一种浸泡式去胶剥离机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种浸泡式去胶剥离机，包括机架，机架上设置有浸泡腔体，浸泡腔体上设置有操作窗口，机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置，该去胶剥离机不但能驱动花篮的升降，而且能驱动花篮倾斜，这样使晶圆处于倾斜状态浸没在化学液中，避免晶圆无规律的位置移动，去胶更彻底。更彻底。更彻底。

【技术实现步骤摘要】
一种浸泡式去胶剥离机


[0001]本技术涉及一种浸泡式去胶剥离机，用于对晶圆上的胶水进行浸泡去胶。

技术介绍

[0002]去胶剥离机是芯片生产过程中需要用到的设备，该去胶剥离机的主要目的是将经过光刻及金属离子蒸发后，晶圆上已经镀上有的晶圆上的胶利用化学液去除剥离，，该去胶剥离机包括一个浸泡腔体，浸泡腔体内存放有化学液，而花篮放置在浸泡腔体内并由花篮驱动装置驱动，花篮驱动装置驱动花篮升降，从而使花篮中的晶圆浸泡在化学液中或者取出。
[0003]目前的花篮驱动装置只能驱动花篮升降，因此原本放置时花篮中晶圆的位置在是比较准确的，但是浸没到化学液后就可能受到浮力而发生位置改变，而且晶圆位置改变是无规律的，当去胶完成后，需要移载机械手将花篮中的晶圆逐个吸取转移到其他位置，由于花篮中晶圆位置改变，那么吸取转移到其他位置也不准确，从而影响自动化的生产，另外晶圆水平状态浸泡在化学液中，去胶时可能残液难以从晶圆的图形中脱离，导致去胶不彻底。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是：提供一种浸泡式去胶剥离机，该去胶剥离机不但能驱动花篮的升降，而且能驱动花篮倾斜，这样使晶圆处于倾斜状态浸没在化学液中，避免晶圆无规律的位置移动，去胶更彻底。
[0005]为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种浸泡式去胶剥离机，包括机架，所述机架上设置有浸泡腔体，所述浸泡腔体上设置有操作窗口，所述机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，所述底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，所述升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，所述安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，所述悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，所述浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置。
[0006]作为一种优选的方案，所述浸泡腔体包括相互固定的上腔体和下腔体，所述操作窗口设置于上腔体上，所述进液管和加热装置设置于下腔体上。
[0007]作为一种优选的方案，所述上腔体上位于操作窗口处活动安装有仓门，所述上腔体上设置有驱动所述仓门关闭或打开的开闭动力装置。
[0008]作为一种优选的方案，所述操作窗口位于上腔体的侧壁上，所述操作窗口的口沿外侧固定有矩形的门框，所述门框的上端开口，所述门框上设置有安装嵌槽，所述安装嵌槽内滑动安装有所述的仓门，所述开闭动力装置驱动所述仓门在安装嵌槽内竖直滑动。
[0009]作为一种优选的方案，所述上腔体上设置有排气口，所述排气口与排气管连通。
[0010]作为一种优选的方案，所述悬挂调节装置包括平行的第一悬挂杆和第二悬挂杆，所述第一悬挂杆的上端固定在安装板上，所述第一悬挂杆的下端铰接在花篮的上端一侧，
所述第二悬挂杆轴向滑动安装于安装板上且由轴向动力装置驱动，所述第二悬挂杆的下端铰接在花篮上端的另一侧。
[0011]作为一种优选的方案，所述轴向动力装置包括固定于安装板上的无杆电缸，所述无杆电缸的滑动部件的滑动方向为竖直方向，所述无杆电缸的动力端通过连接座与第二悬挂杆的上端连接。
[0012]作为一种优选的方案，所述连接座包括L形的连接板，所述连接板的一个板部通过螺栓固定在无杆电缸的滑动部件上，所述连接板的另一个板部的下端通过螺栓连接有连接套，所述连接套上螺纹连接有圆柱螺套，所述第二悬挂杆的上端设置成球头部，所述圆柱螺套上设置有方便球头部连接的球形内孔，所述球头部安装于圆柱螺套的球形内孔内。
[0013]作为一种优选的方案，所述安装板上设置有一个安装槽，所述无杆电缸固定在一个L形的电缸支座上，所述电缸支座上通过固定螺栓固定在安装槽内，所述电缸支座上设置有水平安装条孔，所述水平安装条孔的延伸向第一悬挂杆，所述固定螺栓约束于水平安装条孔内，所述安装板上设置有方便所述连接座升降的避让孔。
[0014]作为一种优选的方案，所述下腔体的底部设置有放液口，该放液口上连接有放液阀，所述下腔体上设置有用于检测液位的液位计。
[0015]采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于该浸泡式去胶剥离机，包括机架，机架上设置有浸泡腔体，浸泡腔体上设置有操作窗口，机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置，因此，在使用时，首先利用进液管往浸泡腔体内通入化学液，利用加热装置进行加热，使化学液的温度满足去胶工艺要求，利用机械手将晶圆从操作窗口送入到花篮内，此时悬挂调节装置悬挂的花篮处于水平状态，方便晶圆的进入，花篮上的放片槽每放入一片晶圆，升降座向下移动一个放片槽的高度，使空的放片槽对准操作窗口，当所有的放片槽都放置好晶圆后，悬挂调节装置使花篮倾斜，然后花篮被升降动力装置带动浸没到化学液中进行去胶，由于花篮倾斜，因此晶圆就会统一朝向一侧倾斜，在进入到化学液内时，由于浮力的影响虽然可能会使晶圆位置发生改变，但是由于晶圆倾斜，因此在重力的作用下依旧会倾向同侧，最终依靠在花篮的侧壁上，而同时去胶时由于晶圆倾斜，可以更好的方便化学液与胶层的接触，去胶更彻底，尤其是晶圆上光刻后不会有残留的胶，当被提起脱离化学液后，悬挂调节装置又能调节角度使其水平，从而方便晶圆的移出。
[0016]又由于所述上腔体上位于操作窗口处活动安装有仓门，所述上腔体上设置有驱动所述仓门关闭或打开的开闭动力装置，这样利用开闭动力装置可以将仓门打开或关闭，当仓门的打开时，可以方便晶圆的上下料，而仓门关闭时，可以有效避免内部化学液气味的逸出。
[0017]又由于所述操作窗口位于上腔体的侧壁上，所述操作窗口的口沿外侧固定有矩形的门框，所述门框的上端开口，所述门框上设置有安装嵌槽，所述安装嵌槽内滑动安装有所述的仓门，所述开闭动力装置驱动所述仓门在安装嵌槽内竖直滑动，该仓门安装简单，竖直驱动方式也合理且动作迅速，并且方便仓门与门框更好的密封。
[0018]又由于所述上腔体上设置有排气口，所述排气口与排气管连通，该利用排气管可以将浸泡腔体内逸散的气味抽出，方便集中处理。
[0019]又由于悬挂调节装置包括平行的第一悬挂杆和第二悬挂杆，所述第一悬挂杆的上端固定在安装板上，所述第一悬挂杆的下端铰接在花篮的上端一侧，所述第二悬挂杆轴向滑动安装于安装板上且由轴向动力装置驱动，所述第二悬挂杆的下端铰接在花篮上端的另一侧，因此该悬挂调节装置利用轴向动力装置驱动第二悬挂轴的升降，这样第二悬挂轴和第一悬挂轴的悬挂高度不同，这样花篮就会倾斜，而第二悬挂轴的升降幅度大小直接反应出花篮不同的倾斜角度，该悬挂调节装置机构合理，适应性强。
[0020]又由于连接座包括L形的连接板，所述连接板的一个板部通过螺栓固定在无杆电缸的滑动部件上，所述连接板的另一个板部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种浸泡式去胶剥离机，包括机架，所述机架上设置有浸泡腔体，所述浸泡腔体上设置有操作窗口，所述机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，其特征在于：所述底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，所述升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，所述安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，所述悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，所述浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置。2.如权利要求1所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述浸泡腔体包括相互固定的上腔体和下腔体，所述操作窗口设置于上腔体上，所述进液管和加热装置设置于下腔体上。3.如权利要求2所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述上腔体上位于操作窗口处活动安装有仓门，所述上腔体上设置有驱动所述仓门关闭或打开的开闭动力装置。4.如权利要求3所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述操作窗口位于上腔体的侧壁上，所述操作窗口的口沿外侧固定有矩形的门框，所述门框的上端开口，所述门框上设置有安装嵌槽，所述安装嵌槽内滑动安装有所述的仓门，所述开闭动力装置驱动所述仓门在安装嵌槽内竖直滑动。5.如权利要求4所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述上腔体上设置有排气口，所述排气口与排气管连通。6.如权利要求1至5任一项所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述悬挂调节装置包括平行的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋磊，刘毅，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：