The utility model relates to an accelerometer probe and an accelerometer system. The accelerometer system includes an accelerometer probe, a radio frequency oscillation circuit, and a spectrum analyzer. Accelerometer probe including electrode pads, stress concentration, structure of thin film bulk acoustic resonator and supporting and fixing structure and thin film bulk acoustic resonator; stress concentration structure through the support fixing structure is fixed on the accelerometer probe; thin film bulk acoustic resonator connected by frequency selective network film bulk acoustic resonator electrode pads and RF oscillator circuit terminal. The utility model adopts high quality block bridge structure stress concentration, stress has amplification effect, can improve the sensitivity of the system for measuring acceleration; acceleration by measuring the thin film bulk acoustic resonator as the change of frequency selective network components RF oscillation circuit output RF frequency, avoiding the capacitive MEMS the parasitic capacitance accelerometer system interference and the shortcoming of complex structure.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种加速度计系统,特别是涉及一种具有应力集中结构并且基于薄膜体声波谐振器的加速度计系统、加速度计探头及其制备方法。
技术介绍
加速度计是一种常见的惯性传感器,被广泛使用在航空航天和消费电子等领域。随着消费电子的体积逐渐减小,功耗逐渐降低,现有加速度计的制备也普遍使用微机电系统(MicroelectromechanicalSystems,MEMS)的方法来减小体积、降低功耗,从而适应其发展。现今,电容式加速度计是最普遍的一种,通过测量电容变化来得出加速度的大小。现有技术中,通常采用微机电系统(MicroelectromechanicalSystems,MEMS)的方法制备电容式加速度计,其主要由质量块、弹性梁、电容极板等构成。通过检测由加速度引起的质量块与电容极板之间的电容差,可以得到加速度的大小,但是此过程加速度计对寄生电容比较敏感。此外,微机电系统(MicroelectromechanicalSystems,MEMS)的电容式加速度计还需要外围读出电路对其施加一定的静电力,通过闭环反馈力平衡技术保证零频、高分辨率和自检功能,此过程增加了外围读出电路的复杂度。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷,提供了一种加速度计系统以实现加速度测量的高灵敏度和高分辨率,避免了电容式微机电系统(MicroelectromechanicalSystems,MEMS)的加速度计寄生电容干扰和结构复杂的缺点。为实现上述目的,本技术提供了一种加速度系统、加速度计探头及其制备方法:一种加速度计探头,其特征在于:加速度计探头包括应力集中结构、薄膜体声波谐振器、支撑固定 ...
【技术保护点】
一种加速度计探头,其特征在于:包括应力集中结构、多个薄膜体声波谐振器,每个薄膜体声波谐振器连接至少一个电极焊盘、以及支撑固定结构(010);所述应力集中结构通过所述支撑固定结构(010)固定在所述加速度计探头上;所述多个薄膜体声波谐振器通过所述薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路相连。
【技术特征摘要】
1.一种加速度计探头,其特征在于:包括应力集中结构、多个薄膜体声波谐振器,每个薄膜体声波谐振器连接至少一个电极焊盘、以及支撑固定结构(010);所述应力集中结构通过所述支撑固定结构(010)固定在所述加速度计探头上;所述多个薄膜体声波谐振器通过所述薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路相连。2.根据权利要求1所述的加速度计探头,其特征在于:所述每个薄膜体声波谐振器连接两个电极焊盘,所述两个电极焊盘对称布置在所述薄膜体声波谐振器两侧。3.根据权利要求1所述的加速度计探头,其特征在于:所述应力集中结构包括至少一个质量块(009)和多个应力集中桥,所述至少一个质量块(009)和多个应力集中桥通过所述支撑固定结构(010)固定在所述加速度计探头上。4.根据权利要求3所述的加速度计探头,其特征在于:所述多个薄膜体声波谐振器设置在所述多个应力集中桥上并且靠近固定端。5.一种加速度计系统,其特征在于,加速度系统包括:加速度计探头(000)、射频...
【专利技术属性】
技术研发人员:汤亮,张忠山,季磊,支萌辉,齐敏,孙泉,乔东海,张倩,
申请(专利权)人:中国科学院声学研究所,
类型:新型
国别省市:北京;11
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