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本技术公开了一种无台阶式掩膜板的固定工装，属于无台阶式掩膜板固定技术领域，包括底支撑部、设置在底支撑部上的两个第一限位部、设置在底支撑部上的两个第二限位部和压紧部，底支撑部用于支撑掩膜板和掩膜条。本技术利用两个第一限位部从掩膜板的左右两端产...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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