一种光刻机的气液抽取分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种光刻机的气液抽取分离装置，包括：光刻机主体、控制面板、观察门以及加工门，光刻机主体正面上方设计设置有控制面板，光刻机主体右侧面中间设置有观察门，控制面板右侧下方设置有加工门，光刻机主体内部下方设置有工件台，与现有技术相比，本实用新型专利技术具有如下的有益效果：通过设置抽气泵和抽水泵，抽气泵能够通过分支抽气管抽取光刻机主体内部的气体，抽液泵能够通过分支抽水管抽取工件台上方的液体，使光刻机主体内部的气体和液体能够快速分离，使得本实用新型专利技术更加实用，通过设置液体箱和气体箱，能够使气体和液体分类储存，在排出时使其能够分类排出，在实际使用的时候，更适合光刻机技术领域。更适合光刻机技术领域。更适合光刻机技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的气液抽取分离装置


[0001]本技术属于光刻机
，特别涉及一种光刻机的气液抽取分离装置。

技术介绍

[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，但是，现如今的光刻机内部的液体和气体不易分离，且分离后不易分类排出，因此，现亟需一种光刻机的气液抽取分离装置，来解决以上问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种光刻机的气液抽取分离装置，解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术通过以下的技术方案实现：一种光刻机的气液抽取分离装置，包括：光刻机主体、控制面板、观察门以及加工门，所述光刻机主体正面上方设计设置有控制面板，所述光刻机主体右侧面中间设置有观察门，所述控制面板右侧下方设置有加工门，所述光刻机主体内部下方设置有工件台，所述工件台上方安装有横向导轨，所述横向导轨正面左侧和右侧分别设置有一个直线电动推杆，两个所述直线电动推杆下方连接有连接架，所述连接架正面左侧和右侧分别设置有一个分支抽气管，所述连接架下方设置有多个分支抽水管，所述连接架上方左侧设置有主气管，所述主气管右侧设置有主水管，所述光刻机主体背面中间设置有支撑板，所述支撑板上方左侧设置有抽液泵，所述抽液泵右侧设置有抽气泵，所述支撑板左侧下方设置有液体箱，所述液体箱正面右侧下方设置有排液管，所述液体箱右侧设置有气体箱，所述气体箱正面右侧设置有排气管，所述抽气泵左侧上方设置有集成电路板，所述集成电路板正面左侧设置有单片机，所述单片机右侧设置有继电器。
[0005]作为一优选的实施方式，所述光刻机主体在实际使用的时候通过铰链与观察门连接，所述光刻机主体在实际使用的时候与横向导轨连接，两个所述直线电动推杆在实际使用的时候分别通过直线滑块与横向导轨连接。
[0006]作为一优选的实施方式，两个所述分支抽气管在实际使用的时候与主气管连接，多个所述分支抽水管在实际使用的时候与主水管连接，所述抽液泵在实际使用的时候通过传输管与主水管连接，所述抽液泵在实际使用的时候通过传输管与液体箱连接。
[0007]作为一优选的实施方式，所述抽气泵在实际使用的时候通过传输气管与主气管连接，所述抽气泵在实际使用的时候通过传输气管与气体箱连接，所述液体箱在实际使用的时候与排液管连通，所述气体箱在实际使用的时候与排气管连通。
[0008]作为一优选的实施方式，所述控制面板在实际挑选中选为面板式控制器，所述单片机输入端在实际使用的时候与控制面板输出端连接，所述单片机输出端在实际使用的时候与继电器输入端连接，所述继电器输出端在实际使用的时候与直线电动推杆输入端连接，所述继电器输出端在实际使用的时候与抽气泵输入端连接，所述继电器输出端在实际
使用的时候与抽液泵输入端连接。
[0009]作为一优选的实施方式，所述光刻机主体在实际使用的时候与支撑板连接，所述支撑板在实际使用的时候设置为矩形结构，所述主气管在实际挑选中选为伸缩式气管，所述主水管在实际挑选中选为伸缩式水管，所述光刻机主体内部在实际使用的时候设置为封闭式结构。
[0010]采用了上述技术方案后，本技术的有益效果是：通过设置抽气泵和抽水泵，抽气泵能够通过分支抽气管抽取光刻机主体内部的气体，抽液泵能够通过分支抽水管抽取工件台上方的液体，使光刻机主体内部的气体和液体能够快速分离，使得本技术更加实用，通过设置液体箱和气体箱，能够使气体和液体分类储存，在排出时使其能够分类排出，在实际使用的时候，更适合光刻机

附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本技术一种光刻机的气液抽取分离装置的整体结构示意图。
[0013]图2为本技术一种光刻机的气液抽取分离装置正面剖视的示意图。
[0014]图3为本技术一种光刻机的气液抽取分离装置后视的示意图。
[0015]图4为本技术一种光刻机的气液抽取分离装置的工作流程框图。
[0016]图中，1
‑
光刻机主体、2
‑
控制面板、3
‑
观察门、4
‑
加工门、5
‑
工件台、6
‑
横向导轨、7
‑
直线电动推杆、8
‑
连接架、9
‑
分支抽气管、10
‑
主气管、11
‑
主水管、12
‑
分支抽水管、13
‑
抽液泵、14
‑
传输管、15
‑
抽气泵、16
‑
传输气管、17
‑
液体箱、18
‑
排液管、19
‑
气体箱、20
‑
排气管、21
‑
支撑板、22
‑
集成电路板、23
‑
单片机、24
‑
继电器、25
‑
直线滑块。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种光刻机的气液抽取分离装置，包括：光刻机主体1、控制面板2、观察门3以及加工门4，光刻机主体1正面上方设计设置有控制面板2，光刻机主体1右侧面中间设置有观察门3，控制面板2右侧下方设置有加工门4，光刻机主体1内部下方设置有工件台5，工件台5上方安装有横向导轨6，横向导轨6正面左侧和右侧分别设置有一个直线电动推杆7，两个直线电动推杆7下方连接有连接架8，连接架8正面左侧和右侧分别设置有一个分支抽气管9，连接架8下方设置有多个分支抽水管12，连接架8上方左侧设置有主气管10，主气管10右侧设置有主水管11，光刻机主体1背面中间设置有支撑板21，支撑板21上方左侧设置有抽液泵13，抽液泵13右侧设置有抽气泵15，支撑板21左侧下方设置有液体箱17，液体箱17正面右侧下方设置有排液管18，液体箱17右侧设置
有气体箱19，气体箱19正面右侧设置有排气管20，抽气泵15左侧上方设置有集成电路板22，集成电路板22正面左侧设置有单片机23，单片机23右侧设置有继电器24，继电器24能够控制抽气泵15的启停。
[0019]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的气液抽取分离装置，包括：光刻机主体(1)、控制面板(2)、观察门(3)以及加工门(4)，其特征在于：所述光刻机主体(1)正面上方设计设置有控制面板(2)，所述光刻机主体(1)右侧面中间设置有观察门(3)，所述控制面板(2)右侧下方设置有加工门(4)，所述光刻机主体(1)内部下方设置有工件台(5)，所述工件台(5)上方安装有横向导轨(6)，所述横向导轨(6)正面左侧和右侧分别设置有一个直线电动推杆(7)，两个所述直线电动推杆(7)下方连接有连接架(8)，所述连接架(8)正面左侧和右侧分别设置有一个分支抽气管(9)，所述连接架(8)下方设置有多个分支抽水管(12)，所述连接架(8)上方左侧设置有主气管(10)，所述主气管(10)右侧设置有主水管(11)，所述光刻机主体(1)背面中间设置有支撑板(21)，所述支撑板(21)上方左侧设置有抽液泵(13)，所述抽液泵(13)右侧设置有抽气泵(15)，所述支撑板(21)左侧下方设置有液体箱(17)，所述液体箱(17)正面右侧下方设置有排液管(18)，所述液体箱(17)右侧设置有气体箱(19)，所述气体箱(19)正面右侧设置有排气管(20)，所述抽气泵(15)左侧上方设置有集成电路板(22)，所述集成电路板(22)正面左侧设置有单片机(23)，所述单片机(23)右侧设置有继电器(24)。2.如权利要求1所述的一种光刻机的气液...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡德立，
申请(专利权)人：江苏微影半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：