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本实用新型涉及一种加速度计探头及加速度计系统。该加速度计系统包括加速度计探头、射频振荡电路和频谱仪。加速度计探头包括应力集中结构、薄膜体声波谐振器、支撑固定结构和薄膜体声波谐振器的电极焊盘；应力集中结构通过支撑固定结构固定在加速度计探头上；...
该专利属于中国科学院声学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院声学研究所授权不得商用。

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