靶材之间的距离，并且调节过程通过驱动装置自动完成，相对人工手动调节的方式，一方面降低了操作难度，另一方面提高了调节精度，从而有助于提高镀膜机的镀膜质量。
[0031]本申请提供的镀膜机，包括上述所述的弧源，因而，通过本弧源实现磁场与靶材之间的距离、相对位置可调，从而便于控制镀膜机的镀膜质量，提高了镀膜产品的良品率、镀膜效率等。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前
提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1为本申请实施例提供的弧源的结构示意图；
[0034]图2为图1提供的弧源在A处的放大结构示意图。
[0035]附图标记：
[0036]1‑
防护罩，101
‑
端盖，2
‑
靶材，3
‑
第一驱动件，301
‑
第一固定部， 302
‑
第一驱动部，4
‑
第二驱动件，401
‑
第二固定部，402
‑
电机固定架， 403
‑
传动丝杠，404
‑
轴套，5
‑
第一固定板，6
‑
第二固定板，7
‑
第一磁构件，8
‑
第二磁构件，9
‑
电磁线圈，10
‑
导向杆，11
‑
导向套，12
‑
水冷板，13
‑
固定法兰，14
‑
绝缘件，15
‑
屏蔽罩。
具体实施方式
[0037]下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0038]通常在此处附图中描述和显示出的本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弧源，其特征在于，包括：防护罩，设置有靶材；固定件，设置于所述防护罩内；磁体组件，设置于所述固定件；驱动装置，包括固定部以及设置于所述固定部的驱动部，所述驱动部能够相对所述固定部运动以靠近或远离所述靶材，所述驱动部与所述固定件连接，所述驱动装置驱动所述固定件带动所述磁体组件靠近或远离所述靶材；所述驱动装置包括：第一驱动件，包括第一固定部，所述第一固定部设置有第一驱动部，所述第一驱动部能够相对所述第一固定部伸缩；第二驱动件，包括第二固定部，所述第二固定部设置有第二驱动部，所述第二驱动部能够靠近或远离所述第二固定部；所述第一驱动件为气缸，所述第一驱动部为所述气缸的驱动端，所述第一固定部为所述气缸的固定座，所述驱动端相对所述固定座具有第一预定位置和第二预定位置；所述固定件包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板设置于所述第一驱动部，所述第二固定板设置于所述第二驱动部；所述第二驱动件为电机，所述第二驱动部为所述电机的旋转轴，所述旋转轴连接有传动丝杠，所述传动丝杠沿所述防护罩的轴线方向延伸；所述传动丝杠传动连接有轴套，所述第二固定板形成有孔部，所述轴套设置于所述孔部并与所述第二固定板连接。2.根据权利要求1所述的弧源，其特征在于，所述磁体组件包括：第一磁构件，设置于所述第一固定板，所述第一磁构件形成第一磁场；第二磁构件，设置于所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：