薄膜型声波元件及其制造方法技术

一种薄膜型声波元件及其制造方法，其特征是利用压电层材料的晶向性配合不同的电极电场驱动方向来制作不同效能（ＦｉｇｕｒｅｏｆＭｅｒｉｔ，ＦＯＭ）的声波元件，并可藉由结合体声波元件与表面声波元件，以提供不同规格下元件最佳化的设计及制造方法。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种薄膜型声波元件的制造方法，其特征是：利用驱动电极图案设计改变波传方向与薄膜晶向夹角以获得元件特性最佳化的制造方法。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡淑慧，张静宜，林宗贤，
申请(专利权)人：亚太优势微系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]