弹性表面波装置用的压电基片和弹性表面波装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提供一种能宽频带化及小型化的弹性表面波装置。弹性表面波装置具有压电基片（１）、设置在该压电基片（１）的一方主面上的一对手指交错状电极（２）。压电基片（１）的材料由单晶体构成，它是属于点群３２、具有Ｃａ＃－［３］Ｇａ＃－［２］Ｇｅ＃－［４］Ｏ＃－［１４］型结晶结构；其主要成分由Ｃａ、Ｎｂ、Ｇａ、Ｓｉ和Ｏ构成，由化学式Ｃａ＃－［３］ＮｂＧａ＃－［３］Ｓｉ＃－［２］Ｏ＃－［１４］表示的。借助适当地选择基片（１）的切出角和传输方向，能使基片（１）具有大的电气机械结合系数和小的ＳＡＷ速度，前者能有效地使通频带宽带化、后者能有效地使弹性表面波装置小型化。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种弹性表面波装置用的压电基片，用于在压电基片上设有手指状交错电极的弹性表面波装置中，其特征在于，由单晶体构成，所述单晶体属于点群３２、具有Ｃａ↓［３］Ｇａ↓［２］Ｇｅ↓［４］Ｏ↓［１４］型结晶结构；其主要成分由Ｃａ、Ｎｂ、Ｇａ、Ｓｉ和Ｏ构成，是由化学式Ｃａ↓［３］ＮｂＧａ↓［３］Ｓｉ↓［２］Ｏ↓［１４］表示的。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：井上宪司，佐藤胜男，守越广树，佐藤淳，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]