一种光刻机的不间断放料设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构，所述带式输送机构上端左侧边缘位置固定连接矩形盒，所述矩形盒上端后侧边缘位置固定连接U型定位板，所述矩形盒前端上侧边缘位置转动连接平板，所述矩形盒前端固定连接U型支撑架且U型支撑架处在平板下端，所述矩形盒内部底端固定连接锥形底板，所述锥形底板的斜面上端左侧边缘位置滑动连接推板，所述矩形盒左端下侧固定连接伸缩设备，所述伸缩设备的活动部穿过矩形盒并与推板固定连接，该设计利用U型定位板对物料进行定位，使物料整体结构均处在矩形盒开口上端，使物料可直接进入矩形盒内，达到向矩形盒内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。提升工作效率。提升工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的不间断放料设备


[0001]本技术是一种光刻机的不间断放料设备，属于光刻机配件


技术介绍

[0002]光刻机又称：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，一般采用输送机构向光刻机内输送物料，并且利用放料设备向输送机构上进行放料操作，现有技术中光刻机的放料设备一般采用容器对物料进行储存，而容器的开口一般与物料尺寸差别不大，致使向容器内补料时，物料会与容器开口发生错位现象，需要调整物料下方位置，会使补料较为困难，影响工作效率，因此需要设计一种光刻机的不间断放料设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种光刻机的不间断放料设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术达到向矩形盒内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。
[0004]为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构，所述带式输送机构上端左侧边缘位置固定连接用于储存物料的矩形盒，所述矩形盒上端后侧边缘位置固定连接U型定位板，所述矩形盒前端上侧边缘位置转动连接平板且平板上端面与矩形盒上端面重合，所述平板左右两端中部位置均固定连接阻板，所述矩形盒前端固定连接U型支撑架且U型支撑架处在平板下端，所述矩形盒内部底端固定连接锥形底板且锥形底板的斜面朝上布置，所述锥形底板的斜面上端左侧边缘位置滑动连接推板，所述矩形盒左端下侧固定连接左高右低倾斜布置的伸缩设备的固定部，所述伸缩设备的活动部穿过矩形盒并与推板固定连接。
[0005]进一步地，所述矩形盒右端下侧边缘位置开设出口且出口内部底端与锥形底板的斜面重合。
[0006]进一步地，所述矩形盒右端下侧边缘位置固定连接三角型导向板且三角型导向板处在带式输送机构上端，所述三角型导向板的斜面与出口内部底端重合。
[0007]进一步地，所述U型定位板的两个纵向部前端均固定连接导板，且两个导板呈V形布置。
[0008]进一步地，所述矩形盒内部左侧固定连接倒L型隔板，所述倒L型隔板的横向部安装在U型定位板下端左部且倒L型隔板的横向部贴合在矩形盒内部左壁，所述倒L型隔板设置在推板下侧。
[0009]进一步地，所述推板上端右侧开设左高右低倾斜布置的倾斜面。
[0010]进一步地，所述推板上端左侧边缘位置开设缺口槽且缺口槽延伸至推板左端，所述缺口槽内部底端镶嵌多个滚动构件。
[0011]进一步地，所述推板右端设置保护件。
[0012]本技术的有益效果：本技术的一种光刻机的不间断放料设备。
[0013]1、利用U型定位板对物料进行定位，使物料整体结构均处在矩形盒开口上端，使物料可直接进入矩形盒内，达到向矩形盒内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。
[0014]2、对平板向内转动，从而使平板转动到矩形盒上端，利用两个阻板，将平板限制安装在矩形盒上端，可对矩形盒的开口进行覆盖，有效避免外界杂物进入矩形盒内，便于后续矩形盒的正常作业，适用性好，对平板向外转动，使平板贴合到U型支撑架上端，能将矩形盒的开口进行暴露，用于进行补充物料，此时平板呈水平状态设置在矩形盒前端，用于对物料进行临时放置，功能性好。
[0015]3、利用电动推杆，从而驱动推板沿着锥形底板的斜面向右移动，并将贴合在锥形底板斜面上端的物料向右移动，从而将物料从出口推出，再使推板返回原位，此时矩形盒内最下方的物料在本身重量作用下落到锥形底板斜面上，并持续进行上述步骤，达到向带式输送机构进行机械式不间断放料的目的，工作效率好。
附图说明
[0016]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0017]图1为本技术一种光刻机的不间断放料设备的结构示意图；
[0018]图2为本技术一种光刻机的不间断放料设备中U型支撑架的示意图；
[0019]图3为本技术一种光刻机的不间断放料设备中矩形盒的剖视图；
[0020]图4为图3中A部放大图。
[0021]图中：1
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带式输送机构、2
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矩形盒、3
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电动推杆、4
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阻板、5
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平板、6
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U型定位板、7
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U型支撑架、8
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锥形底板、9
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推板、21
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倒L型隔板、22
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出口、23
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三角型导向板、61
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导板、91
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橡胶垫、92
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倾斜面、93
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牛眼球、94
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缺口槽。
具体实施方式
[0022]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0023]请参阅图1
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图2，本技术提供一种技术方案：一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构1，通过带式输送机构1，能向光刻机的工作位置输送物料，带式输送机构1可采用现有技术，带式输送机构1上端左侧边缘位置固定连接用于储存物料的矩形盒2，通过矩形盒2，能对物料进行储存，矩形盒2上端后侧边缘位置固定连接U型定位板6，通过U型定位板6，能对物料进行定位，便于物料进入矩形盒2内部，U型定位板6的两个纵向部前端均固定连接导板61，且两个导板61呈V形布置，通过导板61，方便物料进入U型定位板6内。
[0024]具体地，能将物料放置到平板5上端，然后沿着平板5向后推动物料，从而使物料进入U型定位板6内，并利用U型定位板6对物料进行定位，此时物料整体结构均处在矩形盒2开口上端，然后物料可直接进入矩形盒2内，达到向矩形盒2内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。
[0025]矩形盒2前端上侧边缘位置转动连接平板5且平板5上端面与矩形盒2上端面重合，
通过平板5，一方面可对物料进行临时放置，另一方面可对矩形盒2的开口进行覆盖，平板5左右两端中部位置均固定连接阻板4，通过阻板4，能将平板5限制在矩形盒2上端，矩形盒2前端固定连接U型支撑架7且U型支撑架7处在平板5下端，通过U型支撑架7，能对平板5进行托举支撑。
[0026]具体地，当工作完成后，能对平板5进行转动，从而使平板5转动到矩形盒2上端，此时两个阻板4分别贴合在矩形盒2右部上端以及倒L型隔板21上端，从而将平板5限制安装在矩形盒2上端，并利用平板5，对矩形盒2的开口进行覆盖，有效避免外界杂物进入矩形盒2内，便于后续矩形盒2的正常作业，适用性好，当需要进行工作时，能对平板5进行转动，使平板5贴合到U型支撑架7上端，能将矩形盒2的开口进行暴露，用于进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构(1)，其特征在于：所述带式输送机构(1)上端左侧边缘位置固定连接用于储存物料的矩形盒(2)，所述矩形盒(2)上端后侧边缘位置固定连接U型定位板(6)，所述矩形盒(2)前端上侧边缘位置转动连接平板(5)且平板(5)上端面与矩形盒(2)上端面重合，所述平板(5)左右两端中部位置均固定连接阻板(4)，所述矩形盒(2)前端固定连接U型支撑架(7)且U型支撑架(7)处在平板(5)下端，所述矩形盒(2)内部底端固定连接锥形底板(8)且锥形底板(8)的斜面朝上布置，所述锥形底板(8)的斜面上端左侧边缘位置滑动连接推板(9)，所述矩形盒(2)左端下侧固定连接左高右低倾斜布置的伸缩设备的固定部，所述伸缩设备的活动部穿过矩形盒(2)并与推板(9)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的不间断放料设备，其特征在于：所述矩形盒(2)右端下侧边缘位置开设出口(22)且出口(22)内部底端与锥形底板(8)的斜面重合。3.根据权利要求2所述的一种光刻机的不间断放料设备，其特征在于：所述矩形盒(2)右端下侧边缘位置固定连接三角型导向板...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：江苏微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：