本实用新型专利技术提供的一种插板阀装置及连续式真空镀膜系统，其中插板阀装置包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；升降机构设置于阀体机构的外部，且升降机构的伸缩端位于阀体机构内，并与阀板组件相连接；压紧机构包括驱动组件和压紧件，驱动组件相对设置于阀体机构的两侧，驱动组件的伸缩端位于阀体机构内，且驱动组件与压紧件相连接，驱动组件能够驱动压紧件与阀板组件的侧部相抵接或相分离。通过升降机构能够实现阀板组件竖直方向的移动，并在与作业设备的待密封口对接后进行密封，通过两侧的压紧机构对阀板组件进行压紧，能够进一步提高阀板组件与密封口之间的紧密度，无需阀板组件的横移，降低阀板组件密封圈的磨损。的磨损。的磨损。
【技术实现步骤摘要】
插板阀装置及连续式真空镀膜系统
[0001]本技术涉及密封设备
，尤其是涉及一种插板阀装置及连续式真空镀膜系统。
技术介绍
[0002]连续式真空镀膜系统中存在多个腔体，而为了保证多个腔体之间的真空度以及独立性，通常会通过插板阀进行分隔，以保证各个舱室之间的真空度和密封性。
[0003]现有的插板阀大多具有两个动作，升降动作和水平横移动作，阀板的升降动作能够开启和封闭对应位置的阀门，而水平横移动作能够提高阀板与阀门之间的紧密性，提高对舱体的密封程度。
[0004]但由于阀板的边缘套设有密封圈，且横移过程必然会使密封圈产生摩擦，从而使密封圈产生磨损，降低阀门的气密性。
[0005]因此，急需提供一种插板阀装置及连续式真空覆膜系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种插板阀装置及连续式真空覆膜系统，以在一定程度上优化插板阀结构，降低阀板边缘套设的密封圈产生磨损的问题。
[0007]本技术提供的一种插板阀装置，包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；所述升降机构沿竖直方向设置于所述阀体机构的外部，且所述升降机构的伸缩端位于所述阀体机构内，并与所述阀板组件相连接；所述压紧机构包括驱动组件和压紧件，所述驱动组件沿水平方向延伸，并相对设置于所述阀体机构的两侧，所述驱动组件的伸缩端位于所述阀体机构内，且所述驱动组件的伸缩端与所述压紧件相连接，所述驱动组件能够驱动所述压紧件与所述阀板组件的侧部相抵接或相分离。
[0008]其中，所述阀板组件包括主阀板和连接吊臂；所述主阀板的截面呈弧形，所述主阀板和所述连接吊臂均位于所述阀体机构内，且所述主阀板与所述连接吊臂相连接，所述升降机构的伸缩端与所述连接吊臂相连接，以驱动所述连接吊臂带动所述主阀板进行升降运动。
[0009]具体地，所述阀体机构包括下阀体和上阀体，所述上阀体形成有容纳腔，所述下阀体与作业设备的密封口相对接，且所述下阀体形成有密封腔，所述密封腔与所述容纳腔相连通；所述连接吊臂位于所述上阀体内，所述主阀板能够在所述下阀体与所述上阀体之间往复运动。
[0010]其中，本技术提供的插板阀装置，还包括导向件，所述导向件沿竖直方向延伸，且位于所述下阀体和上阀体内；所述主阀板与所述导向件滑动连接，并能够沿所述导向件的延伸方向往复运动。
[0011]具体地，所述主阀板的侧部连接有辅轮组件，所述辅轮组件位于所述主阀板的侧
部与所述导向件之间，所述辅轮组件能够跟随所述主阀板在所述导向件上滚动。
[0012]具体地，所述下阀体的两侧均形成有检修口，所述阀体机构还包括侧阀板，所述侧阀板与所述检修口一一对应设置，且所述侧阀板封盖于所述检修口，并与所述下阀体可拆卸连接；所述驱动组件与所述侧阀板相连接。
[0013]具体地，所述上阀体的两侧形成有安装孔，所述升降机构与所述安装孔一一对应设置，且所述升降机构的伸缩端穿过所述安装孔进入所述容纳腔与所述连接吊臂相连接。
[0014]进一步地，所述安装孔内设有密封组件，所述升降机构的伸缩端穿过所述密封组件进入所述容纳腔内。
[0015]更近一步地，本技术提供的插板阀装置，还包括安全锁组件，所述安全锁组件与所述上阀体相连接，且所述安全锁组件的伸缩端伸入所述容纳腔内；所述主阀板上形成有锁定孔，所述安全锁组件的伸缩端能够对应插入所述锁定孔内，以对所述主阀板进行锁定。
[0016]相对于现有技术，本技术提供的插板阀装置具有以下优势：
[0017]本技术提供的插板阀装置，包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；升降机构沿竖直方向设置于阀体机构的外部，且升降机构的伸缩端位于阀体机构内，并与阀板组件相连接；压紧机构包括驱动组件和压紧件，驱动组件沿水平方向延伸，并相对设置于阀体机构的两侧，驱动组件的伸缩端位于阀体机构内，且驱动组件的伸缩端与压紧件相连接，驱动组件能够驱动压紧件与阀板组件的侧部相抵接或相分离。
[0018]由此分析可知，通过升降机构与阀板组件的连接能够实现阀板组件的升降动作，而通过设置在阀体机构两侧的驱动组件，并使驱动组件的伸缩端与压紧件相连接，从而通过驱动组件驱动压紧件沿水平方向的往复运动，能够实现对阀板组件的压紧。
[0019]使用时，阀板组件先进行升降动作，当需要对作业设备的待密封口进行密封时，升降机构驱动阀板组件下降，直至覆盖全部的密封口，之后设置在阀体机构两侧的驱动组件动作，通过驱动组件的伸缩端向接近阀板组件的方向移动，从而能够驱动压紧件向接近阀板组件的方向移动，直至压紧件与阀板组件相抵接，并紧密接触，进而通过驱动组件的动作能够实现对阀板组件边缘的密封，完成对待密封口的全面密封。
[0020]由于本申请中的阀板组件的边缘密封无需阀板组件在水平方向上的移动，通过两侧设置的驱动组件即可实现密封，因此，能够在一定程度上避免阀板组件边缘的密封圈在多次密封动作后产生磨损，降低密封效果的问题。
[0021]此外，本技术还提供一种连续式真空镀膜系统，包括上述的插板阀装置。
[0022]采用本申请提供的插板阀装置的连续式真空镀膜系统，能够稳定的对待密封口进行密封，并且能够保证插板阀的使用寿命，在一定程度上避免在使用过程中出现漏气等问题。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术实施例提供的插板阀装置第一视角的结构示意图；
[0025]图2为本技术实施例提供的插板阀装置第二视角的结构示意图。
[0026]图中：1
‑
下阀体；101
‑
密封腔；2
‑
主阀板；3
‑
上阀体；301
‑
容纳腔；4
‑
驱动组件；5
‑
辅轮组件；6
‑
连接吊臂；7
‑
升降机构；8
‑
密封组件；9
‑
侧阀板；10
‑
导向件；11
‑
安全锁组件。
具体实施方式
[0027]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种插板阀装置，其特征在于，包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；所述升降机构沿竖直方向设置于所述阀体机构的外部，且所述升降机构的伸缩端位于所述阀体机构内，并与所述阀板组件相连接；所述压紧机构包括驱动组件和压紧件，所述驱动组件沿水平方向延伸，并相对设置于所述阀体机构的两侧，所述驱动组件的伸缩端位于所述阀体机构内，且所述驱动组件的伸缩端与所述压紧件相连接，所述驱动组件能够驱动所述压紧件与所述阀板组件的侧部相抵接或相分离。2.根据权利要求1所述的插板阀装置，其特征在于，所述阀板组件包括主阀板和连接吊臂；所述主阀板的截面呈弧形，所述主阀板和所述连接吊臂均位于所述阀体机构内，且所述主阀板与所述连接吊臂相连接，所述升降机构的伸缩端与所述连接吊臂相连接，以驱动所述连接吊臂带动所述主阀板进行升降运动。3.根据权利要求2所述的插板阀装置，其特征在于，所述阀体机构包括下阀体和上阀体，所述上阀体形成有容纳腔，所述下阀体与作业设备的密封口相对接，且所述下阀体形成有密封腔，所述密封腔与所述容纳腔相连通；所述连接吊臂位于所述上阀体内，所述主阀板能够在所述下阀体与所述上阀体之间往复运动。4.根据权利要求3所述的插板阀装置，其特征在于，还包括导向件，所述导向件沿竖直方向延伸，且位于所述下阀体和上阀体内；所述主阀板与所述导向件滑动连接，并...
【专利技术属性】
技术研发人员：王君，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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