一种多工位旋转阻蒸装置制造方法及图纸

一种多工位旋转阻蒸装置，公用电极座位于电极盘上方中部，多个分电极座沿圆周方向均分在电极盘上方，所述电极盘上设有多个阻蒸舟，多对压片将多个所述阻蒸舟固定在所述公用电极座与所述分电极座之间，所述公用电极座可与公用电极板电连接，所述分电极座和分电极板电连接，转轴穿过固定台与所述电极盘连接，多个电极柱穿过所述固定台并位于所述电极盘下方，所述电极柱下方连接有气缸，所述转轴下方设有从动轮，所述从动轮通过同步带与主动轮配合，所述主动轮固定在电机的轴上。本实用新型专利技术提供的多工位旋转阻蒸设备，设置了多个阻蒸舟，可放置不同的镀膜材料，提高了真空镀膜的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位旋转阻蒸装置
本技术涉及真空蒸发镀膜领域，尤其涉及一种多工位旋转阻蒸装置。
技术介绍
真空蒸发镀膜是指在真空状态下，对蒸发舟电极片通电，蒸发舟自身产生电阻效应而发热，使蒸发舟内的镀膜材料融掉蒸发，然后附着于待镀膜工件上。现有的阻蒸装置大多只有一个蒸发舟，在蒸发舟内镀膜材料蒸发后，需要向蒸发舟加入更多镀膜材料，这种阻蒸装置只能放置一种镀膜材料，且每次放置镀膜材料时都需要对真空镀膜机进行抽真空，操作繁琐，效率低。
技术实现思路
针对现有技术方案中阻蒸装置的问题，本技术提供了多工位旋转阻蒸装置。本技术提供如下的技术方案：一种多工位旋转阻蒸装置，内部中空的棱柱状公用电极座位于盘状的电极盘上方中部，多个分电极座沿圆周方向均分在所述电极盘上方，所述电极盘上设有多个利用电阻热效应蒸发镀膜材料的阻蒸舟，多对压片将多个所述阻蒸舟固定在所述公用电极座与所述分电极座之间，花键状的公用电极板位于所述电极盘中部下方，分电极板位于所述电极盘下方且与所述分电极座一一对应，所述公用电极板上的齿形凸起与所述分电极板间隔分布，所述电极盘表面具有绝缘层；一对电极柱穿过固定台并位于所述电极盘下方，多个所述分电极板分布在以电极盘中心为圆心的同一圆周上，其中一个所述电极柱也位于该圆周上，另一个所述电极柱处于所述公用电极板的其中一个齿形凸起下方，每个所述电极柱下方都设有气缸，所述气缸安装在与固定台相连接的第一固定架上，转轴穿过固定台与所述电极盘连接，所述转轴下方设有从动轮，所述从动轮通过同步带与主动轮配合，所述主动轮固定在电机的轴上，所述电机安装在与固定台相连接的第二固定架上。进一步的，每个所述分电极座长边所在平面与所述公用电极座一侧面平行。进一步的，所述公用电极座内设有连接所述阻蒸舟的一端和公用电极板的电极块，所述分电极座内设有连接阻蒸舟的另一端和分电极板的电极块。进一步的，所述阻蒸舟整体为耐高温金属材料。进一步的，所述电极盘和所述公用电极板中间都设有方孔，所述方孔内侧还设有绝缘层，所述转轴上端设有与所述方孔配合的方轴。进一步的，还包括定位台，螺栓穿过所述定位台将所述电极盘固定所述转轴的方轴上。进一步的，还包括第一密封体和第二密封体，所述电极柱与所述固定台连接处设有第一密封体，所述转轴与所述固定台连接处设有第二密封体。进一步的，还包括套筒、伸缩杆，所述气缸的伸缩杆上方与所述套筒底部连接，所述套筒内部中空。进一步的，还包括凸台、弹簧，所述电极柱下方设有所述凸台，所述电极柱穿过所述弹簧，所述弹簧上端与所述凸台接触，下端与所述套筒上端面接触。进一步的，所述电极柱下端能在所述套筒中部做一定距离的移动。本技术的有益效果是：本技术设置了多个阻蒸舟，每个阻蒸舟可以放置不同的镀膜材料，真空镀膜机在一次抽真空后，便可对待镀膜工件镀上不同材料的膜，大大提高了镀膜的工作效率。附图说明图1为本技术一个实施例的结构示意图；图2为图1所示实施例的正视图；图3为图2所示实施例A-A面剖视图；图4为图1所示实施例电极盘上方结构爆炸图。附图标记：1-压片；2-阻蒸舟；3-电极盘；31-分电极座；32公用电极座；33-分电极板；34-公用电极板；35-限位孔；36-定位台；37-齿形凸起；4-电极柱；41-凸台；5-转轴；6-第一密封体；7-第二密封体；8-固定台；9-弹簧；10-从动轮；11-同步带；12-主动轮；13-套筒；14伸缩杆；15-气缸；16-电机；17-第一固定架；18-第二固定架。具体实施方式以下结合附图及附图标记对本技术的实施方式做更详细的说明，使熟悉本领域的技术人在研读本说明书后能据以实施。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。本技术提供了如图1至图4所示的一种多工位旋转阻蒸装置，内部中空的棱柱状公用电极座32位于盘状的电极盘3上方中部，多个分电极座31沿圆周方向均分在所述电极盘3上方，所述电极盘3上设有多个利用电阻热效应蒸发镀膜材料的阻蒸舟2，多对压片1将多个所述阻蒸舟2固定在所述公用电极座32与所述分电极座31之间，花键状的公用电极板34位于所述电极盘3中部下方，分电极板33位于所述电极盘3下方且与所述分电极座31一一对应，所述公用电极板34上的齿形凸起与所述分电极板33间隔分布，所述电极盘（3）表面具有绝缘层；一对电极柱4穿过所述固定台8并位于所述电极盘3下方，多个所述分电极板33分布在以电极盘3中心为圆心的同一圆周上，其中一个所述电极柱4也位于该圆周上，另一个所述电极柱4处于所述公用电极板34的其中一个齿形凸起37下方，每个所述电极柱4下方都设有气缸15，所述气缸15安装在与固定台8相连接的第一固定架17上，转轴5穿过固定台8与所述电极盘3连接，所述转轴5下方设有从动轮10，所述从动轮10通过同步带11与主动轮12配合，所述主动轮12固定在电机16的轴上，所述电机16安装在与固定台8相连接的第二固定架18上。一个具体的实施方式：操作人员向所述蒸发舟2内加入镀膜材料，所述蒸发舟2的数量可为6个，每个所述蒸发舟2内的镀膜材料可以不同。如图1所示，所述固定台8是真空镀膜机的一部分，所述固定台8上方的机构都位于真空镀膜机内。真空镀膜机内抽真空后，所述气缸15带动所述电极柱4朝所述电极盘3移动，所述气缸15和所述电极柱14的数量都可以为2个。一根所述电极柱4上端接触所述分电极板33，另一根电极柱4上端接触所述公用电极板34上的齿形凸起37。如图3所示，所述公用电极板34整体可导电，所述齿形凸起37和所述分电极板33数量均可为6个，所述齿形凸起37与所述分电极板33间隔分布，保证所述电极柱4通电后，电流只会在一个所述蒸发舟2内流通而形成电流回路。向一根所述电极柱4通电，电流会从电极柱4流向所述所述分电极板33，再通过所述分电极座31内的电极块流向所述阻蒸舟2，然后从所述公用电极座32内的电极块流向所述公用电极板34，接着从另一根所述电极柱4流出。所述阻蒸舟2通入电流后由于电阻热效应会产生高温，高温将所述阻蒸舟2内镀膜材料蒸发。当一种镀膜材料在待镀膜工件上镀膜完成后，可控制两个所述气缸15，将所述电极柱4下移，此时，可控制所述电机16旋转，所述电机16带动所述主动轮12转动，主动轮12又通过同步带11带动所述从动轮10转动，由于所述从动轮11与所述转轴5固定，所以转轴5会带动所述电极盘3转动，直至盛有另外一种镀膜材料的蒸发舟2移动到所述电极柱4上方，所述电机16停止转动。所述电机16可为伺服电机，其转速和转动角度都可以很好控制。再次控制所述气缸15，带动两根所述电极柱4分别接触所述分电极板33和所述公用电极板34，从而进行下一次镀膜材料的蒸发。需要说明的是，阻蒸装置用电极柱导电，利用电阻热效应对镀膜材料进行高温蒸发的工作过程属于现有技术。具体的，所述阻蒸舟2材料可为钨、钼等耐高温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：内部中空的棱柱状公用电极座（32）位于盘状的电极盘（3）上方中部，多个分电极座（31）沿圆周方向均分在所述电极盘（3）上方，所述电极盘（3）上设有多个利用电阻热效应蒸发镀膜材料的阻蒸舟（2），多对压片（1）将多个所述阻蒸舟（2）固定在所述公用电极座（32）与所述分电极座（31）之间，花键状的公用电极板（34）位于所述电极盘（3）中部下方，分电极板（33）位于所述电极盘（3）下方且与所述分电极座（31）一一对应，所述公用电极板（34）上的齿形凸起（37）与所述分电极板（33）间隔分布，所述电极盘（3）表面具有绝缘层；/n一对电极柱（4）穿过固定台（8）并位于所述电极盘（3）下方，多个所述分电极板（33）分布在以电极盘（3）中心为圆心的同一圆周上，其中一个所述电极柱（4）也位于该圆周上，另一个所述电极柱（4）处于所述公用电极板（34）的其中一个齿形凸起（37）下方，每个所述电极柱（4）下方都设有气缸（15），所述气缸（15）安装在与固定台（8）相连接的第一固定架（17）上，转轴（5）穿过固定台（8）与所述电极盘（3）连接，所述转轴（5）下方设有从动轮（10），所述从动轮（10）通过同步带（11）与主动轮（12）配合，所述主动轮（12）固定在电机（16）的轴上，所述电机（16）安装在与固定台（8）相连接的第二固定架（18）上。/n...

【技术特征摘要】
1.一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：内部中空的棱柱状公用电极座（32）位于盘状的电极盘（3）上方中部，多个分电极座（31）沿圆周方向均分在所述电极盘（3）上方，所述电极盘（3）上设有多个利用电阻热效应蒸发镀膜材料的阻蒸舟（2），多对压片（1）将多个所述阻蒸舟（2）固定在所述公用电极座（32）与所述分电极座（31）之间，花键状的公用电极板（34）位于所述电极盘（3）中部下方，分电极板（33）位于所述电极盘（3）下方且与所述分电极座（31）一一对应，所述公用电极板（34）上的齿形凸起（37）与所述分电极板（33）间隔分布，所述电极盘（3）表面具有绝缘层；
一对电极柱（4）穿过固定台（8）并位于所述电极盘（3）下方，多个所述分电极板（33）分布在以电极盘（3）中心为圆心的同一圆周上，其中一个所述电极柱（4）也位于该圆周上，另一个所述电极柱（4）处于所述公用电极板（34）的其中一个齿形凸起（37）下方，每个所述电极柱（4）下方都设有气缸（15），所述气缸（15）安装在与固定台（8）相连接的第一固定架（17）上，转轴（5）穿过固定台（8）与所述电极盘（3）连接，所述转轴（5）下方设有从动轮（10），所述从动轮（10）通过同步带（11）与主动轮（12）配合，所述主动轮（12）固定在电机（16）的轴上，所述电机（16）安装在与固定台（8）相连接的第二固定架（18）上。


2.如权利要求1所述的一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：每个所述分电极座（31）长边所在平面与所述公用电极座（32）一侧面平行。


3.如权利要求1所述的一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：所述公用电极座（32）内设有连接所述阻蒸舟（2）的一端和公...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，朱雪峰，
申请(专利权)人：成都四盛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51