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一种薄膜型声波元件及其制造方法，其特征是利用压电层材料的晶向性配合不同的电极电场驱动方向来制作不同效能（ＦｉｇｕｒｅｏｆＭｅｒｉｔ，ＦＯＭ）的声波元件，并可藉由结合体声波元件与表面声波元件，以提供不同规格下元件最佳化的设计及制造方法。...
该专利属于亚太优势微系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚太优势微系统股份有限公司授权不得商用。

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