本发明专利技术公开了一种吸附装置和具有其的光刻设备，包括：吸盘，吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个吸附孔贯通放置面，吸附腔通过至少一个吸附孔与外界空气连通，抽气孔贯通吸附腔的腔壁；至少一个分隔片，至少一个分隔片可转动地安装于吸盘且至少部分位于吸附腔内，分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，分隔片处于分隔位置时将吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个腔体与多个吸附孔中的部分连通，分隔片处于连通位置时允许两个腔体连通。根据本发明专利技术实施例的吸附装置能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域的尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。噪音小且能耗低等优点。噪音小且能耗低等优点。
【技术实现步骤摘要】
吸附装置和具有其的光刻设备
[0001]本专利技术涉及光刻
，尤其是涉及一种吸附装置和具有其的光刻设备。
技术介绍
[0002]相关技术中的吸附装置包括吸盘，吸盘设有多个吸附孔，多个吸附孔构成了吸盘的吸附区域，将电路板放置于吸附区域，吸附孔处会有气体流动来吸附电路板，以对电路板定位固定，进而对电路板进行加工。
[0003]但是，电路板的尺寸大小不尽相同，由于吸盘的吸附区域的尺寸不能随着电路板的尺寸改变，例如，吸盘的吸附区域的尺寸大于电路板的尺寸，因此此时电路板覆盖部分吸附孔对应，另一部分吸附孔与空气正常连通，吸盘工作时空气不断流向未被覆盖的吸附孔，吸盘的内部不能稳定地维持在负压状态，导致电路板的吸附不稳定，且进气产生噪音较大、能耗高。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种吸附装置，该吸附装置能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。
[0005]本专利技术实施例还提出了一种具有上述吸附装置的光刻设备。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术的第一方面实施例提出了一种吸附装置，包括：吸盘，所述吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，所述吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个所述吸附孔贯通所述放置面，所述吸附腔通过至少一个所述吸附孔与外界空气连通，所述抽气孔贯通所述吸附腔的腔壁；至少一个分隔片，至少一个所述分隔片可转动地安装于所述吸盘且至少部分位于所述吸附腔内，所述分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，所述分隔片处于所述分隔位置时将所述吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个所述腔体与多个所述吸附孔中的部分连通，所述分隔片处于连通位置时允许两个所述腔体连通。
[0007]根据本专利技术实施例的吸附装置能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。
[0008]根据本专利技术的一些具体实施例，所述分隔片为沿第一方向间隔设置的多个，每个所述分隔片沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向相交且与所述放置面平行。
[0009]根据本专利技术的一些具体实施例，所述抽气孔位于所述吸盘的沿所述第一方向的边缘处。
[0010]根据本专利技术的一些具体实施例，所述吸盘包括：盘体，所述抽气孔、所述放置面和所述吸附腔构造于所述盘体；至少一个分隔柱，至少一个所述分隔柱安装于所述盘体且设于所述吸附腔内，所述分隔柱的宽度两侧止抵于所述吸附腔的高度两侧的腔壁，至少一个所述分隔片的一端连接于至少一个所述分隔柱且另一端连接于所述吸附腔的腔壁。
[0011]根据本专利技术的一些具体实施例，所述分隔柱为间隔设置的多个，所述分隔片为间隔设置的多个，多个所述分隔片一一对应地连接于多个所述分隔柱。
[0012]根据本专利技术的一些具体实施例，所述分隔片包括：分隔段，所述分隔段位于所述吸附腔内，所述分隔段的宽度不小于所述吸附腔的高度，所述分隔段的厚度小于所述吸附腔的高度；支撑部，所述支撑部与所述分隔段连接，所述吸附腔的腔壁设有转动孔，所述支撑部配合于所述转动孔；手柄，所述手柄连接于所述支撑部且位于所述吸附腔外。
[0013]根据本专利技术的一些具体实施例，所述吸附腔的高度两侧的腔壁的内表面设有定位槽，所述分隔片处于所述分隔位置时所述分隔段位于与所述定位槽内，所述分隔片的宽度两侧构造为与所述定位槽适配的弧形。
[0014]根据本专利技术的一些具体实施例，所述手柄包括：限位部，所述限位部设有限位孔，所述吸盘设有限位凸起，所述限位凸起伸入所述限位孔，所述分隔片处于所述连通位置时所述限位凸起止抵于所述限位孔的一端，所述分隔片处于所述分隔位置时所述限位凸起止抵于所述限位孔的另一端；握持部，所述握持部连接于所述限位部的背向所述吸盘的一侧，所述握持部的横截面积小于所述限位部的横截面积，所述限位孔环绕所述握持部。
[0015]根据本专利技术的一些具体实施例，所述吸附装置还包括：遮挡帘，所述遮挡帘可伸缩地安装于所述吸盘，所述遮挡帘在伸展状态和收缩状态之间可切换，所述遮挡帘处于所述伸展状态时遮挡与所述抽气孔连通的吸附孔中的部分，所述遮挡帘处于所述收缩状态时允许与所述抽气孔连通的吸附孔敞开。
[0016]根据本专利技术的一些具体实施例，所述遮挡帘的长度两侧设有固定齿块，所述吸盘设有多个固定齿槽，所述遮挡帘处于所述伸展状态时所述固定齿块与多个所述固定齿槽中的一个配合。
[0017]根据本专利技术的第二方面实施例提出了一种光刻设备，包括：根据本专利技术的第一方面实施例所述的吸附装置；抽气组件，所述抽气组件与所述吸附装置的所述抽气孔连通。
[0018]根据本专利技术的第二方面实施例的吸附装置，通过利用根据本专利技术的第一方面实施例所述的光刻装置，能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。
[0019]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0020]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0021]图1是根据本专利技术实施例的吸附装置的结构示意图。
[0022]图2是根据本专利技术实施例的吸盘的结构示意图。
[0023]图3是根据本专利技术实施例分隔片的结构示意图。
[0024]图4是根据本专利技术实施例的分隔片的手柄的结构示意图。
[0025]图5是图1的A处的详细视图。
[0026]图6是图1的B处的详细视图。
[0027]附图标记：
[0028]吸附装置1、抽气组件2、
[0029]吸盘100、盘体101、吸附腔110、腔体111、抽气孔120、吸附孔130、放置面140、定位槽160、固定齿槽170、分隔柱180、限位凸起190、
[0030]分隔片200、分隔段210、支撑部220、手柄230、限位部231、限位孔232、握持部233、
[0031]遮挡帘300、固定齿块310、收纳部320、帘布330。
具体实施方式
[0032]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0033]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0034]在本专利技术的描述中，“本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种吸附装置，其特征在于，包括：吸盘，所述吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，所述吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个所述吸附孔贯通所述放置面，所述吸附腔通过至少一个所述吸附孔与外界空气连通，所述抽气孔贯通所述吸附腔的腔壁；至少一个分隔片，至少一个所述分隔片可转动地安装于所述吸盘且至少部分位于所述吸附腔内，至少一个所述分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，至少一个所述分隔片处于所述分隔位置时将所述吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个所述腔体与多个所述吸附孔中的部分连通，至少一个所述分隔片处于连通位置时允许两个所述腔体连通。2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述分隔片为沿第一方向间隔设置的多个，每个所述分隔片沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向相交且均与所述放置面平行。3.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述抽气孔位于所述吸盘的沿所述第一方向的边缘处。4.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述吸盘包括：盘体，所述抽气孔、所述放置面和所述吸附腔构造于所述盘体；至少一个分隔柱，至少一个所述分隔柱安装于所述盘体且设于所述吸附腔内，所述分隔柱的宽度两侧止抵于所述吸附腔的高度两侧的腔壁，至少一个所述分隔片的一端连接于至少一个所述分隔柱且另一端连接于所述吸附腔的腔壁。5.根据权利要求4所述的吸附装置，其特征在于，所述分隔柱为间隔设置的多个，所述分隔片为间隔设置的多个，多个所述分隔片一一对应地连接于多个所述分隔柱。6.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述分隔片包括：分隔段，所述分隔段位于所述吸附腔内，所述分隔段的宽度不小于所述吸附腔的高度，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：金伟龙，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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