【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及丝网印刷，尤其是涉及一种丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机。
技术介绍
1、丝印网版曝光是丝印网版制造工艺中的一个重要步骤。在这个步骤中，感光胶被涂在网版上，然后通过曝光来固化感光胶。这个过程的目的是使得感光胶在网版上形成一个图案，以便于后续的印刷。
2、丝印网版直写曝光机是一种使用激光束直接刻蚀模板或照相胶片的直写光刻机，它省去了曝光过程中的底片工序，节省了装卸底片时间和成本，以及减少了因底片涨缩引发的偏差。此外，它的图像解析度高，适合精细导线的制作。丝印网版直写曝光机提升了生产的良率,其基本原理是通过光刻技术和曝光机内部的核心部件载台来实现对丝网印刷版材的精确定位和固定。
3、相关技术中，曝光机在固定丝网印刷版材时通常采用机械夹紧或螺丝固定的方式，这种方式在使用过程中容易产生误差，影响印刷质量；丝网印刷版材的定位精度不高，更换不同规格的版材时需要频繁调整，操作效率低下。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本...
【技术保护点】
1.一种丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，第一导向板(21)上设置有第二滚动件(211)，所述第二导向板(22)上设置有第三滚动件(221)，所述网版(400)沿第一方向移动时与所述第二滚动件(211)滚动配合，所述网版(400)与所述抽真空装置连通时与所述第三滚动件(221)抵接。
3.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，还包括：电磁阀，所述电磁阀用于连通或断开所述导轨(30)和所述输气装置，以使所述第一滚动件(31)上升或下降。
4.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，第一导向板(21)上设置有第二滚动件(211)，所述第二导向板(22)上设置有第三滚动件(221)，所述网版(400)沿第一方向移动时与所述第二滚动件(211)滚动配合，所述网版(400)与所述抽真空装置连通时与所述第三滚动件(221)抵接。
3.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，还包括：电磁阀，所述电磁阀用于连通或断开所述导轨(30)和所述输气装置，以使所述第一滚动件(31)上升或下降。
4.根据权利要求3所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，还包括：光纤传感器，所述吸盘主体(10)设置有沿高度方向贯通的通孔(14)，所述光纤传感器设置于所述通孔(14)内，所述光纤传感器与所述电磁阀电连接；
5.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，所述吸盘主体(10)的上部设置有多个吸附件(13)，多个所述吸附件(13)分别设置于多个吸附口(11)处且连通所述网版(400)和所述抽真空装置。
6.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：于成信，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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