下载液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法的技术资料

文档序号:1323373

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本发明一种液-液界面磁力辅助的三维微器件自组装方法,装配过程在液-液界面进行,可将大批量微器件同时装配到基片的组装位置。微器件的自组装,包括基片和微器件的制备、处理和组装环境、方法的选择。对微器件各个表面进行亲水、疏水化处理,使其以特定形态...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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