自动化物料搬送系统技术方案

本申请的实施例公开了一种自动化物料搬送系统。中继车沿轨道的延伸方向位于第一天车和第二天车之间，且分别相对第一天车和第二天车处于预定位置时，中继车用于分别承接第一天车释放的物料以及第二天车释放的配重件，并交换物料和配重件的位置，以供第一天车抓取配重件，以及供第二天车抓取物料。其中，物料的重力对中继车产生第一力矩，配重件的重力对中继车产生第二力矩，第二力矩能够抵消至少部分的第一力矩。由此，降低了个别天车的停止运行对整体运行效率的影响。另外，通过设置配重件，中继车在转移物料过程中更有利于保持稳定，从而降低了物料意外脱离中继车的风险。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及物料搬运天车，特别涉及一种自动化物料搬送系统。

技术介绍

1、在半导体行业中，自动化物料搬送系统（amhs，automatic material handlingsystem）是提高半导体制造产率、成品率以及设备利用率的重要保证。对于全自动化半导体工厂，一个安全且高效的自动化物料搬送系统可以大幅缩短在制品的等待时间，进而缩短晶圆产品的生产周期。物料搬运天车（oht，overhead hoist transport）是自动化物料搬送系统中的核心部分。物料搬运天车沿着安装在天花板上的轨道将料盒（ foup ，frontopening unified pod ）中的晶圆运送到预定的生产设备。

2、在物料搬运天车的运行中，可能发生各种错误。当物料搬运天车在运行中发生错误时，物料搬运天车停止运行。在自动化物料搬送系统中，几十到几百台的物料搬运天车同时工作的状况下，个别物料搬运天车的错误带来的停止会导致相邻着运行的其它物料搬运天车也低速运行甚至停止，由此会引起自动化物料搬送系统的整体运行效率下降。

技术实现思路本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动化物料搬送系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述自动化物料搬送系统，其特征在于，

3.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述中继车包括：

4.根据权利要求3所述自动化物料搬送系统，其特征在于，

5.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述中继车包括：

6.根据权利要求5所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述驱动组件包括：

7.根据权利要求5所述自动化物料搬送系统，其特征在于，

8.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，</p>

9. 根...

【技术特征摘要】

1.一种自动化物料搬送系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述自动化物料搬送系统，其特征在于，

3.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述中继车包括：

4.根据权利要求3所述自动化物料搬送系统，其特征在于，

5.根据权利要求2所述自动化物料搬送系统，其特征在于，所述中继车包括：

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【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：华芯智上半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：