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本技术公开了一种碳化硅承片台的铣削夹持装置，包括底座，所述底座上设有支撑台，所述支撑台内设有容纳腔室，所述支撑台上包括承载碳化硅承片台的工作平台，所述支撑台上设有方便夹持碳化硅承片台的卡盘装置，所述容纳腔室内部升降安装有升降螺杆，所述升降螺...
该专利属于江苏晋誉达半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晋誉达半导体股份有限公司授权不得商用。

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