【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种功能元件,其至少具有功能元件部、围绕所述功能元件部的第1密封用金属膜、至少表面是Si的基板、以及玻璃基板,所述功能元件部和所述第1密封用金属膜形成在所述至少表面为Si的基板上,并且在所述功能元件部与所述玻璃基板相对的状态下,所述至少表面为Si的基板和所述玻璃基板以所述第1密封用金属膜为媒介通过阳极接合来接合,其特征在于,所述第1密封用金属膜和所述玻璃基板的阳极接合时的反应生成物层,形成在该阳极接合后的所述第1密封用金属膜和所述玻璃基板的界面上。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:秦昌平,坂本英次,松岛直树,
申请(专利权)人:株式会社日立制作所,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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