下载真空镀膜装置及镀膜系统的技术资料

文档序号:21085198

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本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种真空镀膜装置及镀膜系统,真空镀膜装置包括真空室以及插板阀机构;其中,真空室的第一侧壁开设有入口,相对的第二侧壁开设有出口;真空室内设置有至少两个传送机构;其中至少一个传送机构设置在真空室的第三侧壁上...
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