【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及任务调度，尤其涉及一种晶圆盒存取方法、装置、电子设备和存储介质。
技术介绍
1、stocker（立体仓储库）是半导体工厂的自动存储子系统，具备多层存放空间，专为半导体晶圆厂设计，旨在自动化存储、提取和传送各种规格的晶圆料盒，以实现晶圆在不同工艺之间的流转。stocker的框架内部设计了多种储位，通常可根据客户的工厂规划进行个性化定制。stocker在框架上部配备了oht port，以便与oht（overhead hoist transport）系统协调操作，在框架的下部设置了manual port，以便操作人员手动存取所需物料。此外，stocker亦可定制agv接口，满足不同自动化需求。stocker配备的堆垛机有多轴运动能力，包括走行、升降、伸缩和旋转，它们共同负责对stocker内的晶圆盒进行高度精确的搬运任务。stocker内部晶圆盒储位分布在堆垛机两侧，堆垛机可以根据接收到的上位指令，精准地抓取和放置晶圆盒，同时保持震动度低，确保快速、稳定的物料传输速度。
2、然而，当stocker中的晶圆盒传输任务密...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒存取方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆盒存取方法，其特征在于，所述基于每个晶圆盒取出任务的当前存储单元、输出端口、任务优先级，以及相应晶圆盒取出任务切换至任意其他晶圆盒取出任务的代价，确定各个晶圆盒取出任务的调度执行顺序，具体包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆盒存取方法，其特征在于，所述基于所述任一晶圆盒取出任务的下一晶圆盒取出任务的当前存储单元以及各个晶圆盒存储任务的目的存储单元，确定所述任一晶圆盒取出任务对应的晶圆盒存储任务，具体包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆盒存取方法，其特征在于，所述...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒存取方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆盒存取方法，其特征在于，所述基于每个晶圆盒取出任务的当前存储单元、输出端口、任务优先级，以及相应晶圆盒取出任务切换至任意其他晶圆盒取出任务的代价，确定各个晶圆盒取出任务的调度执行顺序，具体包括：
3.根据权利要求1所述的晶圆盒存取方法，其特征在于，所述基于所述任一晶圆盒取出任务的下一晶圆盒取出任务的当前存储单元以及各个晶圆盒存储任务的目的存储单元，确定所述任一晶圆盒取出任务对应的晶圆盒存储任务，具体包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆盒存取方法，其特征在于，所述基于所述任一晶圆盒取出任务的下一晶圆盒取出任务的当前存储单元以及各个晶圆盒存储任务的目的存储单元，确定所述任一晶圆盒取出任务对应的晶圆盒存储任务，具体包括：
5.根据权利要求4所述的晶圆盒存取方法，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞骥，余君山，
申请(专利权)人：华芯智上半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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