【技术实现步骤摘要】
本技术涉及曝光机，尤其是涉及一种曝光机。
技术介绍
1、传统的双面曝光机，在基材的下方用玻璃支撑，保证基材处于一个平整的状态，使基材在曝光镜头的焦深范围内，达到最佳的曝光效果。用玻璃支撑虽然可以满足曝光的要求，但是玻璃上难免会落下灰尘或者脏污，而且在曝光过程中比较难以清洁，造成产品的良率下降。
2、相关技术中，水平双面曝光机中间采用悬空设置，利用两侧张紧装置将基材拉紧。由于基材属于软性材料，中间悬空部分太长，在自身重力作用下，难免会在悬空中心处产生下垂变形，影响精度；镜头水平安装存在落尘问题。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种曝光机，料带在两个曝光组件之间沿高度方向运动，避免料带悬空因重力变形，导致曝光组件离焦；两个曝光组件对料带在第一方向的两个侧面进行双面同步曝光。
2、根据本技术实施例的曝光机，包括：曝光装置，所述曝光装置包括：两个曝光组件，两个所述曝光组件沿第一方向相对设置，两个所述曝光组件对料带同步进行双面曝光；传输装置，所述传输装置包括：至少两个第一滚轮，至少两个所述第一滚轮沿高度方向间隔设置且分别位于两个所述曝光组件的上下两侧，以用于输送所述料带在两个所述曝光组件之间沿高度方向运动。
3、根据本技术实施例的曝光机，料带在两个曝光组件之间沿高度方向运动，避免料带悬空因重力变形，导致曝光组件离焦；两个曝光组件对料带在第一方向的两个侧面进行双面同步曝光。
4、根据本技术的一
5、根据本技术的一些实施例，所述放料机构包括：第一滚轮组，所述第一滚轮组包括：第二滚轮和第三滚轮，所述第二滚轮与其中一个所述第一滚轮的高度一致，所述第三滚轮和所述第二滚轮沿高度方向间隔设置，所述第三滚轮与所述放料机构的出料口的高度一致。
6、根据本技术的一些实施例，所述收料机构包括：第二滚轮组，所述第二滚轮组包括：第四滚轮和第五滚轮，所述第四滚轮与另一个所述第一滚轮高度一致，所述第五滚轮和所述第四滚轮沿高度方向间隔设置，所述第五滚轮与所述收料机构的收料口高度一致。
7、根据本技术的一些实施例，所述放料机构包括：第一纠偏组件，所述第一纠偏组件用于对输送的所述料带进行纠偏；以及，
8、所述收料机构包括：第二纠偏组件，所述第二纠偏组件用于对卷收的料带进行纠偏。
9、根据本技术的一些实施例，所述曝光装置包括：两个对位组件，两个所述对位组件沿第一方向相对设置，所述曝光组件和所述对位组件相邻设置，所述对位组件用于获取所述料带的对位孔位置信息，以实现曝光图形与所述料带的对位。
10、根据本技术的一些实施例，所述曝光组件包括：安装座和多个曝光镜头，多个曝光镜头沿高度方向依次安装于所述安装座上；所述对位组件包括：多个对位镜头，多个对位镜头与多个曝光镜头分别相邻设置且一一对应。
11、根据本技术的一些实施例，所述曝光装置还包括：两个精密运动组件，所述精密运动组件沿高度方向延伸，两个所述精密运动组件分别驱动两个曝光组件运动，并根据所述对位孔位置信息对所述曝光组件进行对位。
12、根据本技术的一些实施例，所述精密运动组件包括：第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件驱动所述曝光组件沿高度方向移动，所述第二驱动件驱动所述曝光组件沿第二方向移动。
13、根据本技术的一些实施例，曝光装置还包括：标定组件，所述标定组件包括：所述标定组件用于标定所述曝光组件的位置。
14、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种曝光机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述传输装置包括：放料机构(21)和收料机构(22)，所述放料机构(21)和所述收料机构(22)分别位于所述曝光装置在第一方向的两侧，所述放料机构(21)用于输送所述料带(30)，所述收料机构(22)用于卷收所述料带(30)。
3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述放料机构(21)包括：第一滚轮组，所述第一滚轮组包括：第二滚轮(24)和第三滚轮(25)，所述第二滚轮(24)与其中一个所述第一滚轮(23)的高度一致，所述第三滚轮(25)和所述第二滚轮(24)沿高度方向间隔设置，所述第三滚轮(25)与所述放料机构(21)的出料口的高度一致。
4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述收料机构(22)包括：第二滚轮组，所述第二滚轮组包括：第四滚轮(26)和第五滚轮(27)，所述第四滚轮(26)与另一个所述第一滚轮(23)高度一致，所述第五滚轮(27)和所述第四滚轮(26)沿高度方向间隔设置，所述第五滚轮(27)与所述收料机构(22)的出料口高度一致。>
5.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述放料机构(21)包括：第一纠偏组件，所述第一纠偏组件用于对输送的所述料带(30)进行纠偏；以及，
6.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光装置包括：两个对位组件，两个所述对位组件沿第一方向相对设置，所述曝光组件(10)和所述对位组件相邻设置，所述对位组件用于获取所述料带(30)的对位孔位置信息，以实现曝光图形与所述料带(30)的对位。
7.根据权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述曝光组件(10)包括：安装座和多个曝光镜头(11)，多个曝光镜头(11)沿高度方向依次安装于所述安装座上；
8.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光装置还包括：两个精密运动组件(13)，所述精密运动组件(13)沿高度方向延伸，两个所述精密运动组件(13)分别驱动两个曝光组件(10)运动，并根据对位孔位置信息对所述曝光组件(10)进行对位。
9.根据权利要求8所述的曝光机，其特征在于，所述精密运动组件(13)包括：第一驱动件(131)和第二驱动件(132)，所述第一驱动件(131)驱动所述曝光组件(10)沿高度方向移动，所述第二驱动件(132)驱动所述曝光组件(10)沿第二方向移动。
10.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，曝光装置还包括：标定组件(14)，所述标定组件(14)包括：所述标定组件(14)用于标定所述曝光组件(10)的位置。
...【技术特征摘要】
1.一种曝光机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述传输装置包括：放料机构(21)和收料机构(22)，所述放料机构(21)和所述收料机构(22)分别位于所述曝光装置在第一方向的两侧，所述放料机构(21)用于输送所述料带(30)，所述收料机构(22)用于卷收所述料带(30)。
3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述放料机构(21)包括：第一滚轮组，所述第一滚轮组包括：第二滚轮(24)和第三滚轮(25)，所述第二滚轮(24)与其中一个所述第一滚轮(23)的高度一致，所述第三滚轮(25)和所述第二滚轮(24)沿高度方向间隔设置，所述第三滚轮(25)与所述放料机构(21)的出料口的高度一致。
4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述收料机构(22)包括：第二滚轮组，所述第二滚轮组包括：第四滚轮(26)和第五滚轮(27)，所述第四滚轮(26)与另一个所述第一滚轮(23)高度一致，所述第五滚轮(27)和所述第四滚轮(26)沿高度方向间隔设置，所述第五滚轮(27)与所述收料机构(22)的出料口高度一致。
5.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述放料机构(21)包括：第一纠偏组件，所述第一纠偏组件用于对输送的所述料带(30)进行纠...
【专利技术属性】
技术研发人员：项宗齐，汪涛，刘国藩，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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