由钽酸锂制造的界面声波器件制造技术

本发明专利技术涉及由钽酸锂制造的界面声波部件。在构成滤波器的两层衬底具有相同的横截面和相同晶体取向的情况下，本发明专利技术给出了尤其用于优化电机耦合系数的最佳切割角度，其中该系数能够决定所制造的部件的最终工作特性。提供了给出耦合系数的变化曲线及作为切割角和传播方向的函数的衰减的曲线。同样给出用于这些最佳切割角的部件的主要声学特性的值。一方面，这类设备的应用是用作无源部件，例如谐振器、滤波器或延迟线型，或者作为集成的器件，或者用于测量链或器件的组合中，这些器件根据通过相位编码的器件的识别原则而操作。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的
是界面声波器件，特别是在两层钽酸锂衬底之间的界面上制造的滤波器。众所周知，制造表面声波器件是利用在压电衬底表面上波的传播。在被称为瑞利波的情况下，通过相互交叉的梳状变换器生成和接收瑞利波，该梳状变换器是由其间具有电压差的交叉电极所构成，这些器件具有两个主要的缺陷。第一，为了在衬底的表面准确地传播表面波，此表面必须保持不受约束(free)，通过用于获得空腔的封装工艺而获得此条件。第二，构成相互交叉的梳状变换器的电极的间距通常是较小的，为几百纳米的量级。另外，在封装中存在尺寸非常小的导电粒子，这些导电粒子可能使变换器短路，同时可能干扰该器件的正常运行。为了减轻这种缺陷，就需要使该部件的封装密封，或在变换器上沉积一薄层的绝缘电介质材料。这种被称为钝化的操作，能够消除导电粒子的灵敏度。然而，这并不能免除实施起来非常昂贵的封装操作。界面声波器件的利用能使与封装有关的各种问题得到解决。在这种情况下，不再利用在衬底表面上声波的传播，而是利用在两个衬底之间的界面上声波的传播。当然，此设备能够得到一个钝化的部件，而不再需要制造空腔。从而，可以完全去掉封装。在1924年，Sto本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种界面声波器件，包括：由钽酸锂（ＬｉＴａＯ↓［３］）制造的第一晶体衬底（Ｓ↓［１］）；同样由钽酸锂制造的第二晶体衬底（Ｓ↓［２］）；所述两层衬底通过平面界面区域（Ｉ）连接在一起，该平面界面区域用于提供声波的传播并至 少包括电声变换器；用于电连接所述变换器的互联设备；参考原始的标准正交的坐标系（Ｘ，Ｙ，Ｚ），Ｚ平行于光轴，Ｘ由晶体的压电性所定义，Ｙ垂直于（Ｘ，Ｚ），所述衬底具有相同的切割平面和共同的晶体取向，所述切割平面由两个连续的旋转角 度φ和θ定义，φ对应于关于Ｚ轴的第一旋转，由此得到的坐标系由（Ｘ’，Ｙ’，Ｚ’）...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马克索拉尔，塞尔日卡利斯蒂，樊尚洛德，西尔万巴朗德拉，塞尔日卡穆，托马帕斯蒂尔奥德，
申请(专利权)人：塔莱斯公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]