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镀膜用真空室及镀膜系统技术方案
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下载镀膜用真空室及镀膜系统的技术资料
文档序号:21085201
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本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种镀膜用真空室及镀膜系统,镀膜用真空室包括:真空室以及至少两个传送机构;其中,真空室为内部中空的结构,且真空室的第一侧壁开设有入口,所真空室的相对的第二侧壁开设有出口;其中至少一个传送机构设置在真空室...
该专利属于沈阳爱科斯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳爱科斯科技有限公司授权不得商用。
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