【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅承片台的制造领域，尤其设计一种碳化硅承片台的铣削夹持装置。
技术介绍
1、碳化硅承片台是用来承载硅片，方便对硅片进行光刻处理，例如硅片放置在碳化硅承片台上进行光刻处理，因此碳化硅承片台需要非常高的表面精度才能保证硅片放置平稳，而一旦碳化硅承片台的表面精度不够，硅片的放置不平整，那么光刻的质量就存在问题。而碳化硅承片台一般都是通过高纯硅粉与高纯碳粉按一定比例混合并搅拌均匀，导入预制的磨具中，形成一个圆盘，进行凝固，倒出磨具进行平面打磨，保证碳化硅毛坯平行度，在对碳化硅承片台完成打孔后，需要夹持进行铣削平面，在夹持时需要对多个面进行铣削，单一的夹持方式影响碳化硅承片台的铣削质量。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，该装置能通过不同的夹持方式对碳化硅承片台不同的面进行铣削，提高铣削便捷性，保证铣削效果。
2、为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，包括底座，所述底座上设有支撑台，所述支撑台内设...
【技术保护点】
1.一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，其特征在于：包括底座，所述底座上设有支撑台，所述支撑台内设有容纳腔室，所述支撑台上包括承载碳化硅承片台的工作平台，所述支撑台上设有方便夹持碳化硅承片台的卡盘装置，所述容纳腔室内部升降安装有升降螺杆，所述升降螺杆贯穿工作平台和碳化硅承片台，所述升降螺杆通过升降动力装置驱动，所述升降螺杆上安装有固定螺母。
2.如权利要求1中所述的一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，其特征在于：所述升降螺杆底部设有支撑板，所述支撑板下方连接有所述升降动力装置，所述工作平台上设有与升降螺杆对应的螺杆通孔，所述工作平台内设有连通螺杆通孔的通气管道，所...
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，其特征在于：包括底座，所述底座上设有支撑台，所述支撑台内设有容纳腔室，所述支撑台上包括承载碳化硅承片台的工作平台，所述支撑台上设有方便夹持碳化硅承片台的卡盘装置，所述容纳腔室内部升降安装有升降螺杆，所述升降螺杆贯穿工作平台和碳化硅承片台，所述升降螺杆通过升降动力装置驱动，所述升降螺杆上安装有固定螺母。
2.如权利要求1中所述的一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，其特征在于：所述升降螺杆底部设有支撑板，所述支撑板下方连接有所述升降动力装置，所述工作平台上设有与升降螺杆对应的螺杆通孔，所述工作平台内设有连通螺杆通孔的通气管道，所述工作平台侧面开设有与通气管道连通的通气接口。
3.如权利要求2中所述的一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，其特征在于：所述工作平台分为上工作平台和下工作平台，所述通气管道和通气接口分成上下两部分，所述上工作平台和下工作平台...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅，宋欢，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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