一种光刻机衬底定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种光刻机衬底定位装置，包括底座以及转动连接在底座前端的衬底板，所述底座后端中间位置固定连接第一驱动设备的固定部，所述第一驱动设备的活动部贯穿底座并固定连接大锥形齿轮，所述大锥形齿轮外端等距啮合三个小锥形齿轮，所述小锥形齿轮背离大锥形齿轮一端固定连接螺杆，所述螺杆外端螺纹连接螺母座，所述螺母座前端可拆卸连接定位柱，所述衬底板前端等距开设呈圆形布置的三个导向通槽，所述定位柱贯穿导向通槽，该设计利用大锥形齿轮以及三个小锥形齿轮，会使三个螺杆进行同步转动，会使三个螺母座以及相应的定位柱向内移动，从而利用三个定位柱，达到对圆晶产品进行三点定位夹持的目的，提升定位效果，适用性好。适用性好。适用性好。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机衬底定位装置


[0001]本技术是一种光刻机衬底定位装置，属于光刻机配件


技术介绍

[0002]光刻机又称：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般会运用在圆晶产品的加工中，其中衬底为光刻机主要配合之一，用于圆晶产品的放置，并进行曝光，在曝光前还需对圆晶产品进行定位夹持。
[0003]现有技术中光刻机衬底定位装置一般采用多组电气机械结构，从而达到对圆晶产品外端多个点进行定位夹持，但是多组电气机械结构无法保证进行同步运动，会使圆晶产品发生偏芯现象概率较大，会影响定位效果，适用性差，因此需要设计一种光刻机衬底定位装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种光刻机衬底定位装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术达到对圆晶产品进行三点定位夹持的目的，提升定位效果，适用性好。
[0005]为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种光刻机衬底定位装置，包括底座以及转动连接在底座前端的衬底板，所述底座后端中间位置固定连接第一驱动设备的固定部，所述第一驱动设备的活动部贯穿底座并固定连接大锥形齿轮，所述大锥形齿轮外端等距啮合呈圆形布置的三个小锥形齿轮，所述小锥形齿轮背离大锥形齿轮一端固定连接螺杆且螺杆通过轴承座安装在底座前端，所述螺杆外端螺纹连接螺母座且螺母座滑动连接在底座前端，所述螺母座前端可拆卸连接定位柱，所述衬底板内部设置大锥形齿轮、小锥形齿轮、螺杆以及螺母座，所述衬底板前端等距开设呈圆形布置的三个导向通槽，所述定位柱贯穿导向通槽。
[0006]进一步地，所述定位柱外端套装保护件。
[0007]进一步地，所述定位柱后端中间位置螺柱，且螺柱螺纹连接在螺母座前端开设的螺纹孔内。
[0008]进一步地，所述衬底板右端活动安装盒体并延伸入盒体内部，所述盒体固定在底座前端右侧边缘位置，所述衬底板右端固定连接弧形齿条且弧形齿条处在盒体内部，所述弧形齿条右端啮合竖向布置的蜗杆，且蜗杆转动连接在盒体内部。
[0009]进一步地，所述盒体上端固定连接带减速器的第二驱动设备的固定部，所述第二驱动设备的活动部穿过盒体并与蜗杆连接。
[0010]进一步地，所述导向通槽上等距连通布置多个弧形通槽且弧形通槽开设在衬底板前端。
[0011]进一步地，所述衬底板外端等距开设多个凹槽且凹槽处在盒体外侧，所述凹槽内部滑动连接定位轮，所述凹槽后端连通设置滑槽，所述定位轮后端中部位置固定连接安装
轴，且安装轴贯穿滑槽并与底座前端转动连接。
[0012]本技术的有益效果：本技术的一种光刻机衬底定位装置。
[0013]1、利用第二电机，驱动大锥形齿轮旋转，并使三个小锥形齿轮进行同步转动，进而带动三个螺杆进行同步转动，并会使对应的三个螺母座向内移动，进而带动定位柱沿着导向槽向内移动，从而利用三个定位柱，达到对圆晶产品进行三点定位夹持的目的，提升定位效果，适用性好。
[0014]2、在衬底板旋转过程中，会使定位轮沿着凹槽进行转动，从而利用多个定位轮，对衬底板进行多点限制，有效避免衬底板发生偏移现象，提升定位质量。
[0015]3、能使螺柱与螺纹孔螺纹连接，达到定位柱的便捷拆装的目的，便于组装和维护。
[0016]4、利用第一电机，进而驱动蜗杆旋转，并使弧形齿条转动，从而带动衬底板转动，会使定位柱沿着弧形通槽进行相对转动，也使衬底板上相应的曝光结构进行转动，从而机械式取向定位作业，达到对曝光位进行校正的目的，实用性好。
附图说明
[0017]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0018]图1为本技术一种光刻机衬底定位装置的结构示意图；
[0019]图2为图1中A部放大图；
[0020]图3为本技术一种光刻机衬底定位装置中底座的示意图；
[0021]图4为本技术一种光刻机衬底定位装置中衬底板的正视图；
[0022]图5为本技术一种光刻机衬底定位装置中衬底板的后视图；
[0023]图6为本技术一种光刻机衬底定位装置中盒体的剖视图。
[0024]图中：1
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底座、2
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衬底板、3
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弧形通槽、4
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导向通槽、5
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定位柱、6
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盒体、7
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第一电机、8
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蜗杆、9
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弧形齿条、11
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大锥形齿轮、12
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螺杆、13
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螺母座、14
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小锥形齿轮、21
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凹槽、22
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滑槽、23
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定位轮。
具体实施方式
[0025]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0026]请参阅图1
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图2，本技术提供一种技术方案：一种光刻机衬底定位装置，包括底座1以及转动连接在底座1前端的衬底板2，衬底板2外端等距开设多个凹槽21且凹槽21处在盒体6外侧，通过凹槽21，为定位轮23提供安装空间，凹槽21内部滑动连接定位轮23，定位轮23与凹槽21配合使用，能对衬底板2进行限位，凹槽21后端连通设置滑槽22，通过滑槽22，能为安装轴提供安装空间，定位轮23后端中部位置固定连接安装轴，通过安装轴，为定位轮23提供安装载体，且安装轴贯穿滑槽22并与底座1前端转动连接。
[0027]具体地，在衬底板2旋转过程中，会使定位轮23沿着凹槽21进行转动，从而利用多个定位轮23，对衬底板2进行多点限制，有效避免衬底板2发生偏移现象，提升定位质量。
[0028]底座1后端中间位置固定连接第一驱动设备的固定部，通过第一驱动设备，能驱动大锥形齿轮11旋转，第一驱动设备可采用第二电机，第一驱动设备的活动部贯穿底座1并固
定连接大锥形齿轮11，具体地，启动第二电机，从而带动大锥形齿轮11旋转。
[0029]如图3所示，大锥形齿轮11外端等距啮合呈圆形布置的三个小锥形齿轮14，大锥形齿轮11与小锥形齿轮14配合使用，能使螺杆12旋转，小锥形齿轮14背离大锥形齿轮11一端固定连接螺杆12且螺杆12通过轴承座安装在底座1前端，通过螺杆12，能使螺母座13移动，螺杆12外端螺纹连接螺母座13且螺母座13滑动连接在底座1前端，通过螺母座13，为定位柱5提供安装载体。
[0030]具体地，先将圆晶产品放置到衬底板2前端中部，此时圆晶产品处在三个定位之间，然后启动第二电机，进而驱动大锥形齿轮11旋转，因大锥形齿轮11与三个小锥形齿轮14啮合，所以大锥形齿轮11旋转会使三个小锥形齿轮14进行同步转动，进而带动三个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机衬底定位装置，其特征在于：包括底座(1)以及转动连接在底座(1)前端的衬底板(2)，所述底座(1)后端中间位置固定连接第一驱动设备的固定部，所述第一驱动设备的活动部贯穿底座(1)并固定连接大锥形齿轮(11)，所述大锥形齿轮(11)外端等距啮合呈圆形布置的三个小锥形齿轮(14)，所述小锥形齿轮(14)背离大锥形齿轮(11)一端固定连接螺杆(12)且螺杆(12)通过轴承座安装在底座(1)前端，所述螺杆(12)外端螺纹连接螺母座(13)且螺母座(13)滑动连接在底座(1)前端，所述螺母座(13)前端可拆卸连接定位柱(5)，所述衬底板(2)内部设置大锥形齿轮(11)、小锥形齿轮(14)、螺杆(12)以及螺母座(13)，所述衬底板(2)前端等距开设呈圆形布置的三个导向通槽(4)，所述定位柱(5)贯穿导向通槽(4)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机衬底定位装置，其特征在于：所述定位柱(5)外端套装保护件。3.根据权利要求1所述的一种光刻机衬底定位装置，其特征在于：所述定位柱(5)后端中间位置螺柱，且螺柱螺纹连接在螺母座(13)前端开设的螺纹孔内。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：江苏微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：