本实用新型提供一种光刻机的气液抽取分离装置，包括：光刻机主体、控制面板、观察门以及加工门，光刻机主体正面上方设计设置有控制面板，光刻机主体右侧面中间设置有观察门，控制面板右侧下方设置有加工门，光刻机主体内部下方设置有工件台，与现有技术相...

本实用新型提供一种光刻机用晶圆片匀胶机构，包括：真空管、定位机构、晶圆片、吸盘以及匀胶碗，匀胶碗内部中间设置有所述真空管，所述真空管上端设有吸盘，吸孔开设在所述吸盘上表面，定位机构分别安装在所述真空管正前侧、正后侧、正左侧以及正右侧，与...

本实用新型公开了一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体，所述第一壳体上安装有电机，所述电机的输出轴固定有连杆，所述连杆上固定有圆柱状的拨块，所述第一壳体的顶部通过支架固定有固定座，所述固定座的侧边设置有晶片出料口，所述第一壳体上转动套接...

本发明提供一种基于ITP成像的接近式步进器，包括横板，所述横板一端固定连接有竖向布置的第一支板，所述横板另一端固定连接有竖向布置的第二支板，所述第一支板与第二支板之间转动安装有与横板平行布置的丝杆，所述丝杆上螺纹连接有用于安装ITP成像...

本发明提供一种接近式扫描步进光刻机，包括光刻机本体，光刻机本体的加工腔内部底端滑动连接工作台板，光刻机本体后端固定连接伸缩设备的固定部，伸缩设备的活动部穿过光刻机本体并与工作台板连接，工作台板左右两端均固定连接齿条，齿条背离工作台板一端...

本实用新型提供一种光刻机用废料清理设备，包括防尘风机，所述防尘风机的输出端与连管的一端连通固定，所述连管上滑动设置有连板，所述连板的背离连管的一端设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端穿过连板并与三角板固定连接，所述热风管、第一清洁管以及...

本实用新型提供一种光刻机的激光器用光轴校准装置，包括校准筒和设置在校准筒内的激光器，所述校准筒外表面呈环形等距开设有三个螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有用于调整激光器位置的调节螺杆，所述调节螺杆上套设有与螺纹孔同心布置的限位套，所述限位套...

本实用新型提供一种光刻机用边胶去除装置，包括用于限制芯片移动路径的导轨，所述导轨横截面为C字形，所述导轨一侧面开设有条形口，所述条形口内安装有可拆卸的用于去除芯片上边胶的切刀件，所述导轨背离条形口的一侧设有用于限制芯片另一端位置的L型板...

本实用新型提供一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构，所述带式输送机构上端左侧边缘位置固定连接矩形盒，所述矩形盒上端后侧边缘位置固定连接U型定位板，所述矩形盒前端上侧边缘位置转动连接平板，所述矩形盒前端固定连接U型支撑架且U型支撑...

本实用新型提供一种光刻机衬底定位装置，包括底座以及转动连接在底座前端的衬底板，所述底座后端中间位置固定连接第一驱动设备的固定部，所述第一驱动设备的活动部贯穿底座并固定连接大锥形齿轮，所述大锥形齿轮外端等距啮合三个小锥形齿轮，所述小锥形齿...

本发明提供一种光刻机中近距离步进照明结构，包括步进电机，所述步进电机固定在第一支撑板一侧面，所述第一支撑板一端固定连接有导向板，所述导向板另一端固定连接有与第一支撑板平行布置的第二支撑板，所述第一支撑板与第二支撑板之间转动安装有沿导向板...