导轨清洁车制造技术

本申请的实施例公开了一种导轨清洁车，导轨清洁车包括车身主体、抽吸管件以及壳体。车身主体用于架设于导轨并行走，导轨具有相邻接的承载表面以及引导表面，承载表面和引导表面围设形成沿预定方向逐渐收窄的凸起结构；抽吸管件沿预定方向延伸，抽吸管件的入口朝向承载表面和引导表面的邻接边；壳体连接于抽吸管件的入口端，并通过入口与抽吸管件连通，壳体背离抽吸管件一侧形成沿预定方向逐渐收窄的凹陷结构，并罩设于承载表面和引导表面，壳体具有多个将壳体的空腔与外界连通的抽吸孔，一部分抽吸孔相对承载表面设置，另一部分抽吸孔相对引导表面设置。导轨清洁车能够对物料搬运天车行驶的导轨进行清洁，并具有较好的清洁效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及输送装置，特别涉及一种导轨清洁车。

技术介绍

1、在早期的半导体晶圆制造厂，物料的搬送基本上是采用人工手推的方式，随着半导体技术的飞速发展，晶圆的尺寸由150mm、200mm增大到300mm，晶圆的整体重量也由原先的3kg、5kg增加到9kg，人工搬送已经无法满足生产的需要，半导体制造的工序繁多而复杂，设备昂贵，对作业环境和物料搬运要求高，对设备效率和产品良率非常敏感，而设备效率和产品良率是会影响到企业成本竞争力的直接因素。为了提供稳定、高效的物料搬送能力，自动物料搬运系统（automatic material handling system，简称amhs）得到应用。

2、amhs可替代人力进行物料搬运，能大幅度减少生产线作业人力；同时，amhs将大幅消除人工操作错误，提升环境洁净度，降低搬运过程中的振动，对提高产品良率有很大的帮助。这些特性使得amhs在半导体制造过程中可以充分体现其价值，因此，amhs在半导体制造工厂有着广泛的应用，同时被应用在面板、太阳能等泛半导体行业。

3、从软件和硬件分析，amhs 系统包括以物料本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种导轨清洁车，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述导轨清洁车，其特征在于，还包括：

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6.如权利要求5所述导轨清洁车，其特征在于，所述清洁单元包括：

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8.如权利要求7所述导轨清洁车，其特征在于，所述避让组件包括：

9.如权利要求1所述导轨清洁车，其特征在于，还包括：

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【技术特征摘要】

1.一种导轨清洁车，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述导轨清洁车，其特征在于，还包括：

3.如权利要求1所述导轨清洁车，其特征在于，还包括：

4.如权利要求1所述导轨清洁车，其特征在于，

5.如权利要求1所述导轨清洁车，其特征在于，还包括：

6.如权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：华芯智上半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：