液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法技术

技术编号:1323373 阅读:197 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术一种液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法,装配过程在液-液界面进行,可将大批量微器件同时装配到基片的组装位置。微器件的自组装,包括基片和微器件的制备、处理和组装环境、方法的选择。对微器件各个表面进行亲水、疏水化处理,使其以特定形态聚集在液-液界面中央,再使基片自上而下垂直通过该液-液界面,微器件会附着在基片表面。通过超声震动,微器件到达与之形状匹配的基片组装位置,利用组装位置的磁性材料的吸引力,使基片与微器件牢固结合。基片依次通过漂浮着不同微器件的不同界面,不同的组装位置通过形状或尺寸识别微器件,从而分批组装不同微器件,实现混合结构系统。本发明专利技术的优点是效率高、成本低、应用范围广泛。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法,可将大批量的微米到毫米量级的微器件进行自组装,其特征在于,包括下列步骤:a、对微器件不同表面有选择地进行亲水、疏水化处理;b、使用两种表面能和密度相差都很大的液体组成混合液体,并置入容器中,而形成一层清晰的液-液界面;c、将微器件放入容器的混合液体中,使其漂浮在液-液界面,并聚集在界面中央;d、将基片自上而下垂直通过液-液界面,漂浮的微器件即附着到基片表面;e、通过超声震动,使微器件的组装位置到达基片组装位置,组装位置的磁性材料的磁力使基片与微器件牢固结合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:夏善红刘梅张建刚吕曜
申请(专利权)人:中国科学院电子学研究所
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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