一种无台阶式掩膜板的固定工装制造技术

本技术公开了一种无台阶式掩膜板的固定工装，属于无台阶式掩膜板固定技术领域，包括底支撑部、设置在底支撑部上的两个第一限位部、设置在底支撑部上的两个第二限位部和压紧部，底支撑部用于支撑掩膜板和掩膜条。本技术利用两个第一限位部从掩膜板的左右两端产生夹持力，使两个掩膜条被压紧在掩膜板的左右两端，再利用两个第二限位部从掩膜板的前后两端产生夹持力，使掩膜条的前后两端分别与掩膜板的前后两端对齐，然后再配合压紧部使掩膜板和掩膜条在竖向上压紧固定，如此，在用于粘接掩膜板和掩膜条的AB胶固化后，使得掩膜板和掩膜条能够在前后、左右、上下方向上有较高的一致性，满足实际的生产需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于无台阶式掩膜板固定，尤其涉及一种无台阶式掩膜板的固定工装。

技术介绍

1、由于有台阶式的掩膜板存在加工不便、造价高、通用性低等缺点，因此逐渐被无台阶式掩膜板外加两个掩膜条替代，具体的，两个掩膜条分别设置在无台阶式掩膜板的两端，并通过ab胶粘牢固定。

2、但由于工作环境对掩膜板自身的平面度具有较高的要求，因此需要无台阶式掩膜板与两端的掩膜条能紧密贴合，且在前后、左右、上下方向上有较高的一致性，因此设置一种无台阶式掩膜板的固定工装。

技术实现思路

1、本技术的目的在于：为了解决
技术介绍
中指出的问题，而提出的一种无台阶式掩膜板的固定工装。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：

3、一种无台阶式掩膜板的固定工装，包括：

4、底支撑部，用于支撑掩膜板和掩膜条；

5、设置在底支撑部上的两个第一限位部，两个所述第一限位部用于从掩膜板的横向两端产生夹持力，使两个掩膜条压紧在掩膜板的横向两端；

6、设置在底支撑部上的两个第二限位部，用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，所述第一限位部(21)包括间距可调的第一固定块(211)和第一限位板(212)，所述第一固定块(211)固定连接在底支撑部(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，所述第一固定块(211)和第一限位板(212)之间的间距通过第一螺栓(213)调节。

4.根据权利要求1所述的一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，两个所述第二限位部(22)分别为固定限位部和活动限位部；

<p>5.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，所述第一限位部(21)包括间距可调的第一固定块(211)和第一限位板(212)，所述第一固定块(211)固定连接在底支撑部(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，所述第一固定块(211)和第一限位板(212)之间的间距通过第一螺栓(213)调节。

4.根据权利要求1所述的一种无台阶式掩膜板的固定工装，其特征在于，两个所述第二限位部(22)分别为固定限位部和活动...

【专利技术属性】
技术研发人员：李辉，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：