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本发明公开了一种丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机，丝网网版直写光刻机吸盘包括：吸盘主体，吸盘主体上设置有多个吸附口；导向组件，导向组件包括：两个第一导向板和第二导向板，第二导向板沿第二方向延伸且与两个第一导向板形成第一容纳空间；至少两个导...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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