【技术实现步骤摘要】
本技术涉及直写光刻，尤其是涉及一种用于检测和调试成像光路的装置。
技术介绍
1、成像光路是直写光刻设备的核心组成部分。成像光路的质量直接决定直写光刻设备的解析情况。
2、相关技术中，直写光刻设备成像光路使用相机观察dmd成像情况来评价光路质量。一方面，只能定量判断成像质量好坏，并不能定性分析出成像光路具体像差，调试人员无法根据结果，得出调试方向。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种用于检测和调试成像光路的装置，透过检验板的光线通过成像光路形成星点图像和线对图像；图像整合机构采集星点图像，以分析成像光路的像差从而调试成像管路，图像整合机构采集线对图像并绘制mtf曲线从而判断成像光路的成像质量是否满足要求。
2、根据本技术实施例的用于检测和调试成像光路的装置，包括：背光机构，所述背光机构包括：光源、光传输单元和镜筒组件，所述镜筒组件上设置有出光孔，所述光源和所述光传输单元均设置在所述镜筒组件内，所述光传输单元用于将所...
【技术保护点】
1.一种用于检测和调试成像光路的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于检测和调试成像光路的装置，其特征在于，所述线对孔阵列(16)包括：第一线对孔阵列(16)和第二线对孔阵列(16)，所述第一线对孔阵列(16)与所述第二线对孔阵列(16)相垂直。
3.根据权利要求1所述的用于检测和调试成像光路的装置，其特征在于，所述线对孔阵列(16)为多个，至少一个所述线对孔阵列(16)位于所述检验板(10)的中心位置，至少另外一个所述线对孔阵列(16)位于所述检验板(10)的边缘位置。
4.根据权利要求1所述的用于检测和调试成像光...
【技术特征摘要】
1.一种用于检测和调试成像光路的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于检测和调试成像光路的装置，其特征在于，所述线对孔阵列(16)包括：第一线对孔阵列(16)和第二线对孔阵列(16)，所述第一线对孔阵列(16)与所述第二线对孔阵列(16)相垂直。
3.根据权利要求1所述的用于检测和调试成像光路的装置，其特征在于，所述线对孔阵列(16)为多个，至少一个所述线对孔阵列(16)位于所述检验板(10)的中心位置，至少另外一个所述线对孔阵列(16)位于所述检验板(10)的边缘位置。
4.根据权利要求1所述的用于检测和调试成像光路的装置，其特征在于，所述透光孔阵列(15)包括：多个透光圆孔，所述透光圆孔的直径为d，d满足关系式：d＝0.61*λ/...
【专利技术属性】
技术研发人员：张琦，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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