真空镀膜装置及镀膜系统制造方法及图纸

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜装置及镀膜系统，真空镀膜装置包括真空室以及插板阀机构；其中，真空室的第一侧壁开设有入口，相对的第二侧壁开设有出口；真空室内设置有至少两个传送机构；其中至少一个传送机构设置在真空室的第三侧壁上，其中至少另一个传送机构设置在相对的第四侧壁上；传送机构用于将承载有工件的托盘从入口输送至真空室内，或将置于真空室内的承载有工件的托盘从出口输出真空室。可见，插板阀机构能够打开或者关闭真空室的入口或者出口，自动化程度更高，效率高，此外，通过真空室内的传送机构实现了工件的自动传送，省时省力，生产效率高。

Vacuum Coating Device and Coating System

The present application relates to the technical field of vacuum coating, in particular to a vacuum coating device and a coating system, which comprises a vacuum chamber and a plug valve mechanism, in which the first side wall of the vacuum chamber is provided with an entrance and the relative second side wall is provided with an exit, and the vacuum chamber is provided with at least two transmission mechanisms, of which at least one transmission mechanism is located in the first part of the vacuum chamber. On the three side walls, at least another conveying mechanism is located on the relative fourth side wall; the conveying mechanism is used to convey the tray carrying the workpiece from the entrance to the vacuum chamber, or to output the tray carrying the workpiece from the outlet to the vacuum chamber. It can be seen that the plug-in valve mechanism can open or close the entrance or exit of the vacuum chamber, which is more automated and efficient. In addition, the automatic transmission of workpiece is realized through the transmission mechanism in the vacuum chamber, which saves time and labor and has high production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜装置及镀膜系统
本申请涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种真空镀膜装置及镀膜系统。
技术介绍
目前，现有的真空镀膜室结构简单，只具有单侧门，由工人将工件直接放入真空室内，再人工手动调整工件的位置，镀膜结束后在人工取出，操作麻烦，且效率低，此外，真空室不具备可自动打开或者关闭的阀门，尤其当多个真空室连接在一起时，无法实现自动打开或者关闭。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种真空镀膜装置及镀膜系统，以解决现有技术中存在的真空镀膜室只具有单侧开门，依靠人工放件、调整以及取件，自动化程度低，工作效率低，此外，不具备自动打开或者关闭的阀门的技术问题。本申请提供了一种真空镀膜装置，包括：真空室以及插板阀机构；其中，所述真空室为内部中空的结构，且所述真空室的第一侧壁开设有入口，所真空室的相对的第二侧壁开设有出口；所述真空室内设置有至少两个传送机构；其中至少一个所述传送机构设置在所述真空室的第三侧壁上，其中至少另一个所述传送机构设置在所述真空室的相对的第四侧壁上，所述传送机构用于将承载有工件的托盘从所述入口输送至所述真空室内，或用于将置于所述真空室内承载有工件的托盘从所述出口输出所述真空室。在上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括：真空室以及插板阀机构；其中，所述真空室为内部中空的结构，且所述真空室的第一侧壁开设有入口，所真空室的相对的第二侧壁开设有出口；所述真空室内设置有至少两个传送机构；其中至少一个所述传送机构设置在所述真空室的第三侧壁上，其中至少另一个所述传送机构设置在所述真空室的相对的第四侧壁上，所述传送机构用于将承载有工件的托盘从所述入口输送至所述真空室内，或用于将置于所述真空室内承载有工件的托盘从所述出口输出所述真空室；所述插板阀机构设置在所述真空室的一侧，且所述插板阀组件用于打开或者封闭所述入口或者所述出口。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括：真空室以及插板阀机构；其中，所述真空室为内部中空的结构，且所述真空室的第一侧壁开设有入口，所真空室的相对的第二侧壁开设有出口；所述真空室内设置有至少两个传送机构；其中至少一个所述传送机构设置在所述真空室的第三侧壁上，其中至少另一个所述传送机构设置在所述真空室的相对的第四侧壁上，所述传送机构用于将承载有工件的托盘从所述入口输送至所述真空室内，或用于将置于所述真空室内承载有工件的托盘从所述出口输出所述真空室；所述插板阀机构设置在所述真空室的一侧，且所述插板阀组件用于打开或者封闭所述入口或者所述出口。2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述插板阀机构包括气缸、安装门以及设置在所述安装门内的支撑板、密封板、波纹管、滑动组件以及撑杆组件；其中，所述气缸设置在所述安装门上；所述安装门为内部中空的结构，且所述安装门的一侧壁上开设有第一通口，所述安装门的相对的另一侧壁上开设有第二通口；当所述插板阀组件设置在所述真空室的出口一侧时，所述安装门与所述第二侧壁相连接，且所述第一通口与所述出口相连通；当所述插板阀组件设置在所述真空室的入口时，所述安装门与所述第一侧壁相连接，且所述第二通口与所述入口相连通；所述支撑板及所述密封板通过弹簧相连接；所述滑动组件设置在所述支撑板以及所述密封板之间，且所述滑动组件用于带动所述支撑板以及所述密封板沿着所述安装门内的导杆，且平行于所述第二侧壁滑动；所述波纹管设置在所述支撑板上，且所述波纹管以及所述撑杆组件均位于所述支撑板与所述密封板之间；其中，所述气缸用于向所述波纹管提供空气；所述波纹管用于膨胀并带动所述撑杆组件推动所述支撑板封盖住所述第一通口以及推动所述密封板封盖住所述第二通口。3.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述安装门的内侧壁设置有安装槽，所述安装槽用于放置所述密封板；所述密封板嵌设有密封条，且所述密封条位于所述安装门的内侧壁与所述密封板之间。4.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述滑动组件包括吊臂以及两个导轮；其中，两个所述导轮对称设置于所述吊臂的两端；所述导杆的数量为两个，且两个所述导杆相平行设置，其中一个所述导轮沿着其中一个所述导杆滑动，其中另一个所述导轮沿着其中另一个所述导杆滑动；所述吊臂的底端与所述支撑板相连接。5.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述支撑板上设置有连接板；所述撑杆组件包括限位轴、第一撑杆以及第二撑杆；其中，所述限位轴穿设在所述连接板...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，汪友林，郭爱云，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21