弹性表面波器件制造技术

本发明专利技术提供一种具有平衡一不平衡转换功能，而且相位平衡特性优良的弹性表面波器件。该弹性表面波器件是，在压电衬底上，形成具有沿弹生表面波传播方向设置的多个ＩＤＴ１０５～１０７的第１弹性表面波滤波器１０１和具有ＩＤＴ１０５′、１０７′的第２弹性表面波滤波器１０２，上述第１、第２弹性表面波滤波器１０１、１０２的输入端子由共同连接点１１０电共同连接起来，而且连接到不平衡信号端子１１２，ＳＡＷ滤波器１０１、１０２的输出端子分别连接到第１、第２的平衡信号端子１１３、１１４，并在共同连接点１１０与ＳＡＷ滤波器１０１之间附加在压电衬底上边形成的延迟线１１７。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种例如用作带通滤波器的弹性表面波器件，更详细点说，关于输入端子和输出端子的一方是不平衡信号端子的弹性表面波器件。
技术介绍
近年来，就使用于移动电话机RF频带的弹性表面波器件来说，要求具有平衡-不平衡转换功能，所谓的平衡功能，并可使用在GSM方式移动电话机的RF频带等。就平衡—不平衡转换功能而言，要求平衡一侧的一对端子振幅差(以下，称为振幅平衡特性)接近于0，相位差(以下，称为相位平衡特性)接近180°。图6中简略表示具有已有的平衡—不平衡转换功能的弹性表面波器件的一个例子。图6中表示的弹性表面波器件200，是在压电衬底上由Al电极形成纵耦合振子型SAW滤波器201、202和通道型SAW振子203、204。SAW滤波器201、202的输入侧被并联连接起来，并连接到不平衡信号端子205。并且，将SAW振子203、204分别串联连接到SAW滤波器201、202的输出侧，SAW振子203、204分别与平衡信号端子206、207连接起来。由图6很清楚，SAW滤波器202中，邻接反射器的不平衡侧IDT201a、201b相对于邻接SAW滤波器202的反射器IDT201a、201b倒过来。因此，由平衡信号端子206输出的信号与平衡信号端子207输出信号的相位就相差180°。
技术实现思路
图6所示的构成中，SAW滤波器201的IDT201a、201b的多条电极指之中，邻接中央IDT201c的电极指201d、201e连接到不平衡信号端子205。对此，就SAW滤波器202而言，IDT201a、201b的多条电极指之中，邻接中央IDT202c的电极指202d、202e连接到地电位。所以，SAW滤波器202的特性不是简单地使SAW滤波器201的相位倒转180°。因此，弹性表面波器件200中，相位平衡特性不得不偏离理想的180°。并且，具有已有的平衡—不平衡转换功能的弹性表面波器件中，进而，从不平衡信号端子到一对平衡信号端子的压电衬底上的布线构造等的布局，作为基准，有时使不平衡信号端子不对称。此时，到一对平衡信号端子为止路径的寄生电容大小不同，因而往往也使相位平衡天特性恶化。鉴于上述现有技术的现状，本专利技术的目的在于提供一种具有平衡—不平衡转换功能，而且相位平衡特性优良的弹性表面波器件。按照第1专利技术的宽广方面，提供一种具备压电衬底和该压电衬底上配置的至少一个IDT，输入端子和输出端子的一方是不平衡信号端子，另一方是第1、第2平衡信号端子的弹性表面波器件，其特征是，在上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径中，在上述不平衡信号端子一侧附加延迟线。这时，理想的是，在电压衬底上边，形成上述延迟线。按照第2专利技术的另一个宽广方面，是提供一种弹性表面波器件，其特征是，该器件具备具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT的第1弹性表面波滤波元件，和具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个ID并使T传输相位特性与上述第1弹性表面波滤波元件有约180°不同的第2弹性表面波滤波元件；上述第1、第2弹性表面波滤波元件各自具有输入端子和输出端子，第1、第2弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方端子在共同连接点进行共同连接，而且不平衡信号端子连接到该共同连接点，上述输入端子和输出端子的另一方端子分别作为第1、第2平衡信号端子；上述共同连接点与第1弹性表面波滤波元件之间附加延迟线。理想的是，在压电衬底上边形成上述延迟线。并且，在第2专利技术的特定方面，上述共同连接点和与该共同连接点电连接起来的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟该共同连接点电连接起来的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同。在本专利技术(第1、第2的专利技术)的某特定方面，用上述延迟线，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上构成，使输入输出的电信号相位有05°～4°不同。在本专利技术(第1、第2的专利技术)的另一特定方面，还具备附加于上述一对平衡信号端子的一方，而且在压电衬底上边形成的第2延迟线。这时，理想的是这样构成，用上述延迟线和第2延迟线，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上，使输入输出的电信号相位有05°～4°不同。按照第3专利技术的宽广方面，提供一种弹性表面波器件，其特征是，该器件具备具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT的第1弹性表面波滤波元件，和具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT并使传输相位特性与上述第1弹性表面波滤波元件有180°不同的第2弹性表面波滤波元件；上述第1、第2弹性表面波滤波元件各自具有输入端子和输出端子，第1、第2弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方端子在共同连接点进行共同连接，而且在该共同连接点连接有不平衡信号端子，上述输入端子和输出端子的另一方端子分别成为第1、第2平衡信号端子；上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同。在第3专利技术的某特定方面，上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟该共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同，使在上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径输入输出电信号的相位有05°～4°不同。进而，在本专利技术另一个限定的方面，上述压电衬底上边，上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的信号线路径长度和上述不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径长度不同，当设定中心频率为fc(MHz)时，路径长度差L(mm)是417/fc＜L＜3330/fc。附图说明图1是本专利技术一个实施例的弹性表面波器件的模式平面图。图2是表示实施例和已有例的弹性表面波器件传输特性的图。图3是表示实施例和已有例的弹性表面波器件振幅平衡特性的图。图4是表示实施例和已有例的弹性表面波器件相位平衡特性的图。图5是表示本专利技术弹性表面波器件的变形例的模式平面图。图6是表示已有弹性表面波器件的一例的模式平面图。具体实施例方式以下，通过一边参照附图一边具体地说明本专利技术，将使本专利技术更清楚。图1是本专利技术第1实施例的弹性表面波器件的模式平面图。本实施例中，在压电衬底上边由Al电极形成图1所示的电极构造。至于压电衬底，可采用40±5°Y切割X传播LiTaO3衬底。不过，构成压电衬底的压电材料不限定于此，也可以采用其它切割角的LiTaO3衬底或64～72°Y切割X传播LiNbO3和41°Y切割X传播LiNbO3等压电单晶衬底、或压电陶瓷衬底。在上述压电衬底上边，形成第1、第2的纵耦合振子型SAW滤波器101、102，和一通道型SAW振子103、104。就SAW滤波器101而言，沿着表面波传播方向配置IDT105～107。在形成IDT105～107部分的表面波传播方向两侧，配置反射器108、109。面临IDT105与IDT106之间间隔和IDT106与IDT10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性表面波器件，具备压电衬底和该压电衬底上配置的至少一个ＩＤＴ，输入端子和输出端子的一方是不平衡信号端子，另一方是第１、第２平衡信号端子，其特征是： 上述不平衡信号端子与第１平衡信号端子之间的路径上，在上述不平衡信号端子一侧附加延迟线。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：藤井裕久，大内峰文，矢田優，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]