【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的晶片传送机构
[0001]本技术涉及光刻机
，尤其涉及一种光刻机的晶片传送机构。
技术介绍
[0002]光刻机是制造芯片的核心装备，光刻机的晶片在进行光刻时需要经过上料、加工、出料等步骤，现有的这些过程无法集中在一起实现连续的传送，对整个生产的效率具有一定的影响，针对这样的问题我们提出一种光刻机的晶片传送机构。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机的晶片传送机构。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体，所述第一壳体上安装有电机，所述电机的输出轴固定有连杆，所述连杆上固定有圆柱状的拨块，所述第一壳体的顶部通过支架固定有固定座，所述固定座的侧边设置有晶片出料口，所述第一壳体上转动套接有空心的转轴，所述转轴上套接有槽轮和定位盘，所述定位盘转动套接在固定座内，所述定位盘上设置有呈圆周阵列布置的晶片放置口，所述第一壳体的内部固定有固定轴，所述固定轴活动贯穿转轴，所述固...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体(1)，其特征在于，所述第一壳体(1)上安装有电机(5)，所述电机(5)的输出轴固定有连杆(6)，所述连杆(6)上固定有圆柱状的拨块(7)，所述第一壳体(1)的顶部通过支架(3)固定有固定座(8)，所述固定座(8)的侧边设置有晶片出料口(13)，所述第一壳体(1)上转动套接有空心的转轴(2)，所述转轴(2)上套接有槽轮(4)和定位盘(9)，所述定位盘(9)转动套接在固定座(8)内，所述定位盘(9)上设置有呈圆周阵列布置的晶片放置口(14)，所述第一壳体(1)的内部固定有固定轴(10)，所述固定轴(10)活动贯穿转轴(2)，所述固定轴(10)上固定有安装板(11)，所述安装板(11)上安装有推料机构(12)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述推料机构(12)包括液压缸(121)、齿轮架(122)、齿轮(123)、第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：江苏微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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