【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法,可将大批量的微米到毫米量级的微器件进行自组装,其特征在于,包括下列步骤:a、对微器件不同表面有选择地进行亲水、疏水化处理;b、使用两种表面能和密度相差都很大的液体组成混合液体,并置入容器中,而形成一层清晰的液-液界面;c、将微器件放入容器的混合液体中,使其漂浮在液-液界面,并聚集在界面中央;d、将基片自上而下垂直通过液-液界面,漂浮的微器件即附着到基片表面;e、通过超声震动,使微器件的组装位置到达基片组装位置,组装位置的磁性材料的磁力使基片与微器件牢固结合。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:夏善红,刘梅,张建刚,吕曜,
申请(专利权)人:中国科学院电子学研究所,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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