一种除胶设备制造技术

本实用新型专利技术提供的除胶设备包括除胶反应机构与基架，除胶反应机构布置于基架内，除胶设备包括滑动组件，滑动组件包括滑轨、滑块、连接件与弹性件，连接件包括第一横板、第二横板与竖板，弹性件的一端抵接于第二横板，弹性件的另一端抵接于除胶反应机构；沿竖直方向投影于水平方向，第一横板的面积小于第二横板的面积。当需进行反应腔维护工作时，维护人员只需轻抬除胶反应机构，即可使除胶反应机构与反应腔相互分离，并可沿滑轨移动除胶反应机构以使其移离反应腔的上方，除胶反应机构不再对维护工作造成妨碍，维护人员可进行反应腔的维护工作，因此，无需进行现有技术中的除胶反应机构拆除工序，提高使用便利性。提高使用便利性。提高使用便利性。

【技术实现步骤摘要】
一种除胶设备


[0001]本技术涉及光刻
，具体涉及一种除胶设备。

技术介绍

[0002]目前，除胶设备设有反应腔与作为微波发生器的除胶反应机构，除胶反应机构连接于反应腔，除胶反应机构位于反应腔的上方。现有的除胶反应机构，多为固定布置于除胶设备内，当需对反应腔进行维护时，因位于反应腔上方的除胶反应机构对维护工作造成妨碍，需把除胶反应机构拆除后，方可进行反应腔维护，由于拆除除胶反应机构的工序繁杂，且对人员的专业度要求较高，因此，不便于反应腔维护工作的进行。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种便于进行反应腔维护工作的除胶设备。
[0004]为实现上述目的，本技术提供的除胶设备包括除胶反应机构与基架，除胶反应机构布置于基架内，除胶设备包括滑动组件，滑动组件包括滑轨、滑块、连接件与弹性件，滑轨可拆卸地固定连接于基架的上架体，滑块可活动地连接于滑轨；连接件包括第一横板、第二横板与竖板，竖板的第一端布置有第一横板，竖板的第二端布置有第二横板，第一横板可拆卸地固定连接于滑块，弹性件的一端抵接于第二横板，弹性件的另一端抵接于除胶反应机构；沿竖直方向投影于水平方向，第一横板的面积小于第二横板的面积。
[0005]由上述方案可见，弹性件的一端抵接于第二横板，弹性件的另一端抵接于除胶反应机构，除胶反应机构在重力的作用下拉伸弹性件，弹性件出现拉伸情况，弹性件对除胶反应机构施加与重力方向相反的弹力，当需进行反应腔维护工作时，在弹性件的弹力作用下，维护人员只需轻抬除胶反应机构，即可使除胶反应机构与反应腔相互分离，并可沿滑轨移动除胶反应机构以使其移离反应腔的上方，除胶反应机构不再对维护工作造成妨碍，维护人员可进行反应腔的维护工作，因此，无需进行现有技术中的除胶反应机构拆除工序，沿滑轨将除胶反应机构移离反应腔的上方，而且，在弹性件的弹力作用下，人员只需轻抬除胶反应机构即可使除胶反应机构移动，无需花费过大力气，提高使用便利性。
[0006]优选的，除胶反应机构包括顶板，顶板为凵状设置。
[0007]进一步的，顶板包括连接板与侧板，连接板的两侧分别布置有侧板。
[0008]进一步的，沿竖直方向投影于水平方向，第二横板的面积小于连接板的面积。
[0009]进一步的，除胶设备还包括固定件，固定件穿过连接板与第二横板。
[0010]进一步的，弹性件为弹簧。
[0011]进一步的，固定件穿过弹性件。
[0012]进一步的，固定件为螺栓。
[0013]进一步的，弹性件的数量为四个。
[0014]进一步的，滑块的数量为两个，第一横板螺纹连接于滑块。
[0015]相比现有技术，本技术的有益效果在于：
[0016]弹性件的一端抵接于第二横板，弹性件的另一端抵接于除胶反应机构，除胶反应机构在重力的作用下拉伸弹性件，弹性件出现拉伸情况，弹性件对除胶反应机构施加与重力方向相反的弹力，当需进行反应腔维护工作时，在弹性件的弹力作用下，维护人员只需轻抬除胶反应机构，即可使除胶反应机构与反应腔相互分离，并可沿滑轨移动除胶反应机构以使其移离反应腔的上方，除胶反应机构不再对维护工作造成妨碍，维护人员可进行反应腔的维护工作，因此，无需进行现有技术中的除胶反应机构拆除工序，沿滑轨将除胶反应机构移离反应腔的上方，而且，在弹性件的弹力作用下，人员只需轻抬除胶反应机构即可使除胶反应机构移动，无需花费过大力气，提高使用便利性。
[0017]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明。
附图说明
[0018]利用附图对本技术作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本技术的任何限制，对于本领域的技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
[0019]图1是本技术所述一种除胶设备实施例的结构图。
[0020]图2是图1所示结构的A处局部结构放大图。
[0021]附图标号说明：除胶设备100；除胶反应机构1；基架2；滑轨3；滑块4；连接件5；弹性件6；上架体7；第一横板8；第二横板9；竖板10；顶板11；连接板12；侧板13；固定件14。
具体实施方式
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0023]参见图1与图2，本实施例提供的除胶设备100包括除胶反应机构1与基架2，除胶反应机构1布置于基架2内。除胶设备100还包括滑动组件，滑动组件包括滑轨3、滑块4、连接件5与弹性件6，滑轨3可拆卸地固定连接于基架2的上架体7，滑块4可活动地连接于滑轨3。
[0024]连接件5包括第一横板8、第二横板9与竖板10，竖板10的第一端布置有第一横板8，竖板10的第二端布置有第二横板9，第一横板8可拆卸地固定连接于滑块4，弹性件6的一端抵接于第二横板9，弹性件6的另一端抵接于除胶反应机构1，第一横板8螺纹连接于滑块4。
[0025]沿竖直方向投影于水平方向，第一横板8的面积小于第二横板9的面积。
[0026]除胶反应机构1包括顶板11，顶板11为凵状设置。
[0027]顶板11包括连接板12与侧板13，连接板12的两侧分别布置有侧板13。
[0028]沿竖直方向投影于水平方向，第二横板9的面积小于连接板12的面积。
[0029]除胶设备100还包括固定件14，固定件14为螺栓，固定件14螺纹连接于连接板12与第二横板9，固定件14穿过连接板12与第二横板9。
[0030]弹性件6为弹簧，固定件14穿过弹性件6，固定件14螺纹连接于第二横板9以将弹性件6的一端卡紧抵接于第二横板9，固定件14螺纹连接于连接板12以将弹性件6的另一端抵接于连接板12，弹性件6在除胶反应机构1的重力的作用下发生拉伸形变。
[0031]每一除胶反应机构1对应设置滑块4的数量为两个，每一除胶反应机构1对应设置弹性件6的数量为四个以保证平衡。在本实施例中，除胶反应机构1的数量为两个，弹性件6的数量对应设置为八个，滑块4的数量对应设置为四个。
[0032]弹性件6的一端抵接于第二横板9，弹性件6的另一端抵接于除胶反应机构1，除胶反应机构1在重力的作用下拉伸弹性件6，弹性件6出现拉伸情况，弹性件6对除胶反应机构1施加与重力方向相反的弹力，当需进行反应腔15的维护工作时，在弹性件6的弹力作用下，维护人员只需轻抬除胶反应机构1，即可使除胶反应机构1与反应腔15相互分离，并可通过滑块4而沿滑轨3移动除胶反应机构1以使其移离反应腔15的上方，除胶反应机构1不再对维护工作造成妨碍，维护人员可进行反应腔15的维护工作，因此，无需进行现有技术中的除胶反应机构1拆除工序，沿滑轨3将除胶反应机构1移离反应腔15的上方，而且，在弹性件6的弹力作用下，人员只需轻抬除胶反应机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种除胶设备，包括除胶反应机构与基架，所述除胶反应机构布置于所述基架内，其特征在于：所述除胶设备包括滑动组件，所述滑动组件包括滑轨、滑块、连接件与弹性件，所述滑轨可拆卸地固定连接于所述基架的上架体，所述滑块可活动地连接于所述滑轨；所述连接件包括第一横板、第二横板与竖板，所述竖板的第一端布置有所述第一横板，所述竖板的第二端布置有所述第二横板，所述第一横板可拆卸地固定连接于所述滑块，所述弹性件的一端抵接于所述第二横板，所述弹性件的另一端抵接于所述除胶反应机构；沿竖直方向投影于水平方向，所述第一横板的面积小于所述第二横板的面积。2.根据权利要求1所述的一种除胶设备，其特征在于：所述除胶反应机构包括顶板，所述顶板为凵状设置。3.根据权利要求2所述的一种除胶设备，其特征在于：所述顶板包括连...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，廖文晗，赵义党，
申请(专利权)人：珠海恒格微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：