【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅承片台的制造领域，尤其涉及一种预制承片台毛坯的脱模装置。
技术介绍
1、碳化硅承片台是用来承载硅片，方便对硅片进行光刻处理，例如硅片放置在碳化硅承片台上进行光刻处理，因此碳化硅承片台需要非常高的表面精度才能保证硅片放置平稳，而一旦碳化硅承片台的表面精度不够，硅片的放置不平整，那么光刻的质量就存在问题。目前，碳化硅承片台一般都是通过高纯硅粉与高纯碳粉按一定比例混合并搅拌均匀，导入预制的磨具中，形成一个圆盘，进行凝固，倒出磨具进行平面打磨，保证碳化硅毛坯平行度，而要从整个圆盘加工成完成的碳化硅承片台需要多种工序步骤，非常繁琐且影响生产效率；因此提供了一种成型模具，包括下模、中模、上模和成型外模，所述中模套装在下模上，所述中模的上端面与承片台一侧的端面配合，所述上模的下端面与承片台另一侧的端面配合，所述上模下压承片台，所述成型外模围绕下模和中模安装，形成容纳下模、中模和上模的模具容纳区域，所述成型外模包括第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模，所述第一成型外模上设有若干个半个模具容纳区域，所述第一成型外模与第三成型外模结构相同，所述第二成型外模上也设有与第一成型外模和第三成型外模对应的半个模具容纳区域，所示第一成型外模和第二成型外模、第三成型外模和第二成型外模围绕形成若干个模具容纳区域，所述模具区域内放置有对应的下模、中模和上模，所述第一成型外模、第三成型外模与中模可拆卸连接固定，所述下模的中心处圆周安装有贯穿承片台的竖杆，所述下模外缘面上设有与承片台相对应的条形凸起和圆柱凸起，所述下模外缘面的端部还设有与承片台相对
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：一种预制承片台毛坯的脱模装置，该脱模装置能针对相应的成型模具进行准确有效的脱模，保证所成型的承片台毛坯脱模后整体质量合格。
2、为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种预制承片台毛坯的脱模装置，包括支架，所述支架上设有放置第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的支撑平台，所述支撑平台上设有与模具容纳区域相对应的脱模口，所述模具容纳区域内的下模处的吊环处于脱模口内，所述支撑平台下方设有导轨，所述导轨上通过滑动动力装置纵向驱动滑动安装有纵向滑台，所述纵向滑台上升降安装有升降钩，所述升降钩与吊环对应，所述升降钩通过升降动力装置驱动升降，所述纵向滑台上固定安装有支撑下模的托板，所述托板上设有方便升降钩贯穿托板的升降缺口。
3、作为一种优选的方案，所述支撑平台下方设有底座，所述导轨包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨均固定安装在底座上，所述第一导轨上安装有丝杠螺母机构，所述第一导轨上滑动安装有第一滑块，第二导轨上滑动安装有第二滑块，所述纵向滑台滑动连接安装在第一滑块和第二滑块上，所述第一导轨上设有处于脱模口正下方的脱模工位和处于支撑平台外部的复位工位，所述第一滑块通过滑动动力装置驱动丝杠螺母机构在脱模工位和复位工位往复移动。
4、作为一种优选的方案，所述支撑平台上设有嵌入第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模一定深度的凹槽，所述脱模口设置在凹槽内。
5、作为一种优选的方案，所述升降动力装置包括竖直安装在纵向滑台上的升降气缸，所述升降气缸的导杆上固定连接有连接块，所述升降钩螺纹连接所述连接块，所述托板固定安装在升降钩上方。
6、作为一种优选的方案，所述连接块内设置有转动轴承，所述连接块通过转动轴承转动安装在升降气缸的导杆上，所述连接块绕转动轴承中心任意转动。
7、作为一种优选的方案，所述升降缺口为设置在托板端面上的长条矩形状。
8、采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于预制承片台毛坯的脱模装置，包括支架，所述支架上设有放置第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的支撑平台，所述支撑平台上设有与模具容纳区域相对应的脱模口，所述模具容纳区域内的下模处的吊环处于脱模口内，所述支撑平台下方设有导轨，所述导轨上通过滑动动力装置纵向驱动滑动安装有纵向滑台，所述纵向滑台上升降安装有升降钩，所述升降钩与吊环对应，所述升降钩通过升降动力装置驱动升降，所述纵向滑台上固定安装有支撑下模的托板，所述托板上设有方便升降钩贯穿托板的升降缺口；首先将第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模放置于支撑平台，模具容纳区域对准脱模口，接着滑动动力装置驱动纵向滑台滑动，使升降钩移动至脱模口处，升降动力装置驱动升降钩上升，升降钩从升降缺口中伸出，滑动动力装置继续驱动纵向滑台滑动，使升降钩卡入吊环内，接着升降动力装置驱动升降钩下降，从而向下拽动下模脱落，下模落在托板上，然后人工从托板上取下下模，完成接下去的脱模步骤；该脱模装置能针对相应的成型模具进行准确有效的脱模，保证所成型的承片台毛坯脱模后整体质量合格。
9、又由于所述支撑平台下方设有底座，所述导轨包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨均固定安装在底座上，所述第一导轨上安装有丝杠螺母机构，所述第一导轨上滑动安装有第一滑块，第二导轨上滑动安装有第二滑块，所述纵向滑台滑动连接安装在第一滑块和第二滑块上，所述第一导轨上设有处于脱模口正下方的脱模工位和处于支撑平台外部的复位工位，所述第一滑块通过滑动动力装置驱动丝杠螺母机构在脱模工位和复位工位往复移动；这样方便将下模脱模后，方便人工取走，提高效率。
10、又由于所述支撑平台上设有嵌入第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模一定深度的凹槽，所述脱模口设置在凹槽内，这样方便第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的放置，使模具容纳区域能快速准确的对准脱模口，提高效率。
11、又由于所述升降动力装置包括竖直安装在纵向滑台上的升降气缸，所述升降气缸的导杆上固定连接有连接块，所述升降钩螺纹连接所述连接块，所述托板固定安装在升降钩上方；通过升降气缸带动升降钩升降能快速方便的控制升降钩进行脱模。同时螺旋连接能方便升降钩的安装，且确保安装牢固，保证脱模效率。
12、又由于所述连接块内设置有转动轴承，所述连接块通过转动轴承转动安装在升降气缸的导杆上，所述连接块绕转动轴承中心任意转动，这样升降钩也能进行转动，从而有效调整升降钩的朝向，方便与吊环进行准确配合，进行脱模。
13、又由于所述升降缺口为设置在托板端面上的长条矩形状，由于下模脱模落在托板上，升降钩处于吊环内，需要移动下模使吊环脱离下模才能取走，通过长条矩形状的升降缺口就能方便下模移动，从而取走下模。
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1.一种预制承片台毛坯的脱模装置，包括支架，其特征在于：所述支架上设有放置第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的支撑平台，所述支撑平台上设有与模具容纳区域相对应的脱模口，所述模具容纳区域内的下模处的吊环处于脱模口内，所述支撑平台下方设有导轨，所述导轨上通过滑动动力装置纵向驱动滑动安装有纵向滑台，所述纵向滑台上升降安装有升降钩，所述升降钩与吊环对应，所述升降钩通过升降动力装置驱动升降，所述纵向滑台上固定安装有支撑下模的托板，所述托板上设有方便升降钩贯穿托板的升降缺口。
2.如权利要求1中所述的一种预制承片台毛坯的脱模装置，其特征在于：所述支撑平台下方设有底座，所述导轨包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨均固定安装在底座上，所述第一导轨上安装有丝杠螺母机构，所述第一导轨上滑动安装有第一滑块，第二导轨上滑动安装有第二滑块，所述纵向滑台滑动连接安装在第一滑块和第二滑块上，所述第一导轨上设有处于脱模口正下方的脱模工位和处于支撑平台外部的复位工位，所述第一滑块通过滑动动力装置驱动丝杠螺母机构在脱模工位和复位工位往复移动。
3.如权利要求2中所述的一种预制
4.如权利要求3中所述的一种预制承片台毛坯的脱模装置，其特征在于：所述升降动力装置包括竖直安装在纵向滑台上的升降气缸，所述升降气缸的导杆上固定连接有连接块，所述升降钩螺纹连接所述连接块，所述托板固定安装在升降钩上方。
5.如权利要求4中所述的一种预制承片台毛坯的脱模装置，其特征在于：所述连接块内设置有转动轴承，所述连接块通过转动轴承转动安装在升降气缸的导杆上，所述连接块绕转动轴承中心任意转动。
6.如权利要求5中所述的一种预制承片台毛坯的脱模装置，其特征在于：所述升降缺口为设置在托板端面上的长条矩形状。
...【技术特征摘要】
1.一种预制承片台毛坯的脱模装置，包括支架，其特征在于：所述支架上设有放置第一成型外模、第二成型外模和第三成型外模的支撑平台，所述支撑平台上设有与模具容纳区域相对应的脱模口，所述模具容纳区域内的下模处的吊环处于脱模口内，所述支撑平台下方设有导轨，所述导轨上通过滑动动力装置纵向驱动滑动安装有纵向滑台，所述纵向滑台上升降安装有升降钩，所述升降钩与吊环对应，所述升降钩通过升降动力装置驱动升降，所述纵向滑台上固定安装有支撑下模的托板，所述托板上设有方便升降钩贯穿托板的升降缺口。
2.如权利要求1中所述的一种预制承片台毛坯的脱模装置，其特征在于：所述支撑平台下方设有底座，所述导轨包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨均固定安装在底座上，所述第一导轨上安装有丝杠螺母机构，所述第一导轨上滑动安装有第一滑块，第二导轨上滑动安装有第二滑块，所述纵向滑台滑动连接安装在第一滑块和第二滑块上，所述第一导轨上设有处于脱模口正下方的脱...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅，宋欢，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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