【技术实现步骤摘要】
一种多工位旋转阻蒸装置
本技术涉及真空蒸发镀膜领域，尤其涉及一种多工位旋转阻蒸装置。
技术介绍
真空蒸发镀膜是指在真空状态下，对蒸发舟电极片通电，蒸发舟自身产生电阻效应而发热，使蒸发舟内的镀膜材料融掉蒸发，然后附着于待镀膜工件上。现有的阻蒸装置大多只有一个蒸发舟，在蒸发舟内镀膜材料蒸发后，需要向蒸发舟加入更多镀膜材料，这种阻蒸装置只能放置一种镀膜材料，且每次放置镀膜材料时都需要对真空镀膜机进行抽真空，操作繁琐，效率低。
技术实现思路
针对现有技术方案中阻蒸装置的问题，本技术提供了多工位旋转阻蒸装置。本技术提供如下的技术方案：一种多工位旋转阻蒸装置，内部中空的棱柱状公用电极座位于盘状的电极盘上方中部，多个分电极座沿圆周方向均分在所述电极盘上方，所述电极盘上设有多个利用电阻热效应蒸发镀膜材料的阻蒸舟，多对压片将多个所述阻蒸舟固定在所述公用电极座与所述分电极座之间，花键状的公用电极板位于所述电极盘中部下方，分电极板位于所述电极盘下方且与所述分电极座一一对应，所述公用电极板上的齿形凸起与所述分电极板间隔分布，...
【技术保护点】
1.一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：内部中空的棱柱状公用电极座（32）位于盘状的电极盘（3）上方中部，多个分电极座（31）沿圆周方向均分在所述电极盘（3）上方，所述电极盘（3）上设有多个利用电阻热效应蒸发镀膜材料的阻蒸舟（2），多对压片（1）将多个所述阻蒸舟（2）固定在所述公用电极座（32）与所述分电极座（31）之间，花键状的公用电极板（34）位于所述电极盘（3）中部下方，分电极板（33）位于所述电极盘（3）下方且与所述分电极座（31）一一对应，所述公用电极板（34）上的齿形凸起（37）与所述分电极板（33）间隔分布，所述电极盘（3）表面具有绝缘层；/n一对电极柱（4）...
【技术特征摘要】
1.一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：内部中空的棱柱状公用电极座（32）位于盘状的电极盘（3）上方中部，多个分电极座（31）沿圆周方向均分在所述电极盘（3）上方，所述电极盘（3）上设有多个利用电阻热效应蒸发镀膜材料的阻蒸舟（2），多对压片（1）将多个所述阻蒸舟（2）固定在所述公用电极座（32）与所述分电极座（31）之间，花键状的公用电极板（34）位于所述电极盘（3）中部下方，分电极板（33）位于所述电极盘（3）下方且与所述分电极座（31）一一对应，所述公用电极板（34）上的齿形凸起（37）与所述分电极板（33）间隔分布，所述电极盘（3）表面具有绝缘层；
一对电极柱（4）穿过固定台（8）并位于所述电极盘（3）下方，多个所述分电极板（33）分布在以电极盘（3）中心为圆心的同一圆周上，其中一个所述电极柱（4）也位于该圆周上，另一个所述电极柱（4）处于所述公用电极板（34）的其中一个齿形凸起（37）下方，每个所述电极柱（4）下方都设有气缸（15），所述气缸（15）安装在与固定台（8）相连接的第一固定架（17）上，转轴（5）穿过固定台（8）与所述电极盘（3）连接，所述转轴（5）下方设有从动轮（10），所述从动轮（10）通过同步带（11）与主动轮（12）配合，所述主动轮（12）固定在电机（16）的轴上，所述电机（16）安装在与固定台（8）相连接的第二固定架（18）上。
2.如权利要求1所述的一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：每个所述分电极座（31）长边所在平面与所述公用电极座（32）一侧面平行。
3.如权利要求1所述的一种多工位旋转阻蒸装置，其特征在于：所述公用电极座（32）内设有连接所述阻蒸舟（2）的一端和公...
【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，朱雪峰，
申请(专利权)人：成都四盛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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