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本发明提供一种晶圆盒存取方法、装置、电子设备和存储介质,通过基于每个晶圆盒取出任务的当前存储单元、输出端口、任务优先级,以及相应晶圆盒取出任务切换至任意其他晶圆盒取出任务的代价,确定各个晶圆盒取出任务的调度执行顺序后,基于各个晶圆盒取出任务...该专利属于华芯智上半导体设备(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华芯智上半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。
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