一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，包括外罩壳，所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁；该装置能在碳化硅承片台钻孔时进行吹气排屑，有效提高钻孔效率和质量

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置


[0001]本技术涉及碳化硅承片台的制造领域，尤其涉及一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置
。

技术介绍

[0002]碳化硅承片台是用来承载硅片，方便对硅片进行光刻处理，例如硅片放置在碳化硅承片台上进行光刻处理，因此碳化硅承片台需要非常高的表面精度才能保证硅片放置平稳，而一旦碳化硅承片台的表面精度不够，硅片的放置不平整，那么光刻的质量就存在问题
。
而碳化硅承片台一般都是通过高纯硅粉与高纯碳粉按一定比例混合并搅拌均匀，导入预制的磨具中，形成一个圆盘，进行凝固，倒出磨具进行平面打磨，保证碳化硅毛坯平行度，此时对碳化硅毛坯进行打孔，由于碳化硅毛坯打孔时需要多个不同角度的切换才能满足打孔需求，并且钻孔切削时钻孔深度过深还会导致钻孔屑留在孔内，无法排出，影响钻孔质量，从而影响使用效果
。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，该装置能在碳化硅承片台钻孔时进行吹气排屑，有效提高钻孔效率和质量
。
[0004]为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，包括外罩壳，所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁
。
[0005]作为一种优选的方案，所述纵向导轨和升降导轨上均设有驱动丝杠和驱动螺母，所述纵向导轨上设有纵向滑块，所述升降导轨上设有升降滑块，所述连接架固定安装在纵向滑块上
。
[0006]作为一种优选的方案，所述进气管路的管长与吹嘴纵向滑动和升降滑动的距离对应
。
[0007]作为一种优选的方案，所述进气管路采用
PU
软管，所述进气管路与吹嘴之间设有快插接头
。
[0008]作为一种优选的方案，所述升降滑块上设有固定进气管路的支撑板，所述进气管路通过固定结构固定安装在支撑板上
。
[0009]作为一种优选的方案，所述吹嘴为
L
形结构，所述吹嘴的出气口为圆锥状
。
[0010]采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于碳化硅承片台的钻孔夹持装置，包括外罩壳，所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升
降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁；首先通过纵向动力装置驱动吹嘴纵向移动靠近碳化硅承片台，接着升降动力装置驱动吹嘴升降从而调整吹嘴高度进一步调整吹气位置；该装置能在碳化硅承片台钻孔时进行吹气排屑，有效提高钻孔效率和质量，保证能随碳化硅承片台位置的变化而变化，不使用时还能有效避让
。
[0011]又由于所述纵向导轨和升降导轨上均设有驱动丝杠和驱动螺母，所述纵向导轨上设有纵向滑块，所述升降导轨上设有升降滑块，所述连接架固定安装在纵向滑块上；通过驱动丝杠和驱动螺母能准确控制转动移动距离，提高吹嘴与碳化硅承片台的之间相距的准确度
。
[0012]又由于所述进气管路的管长与吹嘴纵向滑动和升降滑动的距离对应；这样在吹嘴移动时有足够的长度进行移动，保证能有效进行供气
。
[0013]又由于所述进气管路采用
PU
软管，所述进气管路与吹嘴之间设有快插接头，在滑动时能有效提高柔韧性，不会因弯折而影响使用，同时也能方便安装
。
[0014]又由于所述升降滑块上设有固定进气管路的支撑板，所述进气管路通过固定结构固定安装在支撑板上；通过支撑板能方便进气管路的安装，提高实用性
。
[0015]又由于所述吹嘴为
L
形结构，所述吹嘴的出气口为圆锥状；这样能确保吹嘴能有效对准气孔，并且不会弯曲进气管路，还能提高吹气压力
。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明
。
[0017]图1是本技术实施例的立体图；
[0018]图2是本技术实施例的局部放大视图；
[0019]图3是碳化硅承片台的立体图；
[0020]附图中：
1、
外罩壳；
2、
纵向导轨；
3、
纵向滑块；
4、
第一电机；
5、
驱动丝杠；
6、
驱动螺母；
7、
连接架；
8、
第二电机；
9、
升降导轨；
10、
升降滑块；
11、
支撑板；
12、
管夹；
13、
吹嘴；
14、
进气管路；
15、
碳化硅承片台；
151.
定位孔；
152.
板体；
153.
抽吸小孔；
154.
径向通孔
。
具体实施方式
[0021]下面通过具体实施例对本技术作进一步的详细描述
。
[0022]如图1和图2所示，一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，包括外罩壳1，所述外罩壳1内壁上设有纵向导轨2，所述纵向导轨2上安装有连接架7，所述连接架7通过纵向动力装置驱动在纵向导轨2上往复滑动，所述连接架7上安装有升降导轨9，所述升降导轨9上设有与碳化硅承片台
15
的气孔对应的吹嘴
13
，所述吹嘴
13
通过升降动力装置驱动在升降导轨9上往复升降，所述吹嘴
13
连通进气管路
14
，所述进气管路
14
上穿过外罩壳1内壁
。
[0023]在本实施例中，所述纵向导轨2和升降导轨9上均设有驱动丝杠5和驱动螺母6，所述纵向导轨2上设有纵向滑块3，所述升降导轨9上设有升降滑块
10
，所述连接架7固定安装在纵向滑块3上；纵向动力装置包括第一电机4，第一电机4固定安装在外罩壳1内壁上，这样通过第一电机4驱动驱动丝杠5转动，使驱动螺母6带动纵向滑块3在纵向导轨2上滑动，升降动力装置包括第二电机8，与上述同理，通过第二电机8驱动驱动丝杠5转动，使驱动螺母6带动升降滑块
10
升降，丝杠螺母移动精准稳定，有效控制吹嘴
13
的移动位置；在不使用时，能
控制吹嘴
13
有效避让
。
[0024]进一步的，所述进气管路
14
的管长与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，包括外罩壳，其特征在于：所述外罩壳内壁上设有纵向导轨，所述纵向导轨上安装有连接架，所述连接架通过纵向动力装置驱动在纵向导轨上往复滑动，所述连接架上安装有升降导轨，所述升降导轨上设有与碳化硅承片台的气孔对应的吹嘴，所述吹嘴通过升降动力装置驱动在升降导轨上往复升降，所述吹嘴连通进气管路，所述进气管路上穿过外罩壳内壁
。2.
如权利要求1中所述的一种碳化硅承片台钻孔用气吹装置，其特征在于：所述纵向导轨和升降导轨上均设有驱动丝杠和驱动螺母，所述纵向导轨上设有纵向滑块，所述升降导轨上设有升降滑块，所述连接架固定安装在纵向滑块上
。3.
如权利要求2中所述的一种碳...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅，宋欢，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：