【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅承片台的制造领域，尤其涉及一种预制承片台毛坯的成型模具。
技术介绍
1、碳化硅承片台是用来承载硅片，方便对硅片进行光刻处理，例如硅片放置在碳化硅承片台上进行光刻处理，因此碳化硅承片台需要非常高的表面精度才能保证硅片放置平稳，而一旦碳化硅承片台的表面精度不够，硅片的放置不平整，那么光刻的质量就存在问题。目前，碳化硅承片台一般都是通过高纯硅粉与高纯碳粉按一定比例混合并搅拌均匀，导入预制的磨具中，形成一个圆盘，进行挤压凝固，倒出磨具进行平面打磨，洗出多个凹槽，并且保证碳化硅毛坯平行度，而要从整个圆盘加工成完成的碳化硅承片台需要多种工序步骤，非常繁琐且影响生产效率。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：一种预制承片台毛坯的成型模具，该模具能成型复杂承片台毛坯，减少所需加工步骤，提高后续加工效率。
2、为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模和成型外模，所述底模包括下模和中模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，所述成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，所述中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，所述
3、作为一种优选的方案，所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域，所示第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模围绕形成若干个模具容纳区域，所述模具区域内放置有对应的下模、中模和上模。
4、作为一种优选的方案，所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间设有相互连接的固定结构，所述第一成型外模和第三成型外模上开设有与对应的下模和中模螺钉固定连接的螺纹固定孔。
5、作为一种优选的方案，所述固定结构包括固定安装在第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模两侧的连接耳，所述连接耳之间通过螺栓连接固定。
6、作为一种优选的方案，所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模模具容纳区域的间隔处通过螺钉连接固定。
7、作为一种优选的方案，所述第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的模具容纳区域上方设有方便上模下压的倒角。
8、采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模和成型外模，所述底模包括下模和中模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，所述成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，所述中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，所述上模内设有容纳竖杆、矩形凸起和弧形凸起的上模缺口，所述下模底部可拆卸安装有吊环；首先将中模套装在下模上，将成型外模围绕中模和下模安装，接着向中模上倒入承片台成型材料，将上模与液压机连接，通过液压机驱动上模下降，与下模和中模配合挤压出承片台毛坯，完成挤压后，液压机带动上模上升，在下模底部安装吊环，接着通过吊环带动下模拔出，再将成型外模与中模之间解除固定，拆开成型外模，就能完成承片台毛坯的成型；该模具能成型复杂承片台毛坯，减少所需加工步骤，提高后续加工效率。
9、又由于所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域，所示第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模围绕形成若干个模具容纳区域，所述模具区域内放置有对应的下模、中模和上模；这样单次能完成多组承片台的成型，进一步提高工作效率。
10、又由于所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间设有相互连接的固定结构，所述第一成型外模和第三成型外模上开设有与对应的下模和中模螺钉固定连接的螺纹固定孔；这样在进行成型时，通过固定结构将第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模有效固定，有效限制挤压时导致模具容纳区域变大，成型的尺寸不准确，同时将第一成型外模和第三成型外模与对应的下模和中模螺纹连接，这样就能方便下模和中模在模具容纳区域内相对位置的固定，一方面使在上模成型时不会产生晃动，保证成型稳定，另一方面能确保成型完成后，上模能顺利拔出，不会影响后续的拆卸，提高成型质量。
11、又由于所述固定结构包括固定安装在第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模两侧的连接耳，所述连接耳之间通过螺栓连接固定；通过连接耳连接能结构简单，操作方便，同时也能保证连接固定质量。
12、又由于所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模模具容纳区域的间隔处通过螺钉连接固定；这样能进一步提高第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间的连接强度，保证成型时能准确可靠。
13、又由于所述第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的模具容纳区域上方设有方便上模下压的倒角，起到一定的导向作用，保证成型的准确性。
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1.一种预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模和成型外模，其特征在于：所述底模包括下模和中模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，所述成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，所述中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，所述上模内设有容纳竖杆、矩形凸起和弧形凸起的上模缺口，所述下模底部可拆卸安装有吊环。
2.如权利要求1中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域，所示第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模围绕形成若干个模具
3.如权利要求2中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模之间设有相互连接的固定结构，所述第一成型外模和第三成型外模上开设有与对应的下模和中模螺钉固定连接的螺纹固定孔。
4.如权利要求3中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述固定结构包括固定安装在第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模两侧的连接耳，所述连接耳之间通过螺栓连接固定。
5.如权利要求4中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模模具容纳区域的间隔处通过螺钉连接固定。
6.如权利要求5中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的模具容纳区域上方设有方便上模下压的倒角。
...【技术特征摘要】
1.一种预制承片台毛坯的成型模具，包括底模、上模和成型外模，其特征在于：所述底模包括下模和中模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，所述成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对应的矩形凸起和弧形凸起，所述中模上开设有与下模的竖杆、条形凸起、圆柱凸起，矩形凸起和弧形凸起相配合的中模缺口，所述上模内设有容纳竖杆、矩形凸起和弧形凸起的上模缺口，所述下模底部可拆卸安装有吊环。
2.如权利要求1中所述的一种预制承片台毛坯的成型模具，其特征在于：所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅，宋欢，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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