本实用新型专利技术提供一种光刻机的激光器用光轴校准装置，包括校准筒和设置在校准筒内的激光器，所述校准筒外表面呈环形等距开设有三个螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有用于调整激光器位置的调节螺杆，所述调节螺杆上套设有与螺纹孔同心布置的限位套，所述限位套一端与校准筒固定连接，所述限位套内远离螺纹孔的一侧滑动安装有压盘，所述压盘背离螺纹孔的一面开设有圆孔，所述调节螺杆贯穿圆孔，所述压盘通过连接件与调节螺杆转动连接，所述压盘与螺纹孔之间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧套设在调节螺杆上，与现有技术相比，本实用新型专利技术具有如下的有益效果：实现利用压缩弹簧的回弹力防调节螺杆发生自传，提高光轴校准的稳定性。提高光轴校准的稳定性。提高光轴校准的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的激光器用光轴校准装置
[0001]本技术是一种光刻机的激光器用光轴校准装置，属于光刻机
技术介绍
[0002]在激光设备中送光系光轴的准确性影响着激光设备自身的性能，为了将设备性能发挥到极致，一般会将实际光轴与理论光轴调节到尽可能一致。目前，在调整光刻机的激光器光轴时，常采用拧动调节螺杆的方式进行校准，但调节螺杆在调整完毕后，容易发生自传情况，影响光轴校准的稳定性。
技术实现思路
[0003]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种光刻机的激光器用光轴校准装置，以解决上述
技术介绍
中提出在调整光刻机的激光器光轴时，常采用拧动调节螺杆的方式进行校准，但调节螺杆在调整完毕后，容易发生自传情况，影响光轴校准稳定性的问题，本技术实现利用压缩弹簧的回弹力防调节螺杆发生自传，提高光轴校准的稳定性。
[0004]为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种光刻机的激光器用光轴校准装置，包括校准筒和设置在校准筒内的激光器，所述激光器外表面呈环形等距安装有三个支撑弹簧，所述支撑弹簧另一端固定在校准筒内表面，所述校准筒外表面呈环形等距开设有三个螺纹孔，所述螺纹孔与支撑弹簧交替布置，所述螺纹孔内螺纹连接有用于调整激光器位置的调节螺杆，所述调节螺杆上套设有与螺纹孔同心布置的限位套，所述限位套一端与校准筒固定连接，所述限位套内远离螺纹孔的一侧滑动安装有压盘，所述压盘背离螺纹孔的一面开设有圆孔，所述调节螺杆贯穿圆孔，所述压盘通过连接件与调节螺杆转动连接，所述压盘与螺纹孔之间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧套设在调节螺杆上。
[0005]进一步地，所述连接件包括圈环，所述圈环套设在调节螺杆上并与调节螺杆固定连接，所述圈环滑动安装在筒帽内，所述筒帽套设在调节螺杆上并与调节螺杆滑动连接，所述筒帽面向压盘的一端为开口状并与压盘固定连接。
[0006]进一步地，所述调节螺杆远离螺纹孔的一端固定连接有旋钮头，所述旋钮头与调节螺杆为一体成型结构。
[0007]进一步地，所述旋钮头外表面加工有防滑纹，所述防滑纹与旋钮头为一体成型结构。
[0008]进一步地，所述支撑弹簧靠近激光器的一端延伸至第一限位帽内，所述第一限位帽与激光器固定连接，所述支撑弹簧远离激光器的一端延伸至第二限位帽内，所述第二限位帽与校准筒固定连接。
[0009]进一步地，所述压盘外表面对称开设有两个导向槽，所述限位套内表面对称固定有两个与导向槽相配合的导向条，所述导向条沿着调节螺杆的长度方向布置，所述导向条滑动安装在导向槽内。
[0010]进一步地，所述导向条与限位套为一体成型结构，所述导向条与限位套均为一种
铁质材料制成的构件。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]1、在拧动调节螺杆时，调节螺杆在螺纹孔内转动，且调节螺杆一端对激光器进行挤压，从而调节螺杆与支撑弹簧共同作用，达到调整激光器角度的目的，即实现激光器光轴的校准。
[0013]2、拧动调节螺杆的过程中，调节螺杆带动压盘在限位套内滑动，进而压盘与校准筒共同作用实现对压缩弹簧的挤压，此时压缩弹簧处于弹性形变状态，进而压缩弹簧的回弹力通过压盘作用在调节螺杆上，起到防调节螺杆随意转动的作用，提高光轴校准的稳定性。
附图说明
[0014]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0015]图1为本技术一种光刻机的激光器用光轴校准装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术一种光刻机的激光器用光轴校准装置的剖面图；
[0017]图3为图2中A处放大图；
[0018]图4为本技术一种光刻机的激光器用光轴校准装置中压盘的立体图；
[0019]图5为本技术一种光刻机的激光器用光轴校准装置中限位套的立体图；
[0020]图中：1
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校准筒、2
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激光器、3
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旋钮头、4
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压盘、5
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限位套、6
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调节螺杆、7
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支撑弹簧、8
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压缩弹簧、9
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第一限位套、10
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第二限位套、11
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圆孔、12
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导向槽、13
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导向条、14
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圈环、15
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筒帽。
具体实施方式
[0021]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0022]请参阅图1和图2，本技术提供一种技术方案：一种光刻机的激光器用光轴校准装置，包括校准筒1和设置在校准筒1内的激光器2，激光器2外表面呈环形等距安装有三个支撑弹簧7，支撑弹簧7另一端固定在校准筒1内表面，支撑弹簧7靠近激光器2的一端延伸至第一限位帽9内，第一限位帽9与激光器2固定连接，支撑弹簧7远离激光器2的一端延伸至第二限位帽10内，第二限位帽10与校准筒1固定连接，三个支撑弹簧7实现对激光器2的支撑，便于将激光器2限制在校准筒1内，将支撑弹簧7的两端分别安装在第一限位帽9、第二限位帽10内，提高支撑弹簧7与激光器2、校准筒1连接的稳定性。
[0023]参阅图1和图2，校准筒1外表面呈环形等距开设有三个螺纹孔，螺纹孔与支撑弹簧7交替布置，螺纹孔内螺纹连接有用于调整激光器2位置的调节螺杆6，在拧动调节螺杆6时，调节螺杆6在螺纹孔内转动，且调节螺杆6一端对激光器2进行挤压，从而调节螺杆6与支撑弹簧7共同作用，达到调整激光器2角度的目的，即实现激光器2光轴的校准。
[0024]参阅图1
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图5，调节螺杆6上套设有与螺纹孔同心布置的限位套5，限位套5一端与校准筒1固定连接，限位套5内远离螺纹孔的一侧滑动安装有压盘4，压盘4背离螺纹孔的一面开设有圆孔11，调节螺杆6贯穿圆孔11，调节螺杆6上套设有与调节螺杆6固定连接的圈环
14，圈环14滑动安装在筒帽15内，筒帽15套设在调节螺杆6上并与调节螺杆6滑动连接，筒帽15面向压盘4的一端为开口状并与压盘4固定连接，将圈环14设置在压盘4与筒帽15形成的空间内，实现调节螺杆6与压盘4的转动连接。
[0025]参阅图1
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图4，压盘4与螺纹孔之间设有压缩弹簧8，压缩弹簧8套设在调节螺杆6上，拧动调节螺杆6的过程中，调节螺杆6带动压盘4在限位套5内滑动，进而压盘4与校准筒1共同作用实现对压缩弹簧8的挤压，此时压缩弹簧8处于弹性形变状态，进而压缩弹簧8的回弹力通过压盘4作用在调节螺杆6上，起到防调节螺杆6随意转动的作用，提高光轴校准的稳定性。
[0026]参阅图1，调节螺杆6远离螺纹孔的一端固定连接有旋钮头3，旋钮头3与调节螺杆6为一体成型结构，旋钮头3外表面加工有防滑纹，防滑纹与旋钮头3为本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机的激光器用光轴校准装置，包括校准筒(1)和设置在校准筒(1)内的激光器(2)，其特征在于：所述激光器(2)外表面呈环形等距安装有三个支撑弹簧(7)，所述支撑弹簧(7)另一端固定在校准筒(1)内表面，所述校准筒(1)外表面呈环形等距开设有三个螺纹孔，所述螺纹孔与支撑弹簧(7)交替布置，所述螺纹孔内螺纹连接有用于调整激光器(2)位置的调节螺杆(6)，所述调节螺杆(6)上套设有与螺纹孔同心布置的限位套(5)，所述限位套(5)一端与校准筒(1)固定连接，所述限位套(5)内远离螺纹孔的一侧滑动安装有压盘(4)，所述压盘(4)背离螺纹孔的一面开设有圆孔(11)，所述调节螺杆(6)贯穿圆孔(11)，所述压盘(4)通过连接件与调节螺杆(6)转动连接，所述压盘(4)与螺纹孔之间设有压缩弹簧(8)，所述压缩弹簧(8)套设在调节螺杆(6)上。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的激光器用光轴校准装置，其特征在于：所述连接件包括圈环(14)，所述圈环(14)套设在调节螺杆(6)上并与调节螺杆(6)固定连接，所述圈环(14)滑动安装在筒帽(15)内，所述筒帽(15)套设在调节螺杆(6)上并与调节螺杆(6)滑动连接，所述筒帽(15)面向压盘(4)的一端为开口状并与压盘(4)固定连接。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：江苏微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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