【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体搬运，尤其涉及一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法及装置。
技术介绍
1、oht（overhead hoist transport，空中运输车）轨道是一种特殊的轨道系统，主要用于fab厂自动化制造车间内的物品运输。这种轨道系统可以安装在车间天花板上，为空中运输车提供了支撑和行进方向引导。通过这种系统，空中运输车可以在轨道上移动，从而在不同位置之间快速、稳定地输送物品，例如装载晶圆片的晶圆盒。与传统的地面输送系统相比，oht轨道不仅能够节省空间，而且可以提高物品运输的效率和稳定性。
2、现有技术中，在对天车规划执行任务的路径时，只会针对单个天车来进行路径规划，一般根据时间最短来选择合适的路径。但是在同一时段内存在多个任务需要多个天车执行时，多个天车可能会对轨道段造成实时拥堵，互相影响运输效率。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法及装置，用以解决现有技术中没有考虑到实时多个搬运天车互相干扰的缺陷，实现降低目标时段内多个搬运任...
【技术保护点】
1.一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述路径规划算法为A星算法，所述基于路径规划算法以及所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置，得到各天车完成各搬运任务所对应的多个第一路径，包括：
3.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述历史繁忙指数是基于所述第一路径对应的各轨道段在历史时段内通行的天车数量、历史运行速度、历史搬运任务的优先级以及各轨道段上天车的延误时间确定的。
4.根据权利要求1所述的基于降低...
【技术特征摘要】
1.一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述路径规划算法为a星算法，所述基于路径规划算法以及所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置，得到各天车完成各搬运任务所对应的多个第一路径，包括：
3.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述历史繁忙指数是基于所述第一路径对应的各轨道段在历史时段内通行的天车数量、历史运行速度、历史搬运任务的优先级以及各轨道段上天车的延误时间确定的。
4.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述实时繁忙指数是基于所述第二路径对应的各轨道段在所述目标时段内预测的天车数量、最大允许速度以及搬运任务的优先级确定的。
5.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述基于所述实时繁忙指数，确定所述任务池中...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞骥，余君山，
申请(专利权)人：华芯智上半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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