【技术实现步骤摘要】
本申请涉及搬运天车，特别涉及一种自动化物料传输系统。
技术介绍
1、随着半导体技术的发展，硅片的尺寸由150mm、200mm增大到300mm，装载有硅片的硅片盒的整体重量也由原来的约3公斤、4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造业对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，amhs（automated material handling systems，自动化物料传输系统）得到应用。
2、amhs包括悬挂于天花板上的多条轨道以及在轨道上行驶的搬运天车。搬运天车往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区（stocker）之间。每一台机台安装有堆叠部（load port），搬运天车能抓起堆叠部上的硅片盒，并通过轨道传送至另一台机台的堆叠部或暂存区。
3、搬运天车具有行走轮以及导向轮。搬运天车通过行走轮以及导向轮沿轨道延伸路径行走。行走轮以及导向轮长期与轨道接触、相对运动，会产生杂质（例如从行走轮、导向轮或轨道上分离下来的粉尘、颗粒物）。
4、amhs系统对厂房内的洁净度要求很高，若某个区域内产生了粉尘、杂质等污染物，将对整个系统的稳定性和安全性带来极大隐患。
5、有鉴于此，实有必要开发一种自动化物料传输系统，用于解决轨道上杂质对厂房内的洁净度的影响。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供一种自动化物料传输系统，通过清洁装置以相对较小的抵
2、为了解决上述技术问题，本申请的实施例公开了如下技术方案：
3、一方面，提供了一种自动化物料传输系统，包括第一轨道、搬运天车、第一清洁主体、第一活动件、第一弹性件以及调节组件。第一轨道用于连接于天花板下方。搬运天车架设于第一轨道上并行走，用于承载晶圆。第一清洁主体沿预定方向活动设置于搬运天车，用于清洁第一轨道，在搬运天车行走至第一轨道的弧形段时，预定方向为第一轨道的径向。第一活动件沿预定方向活动设置于搬运天车，并沿预定方向位于第一轨道的一侧。第一弹性件沿预定方向弹性抵顶于第一活动件和第一清洁主体之间，克服第一清洁主体的材料弹性将第一清洁主体抵压并贴合于第一轨道。设置于搬运天车，与第一活动件连接，并依据第一轨道的曲率调节第一活动件的位置，进而调节第一弹性件的弹力大小。
4、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，搬运天车包括行走部以及车身。行走部架设于第一轨道上并行走。车身用于承载晶圆，行走部与车身以竖向为轴线方向转动连接。其中，第一清洁主体、第一活动件以及调节组件分别设置于车身，调节组件依据行走部和车身相对转动角度调节第一活动件的位置。
5、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，调节组件包括第一齿轮、第一齿条。第一齿轮设置于行走部，并与行走部和车身之间的转动轴线同轴设置。第一齿条沿预定方向延伸，并连接于第一活动件，第一齿轮与第一齿条啮合传动，以使得第一齿轮的旋转运动转换为第一齿条的直线运动。
6、第二活动件，第二活动件沿预定方向活动设置于搬运天车，并与第一活动件沿预定方向相对第一轨道同侧设置；
7、第二弹性件、第三弹性件，第二弹性件沿预定方向弹性抵顶于第二活动件和第一清洁主体之间，第三弹性件沿预定方向弹性抵顶于第一活动件和第一清洁主体之间，第一弹性件和第三弹性件分别抵接于第一清洁主体沿第一轨道延伸方向的两端，第二弹性件抵接于第一清洁主体沿第一轨道延伸方向的中间区域，第一弹性件、第二弹性件以及第三弹性件克服第一清洁主体的材料弹性将第一清洁主体抵压并贴合于第一轨道；
8、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，自动化物料传输系统还包括第二活动件、第二弹性件以及第三弹性件。第二活动件沿预定方向活动设置于搬运天车，并与第一活动件沿预定方向相对第一轨道同侧设置。第二弹性件沿预定方向弹性抵顶于第二活动件和第一清洁主体之间，第三弹性件沿预定方向弹性抵顶于第一活动件和第一清洁主体之间，第一弹性件和第三弹性件分别抵接于第一清洁主体沿第一轨道延伸方向的两端，第二弹性件抵接于第一清洁主体沿第一轨道延伸方向的中间区域，第一弹性件、第二弹性件以及第三弹性件克服第一清洁主体的材料弹性将第一清洁主体抵压并贴合于第一轨道。调节组件还与第二活动件连接，并依据第一轨道的曲率调节第二活动件的位置，随着第一轨道的曲率增大，第一活动件朝第一轨道内侧移动，第二活动件朝第一轨道外侧移动，随着第一轨道的曲率减小，第一活动件朝第一轨道外侧移动，第二活动件朝第一轨道内侧移动。
9、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，自动化物料传输系统还包括第二轨道、第二清洁主体、第四弹性件、第五弹性件以及第六弹性件。第二轨道用于连接于天花板下方，与第一轨道并排设置，沿延伸方向的任一位置，第一轨道和第二轨道的曲率相同，搬运天车还架设于第二轨道上并行走。第二清洁主体沿预定方向活动设置于搬运天车，第二清洁主体用于清洁第二轨道。第四弹性件和第六弹性件分别沿预定方向弹性抵顶于第一活动件和第二清洁主体之间，第五弹性件沿预定方向弹性抵顶于第二活动件和第二清洁主体之间，第四弹性件和第六弹性件分别抵接于第二清洁主体沿第一轨道延伸方向的两端，第五弹性件抵接于第二清洁主体沿第一轨道延伸方向的中间区域，第四弹性件、第五弹性件以及第六弹性件克服第二清洁主体的材料弹性将第二清洁主体抵压并贴合于第二轨道。
10、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，自动化物料传输系统，还包括安装座；其中，搬运天车具有承载表面，安装座承载于承载表面，安装座与搬运天车插接配合，且插接配合的方向与承载表面相交，第一清洁主体、第一活动件以及调节组件分别设置于安装座，并通过安装座设置于搬运天车。
11、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，搬运天车的承载表面具有凹槽；安装座朝向承载表面的表面具有凸起，凸起与凹槽形状、大小相匹配，凸起插设于凹槽中，以使得安装座与搬运天车插接配合。
12、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，搬运天车具有第一导电部，第一导电部位于凹槽中，并至少部分外露；安装座具有第二导电部，第二导电部嵌设于凸起，并至少部分外露，第二导电部与清洁主体电性连接；其中，凸起插设于凹槽中时，第一导电部和第二导电部接触。
13、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，凸起沿凸出方向逐渐缩小。
14、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，自动化物料传输系统，还包括滚轮，滚轮可转动地设置于第一清洁主体，第一清洁主体通过滚轮抵压于第一轨道。
15、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，第一清洁主体具有空气流道、进气口以及出气口，进气口以及出气口分别将空气流道与外侧连通，进气口相对第一轨道设置，空气流道内用于形成由进气口流入，并由出气口流出的气流。
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【技术保护点】
1.一种自动化物料传输系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述自动化物料传输系统，其特征在于，所述搬运天车包括：
3.根据权利要求2所述自动化物料传输系统，其特征在于，所述调节组件包括：
4.根据权利要求1所述自动化物料传输系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述自动化物料传输系统，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1所述自动化物料传输系统，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求6所述自动化物料传输系统，其特征在于，
8.根据权利要求7所述自动化物料传输系统，其特征在于，
9.根据权利要求7所述自动化物料传输系统，其特征在于，
10.根据权利要求1所述自动化物料传输系统，其特征在于，还包括：
11.根据权利要求1所述自动化物料传输系统，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种自动化物料传输系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述自动化物料传输系统，其特征在于，所述搬运天车包括：
3.根据权利要求2所述自动化物料传输系统，其特征在于，所述调节组件包括：
4.根据权利要求1所述自动化物料传输系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述自动化物料传输系统，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：华芯智上半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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