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本发明提供一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法及装置，属于半导体搬运技术领域，本发明实施例的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，通过基于路径规划算法和历史繁忙指数进行路径选择，可以筛选得到满足任务时限要求的第一路径和第二路径，考虑到多个搬...
该专利属于华芯智上半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华芯智上半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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