【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于传输载体的设备、用于真空处理基板的系统、以及用于在真空室中传输载体的方法
本公开内容的实施方式涉及一种用于在真空室中传输载体的设备、一种用于真空处理基板的系统、以及一种用于在真空室中传输载体的方法。本公开内容的实施方式特别涉及一种真空系统，所述真空系统具有沉积设备且具有被配置成在第一传输路径和第二传输路径之间移动载体的路径转换组件。特别地，描述用于在真空室中改变载体的轨道的方法。
技术介绍
用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、蒸镀及化学气相沉积(CVD)。溅射沉积工艺可用于在基板上沉积材料层，诸如绝缘材料层或导体材料层。为了沉积多层堆叠，可使用串联式(in-line)处理模块布置。串联式处理系统包括多个连续的处理模块，诸如沉积模块和任选其他处理模块，例如清洁模块和/或蚀刻模块，其中在处理模块中依序地进行各处理方面，使得可以在串联式处理系统中连续地或准连续地处理多个基板。基板可由载体(即用于运载基板的运载装置)运载。通常使用传输系统传输载体通过真空系统。传输系统可被配置为用于沿着一个或多个传输路径运送具有位于其上的基板的载体。可在真空系统中提供邻近彼此...
【技术保护点】
1.一种用于在真空室(101)中传输载体(10)的设备(100)，包括：第一传输系统(112)，沿着在传输方向(T)上的第一传输路径(T1)提供且包括下轨道区段(121)和上轨道区段(122)；路径转换组件(150)，用于沿路径转换方向(S)移动所述载体，而使所述载体离开所述第一传输路径(T1)；以及致动器(125)，用于改变所述下轨道区段(121)和所述上轨道区段(122)之间的距离。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在真空室(101)中传输载体(10)的设备(100)，包括：第一传输系统(112)，沿着在传输方向(T)上的第一传输路径(T1)提供且包括下轨道区段(121)和上轨道区段(122)；路径转换组件(150)，用于沿路径转换方向(S)移动所述载体，而使所述载体离开所述第一传输路径(T1)；以及致动器(125)，用于改变所述下轨道区段(121)和所述上轨道区段(122)之间的距离。2.如权利要求1所述的设备，其中所述路径转换组件(150)包括载体固持部分(152)，所述载体固持部分(152)能在所述路径转换方向(S)上移动，以在所述路径转换方向(S)上传送由所述载体固持部分(152)固持的所述载体(10)。3.如权利要求2所述的设备，其中所述致动器(125)被配置成降低其上支撑有所述载体(10)的所述下轨道区段(121)，以用于将所述载体置于所述载体固持部分(152)上。4.如权利要求1至3中任一项所述的设备，进一步包括第二传输系统(114)，所述第二传输系统(114)沿着从所述第一传输路径(T1)水平偏移的第二传输路径(T2)提供，所述路径转换组件(150)的载体固持部分(152)能沿所述路径转换方向(S)从所述第一传输路径(T1)移动至所述第二传输路径(T2)和处理位置T3中的至少一者处，所述处理位置T3从所述第一传输路径和所述第二传输路径水平偏移。5.如权利要求4所述的设备，其中所述第二传输系统(114)包括第二下轨道区段(123)，所述第二下轨道区段(123)能在垂直方向(V)上移动。6.如权利要求1至5中任一项所述的设备，其中所述致动器(125)被配置成沿向下方向移动所述下轨道区段(121)远离所述上轨道区段(122)，并且/或者其中所述致动器(125)被配置成沿向上方向移动所述上轨道区段(122)远离所述下轨道区段(121)。7.如权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述第一传输系统(112)是第一磁性悬浮系统，所述第一磁性悬浮系统被配置成将所述载体非接触式地固持于所述下轨道区段(121)上方一距离处，所述下轨道区段(121)进一步包括载体支撑件，用于机械地支撑所述载体于所述载体支撑件上。8.如权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述路径转换组件(150)包括上固持装置(154)，所述上固持装置(154)被配置成固持和/或稳定所述载体(10)的上部分，所述上固持装置(154)至少能沿所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：奥利弗·海姆尔，克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼，拉尔夫·林登贝格，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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